无机薄膜的高速沉积方法以及用于所述方法的装置

    公开(公告)号:CN105369218A

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201510474152.X

    申请日:2015-08-05

    Abstract: 本发明涉及无机薄膜的高速沉积方法以及用于所述方法的装置。所述方法包括通过交替使用源气体和反应物气体对衬底进行等离子体处理;并且使所述源气体和反应物气体在衬底的表面上反应以在所述衬底上形成无机薄膜,其中所述源气体和反应物气体的等离子体处理分别在彼此独立的等离子体模块中进行,并且所述源气体包括惰性气体和前体,所述前体包含选自由硅、铝、锌以及它们的组合组成的群组中的金属。

    磁蓄冷器单元以及具有其的磁冷却系统

    公开(公告)号:CN104930749A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201510119202.2

    申请日:2015-03-18

    Abstract: 本发明公开磁蓄冷器单元以及具有其的磁冷却系统。通过能够使传热流体均匀地流动的圆形磁蓄冷器结构以及被以相同的方式改变的磁场和传热流体的流动,以及具有与磁蓄冷器的相对磁导率相似的相对磁导率的磁条,可以在减小转子的转矩的同时获得高效率的磁通产生器。用于驱动的功耗由于齿槽转矩的减小可以降低,并且磁条可以通过使用便宜的铁粉而以低成本制造。

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