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公开(公告)号：CN103157625B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210485793.1
申请日：2012-11-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01L21/02076 , B08B5/04 , B08B6/00 , H01L21/02041 , H01L21/02046 , H01L21/67 , H01L21/67028 , H01L21/673 , H01L21/67333
Abstract: 半导体清洁装置具备：外部电极（11），以与半导体装置（1）的侧面（1a）相向的方式配置；基台（12），以能够设置半导体装置（1）的方式设置，并且在设置有半导体装置（1）的状态下在半导体装置（1）的侧面（1a）和外部电极（11）之间的位置，具有在半导体装置（1）的侧面（1a）的下方设置的开口部（12a）；框部（13），具有绝缘性，并且以与外部电极（11）相接并与半导体装置（1）的侧面（1a）相向的方式配置在基台（12）上；以及吸气单元（14），与基台（12）的开口部（12a）连接，能够从开口部（12a）吸入异物（2）。由此，能够获得可除去附着在半导体装置的侧面的异物，并且能够防止被除去的异物再次附着的半导体清洁装置及半导体清洁方法。
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公开(公告)号：CN104515875A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410514188.1
申请日：2014-09-29
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01R1/04
CPC classification number: H01L21/67265 , G01R1/0408
Abstract: 本发明是半导体试验夹具和其搬运夹具及使用这些夹具的异物去除方法，本发明的目的在于，提供一种在试验时能够抑制异物附着在纵型半导体装置的设置面上，并且能够简化纵型半导体装置的制造工序及降低制造成本的技术。半导体试验夹具(1)具有：导电性的基座(2)，其具有多个设置部(6)，多个纵型半导体装置(7)以下表面电极与设置部接触的状态分别独立地设置在该多个设置部(6)上；网格状的绝缘性的框部(3)，其配置在基座(2)上，在俯视观察时，其将多个设置部(6)分别包围，由此划分各设置部(6)；以及研磨层(11)，其配置在框部(3)的与设置在设置部(6)上的各纵型半导体装置(7)相对的位置处。
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公开(公告)号：CN103969565A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410042200.3
申请日：2014-01-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01R31/26
CPC classification number: G01R31/2886
Abstract: 本发明的目的在于提供一种半导体评价装置及半导体评价方法，其成本低，且不增加评价工序所花费的时间，能够简单地抑制被测定物上的局部放电的发生。半导体评价装置（1）具有：卡盘台（3），其对作为被测定物的半导体装置（5）进行保持；接触探针（10），其用于与保持在卡盘台（3）上的半导体装置（5）接触而评价半导体装置（5）的电气特性；以及流体吹出部（7），其向半导体装置（5）吹出流体。
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公开(公告)号：CN102565508A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110432580.8
申请日：2011-12-21
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01R19/00
CPC classification number: G01R31/2884 , B82Y25/00 , G01R15/205 , G01R33/091 , G01R33/093 , G01R33/096 , G01R33/098 , H01F10/325 , H01F10/3254 , H01L2224/4846 , H01L2224/49111
Abstract: 本发明的目的在于得到一种在不增大芯片面积的情况下就能提高电流检测精度的半导体装置。半导体元件（1）具有发射极电极（7）。引出线（10）与发射极电极（7）电连接并且通过发射极电极（7）的上方向侧面引出。电流传感器（11）具有磁阻元件（12），对流过引出线（10）的电流进行检测。磁阻元件（12）配置在发射极电极（7）上且引出线（10）的下方。磁阻元件（12）的电阻值相对于由电流产生的磁场线性地变化。
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