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    陀螺传感器、电子设备以及移动体
    51.
    发明公开
    陀螺传感器、电子设备以及移动体 无效

    公开(公告)号：CN105628012A

    公开(公告)日：2016-06-01

    申请号：CN201510818295.8

    申请日：2015-11-23

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古畑诚

    IPC: G01C19/5684

    Abstract: 本发明提供一种陀螺传感器、电子设备以及移动体。所述陀螺传感器能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离。陀螺传感器(100)包括基板(10)、第一振动体(40a)以及第二振动体(40b)、对第一振动体(40a)进行支承的第一悬架弹簧(32a)、对第二振动体(40b)进行支承的第二悬架弹簧(32b)、连结第一振动体(40a)和第二振动体(40b)的连结弹簧(60)，当将第一悬架弹簧(32a)以及第二悬架弹簧(32b)的弹簧常数设为K1，将连结弹簧(60)的弹簧常数设为K2时，满足2K2≤K1。

    物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体
    52.
    发明公开
    物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体 无效

    公开(公告)号：CN105403208A

    公开(公告)日：2016-03-16

    申请号：CN201510557252.9

    申请日：2015-09-02

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古畑诚

    IPC: G01C19/5656

    Abstract: 本发明提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器元件(1)具备：驱动部(24)，其呈沿着XY平面的板状，且在Z轴方向上进行振动；检测部(21)，其利用作用于驱动部(24)上的科里奥利力而在X轴方向上进行振动；梁部(25)，其对驱动部(24)和检测部(21)进行连接；固定部(22)；梁部(23)，其对检测部(21)和固定部(22)进行连接，梁部(25)的Z轴方向上的弹簧常数小于梁部(23)的Z轴方向上的弹簧常数，梁部(23)的Z轴方向上的弹簧常数大于梁部(23)的X轴方向上的弹簧常数。

    微电子机械系统装置、电子模块、电子设备以及移动体
    53.
    发明公开
    微电子机械系统装置、电子模块、电子设备以及移动体 失效

    公开(公告)号：CN103569938A

    公开(公告)日：2014-02-12

    申请号：CN201310309015.1

    申请日：2013-07-22

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古畑诚 ,  田中悟

    IPC: B81B7/00

    CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0086 ,  B81B7/0006 ,  B81B2207/012

    Abstract: 本发明提供一种微电子机械系统装置、电子模块、电子设备以及移动体，其能够对在配线间产生的寄生电容进行抑制。所述微电子机械系统装置具备：底基板；第一配线，其使用第一结构体并被配置在底基板上；第二配线，其使用第一结构体和与第一结构体相连接的第二结构体并被配置在底基板上；微电子机械系统元件，其上连接有第一配线和第二配线，并被配置在底基板上，并且，所述微电子机械系统装置具备第一配线和第二配线相互交叉的交叉部，在交叉部处，第一配线的第一结构体和第二配线的第二结构体交叉。

    振动片、振子、振荡器以及电子设备
    54.
    发明授权
    振动片、振子、振荡器以及电子设备 失效

    公开(公告)号：CN102035499B

    公开(公告)日：2014-01-22

    申请号：CN201010502124.1

    申请日：2010-09-30

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古畑诚 ,  山崎隆

    IPC: H03H9/21 ,  H03H9/15

    CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021

    Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，抑制了因热弹性损失引起的Q值的降低，提高了弯曲振动的效率。振动臂部在一方的主面上具有沿着振动臂部的第1方向设置的第1槽部，在另一方的主面上具有第2槽部和第3槽部，该第2槽部在第2方向上与第1槽部并列地设置，该第3槽部在第1方向上与第1槽部并列地设置，且相比于第1槽部，被设置在基部侧，在一方的主面上具有第4槽部，该第4槽部在第1方向上与第2槽部并列地设置，且相比于第2槽部，被设置在基部侧，第1槽部的深度与第2槽部的深度之和、以及第3槽部的深度与第4槽部的深度之和大于一方的主面与另一方的主面之间的距离。

    陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备
    55.
    发明公开
    陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备 有权

    公开(公告)号：CN103363980A

    公开(公告)日：2013-10-23

    申请号：CN201310116379.8

    申请日：2013-04-03

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古畑诚 ,  田中悟

    IPC: G01C19/5719 ,  G01C19/5747

    CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/5747

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止因碰撞而造成的损坏的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。陀螺传感器具备：驱动质量块，其通过驱动部而在ｘ轴方向上被驱动；检测质量块，其与驱动质量块相连结；驱动用连结部，其一端被连结在驱动质量块上而另一端被固定在固定部上；岛部，其与固定部相连接，且与驱动质量块隔着间隙而配置，并与该驱动质量块电连接；突起，其被设置在驱动质量块的对置于岛部的面与岛部的对置于驱动质量块的面中的至少一个面上，驱动部包括：可动电极部，其与驱动质量块相连接；固定电极部，其以与可动电极部对置的方式而设置，驱动质量块与岛部之间的最短距离大于驱动质量块的驱动振幅且小于可动电极部的最大振幅。

    弯曲振动片
    56.
    发明授权
    弯曲振动片 失效 转让

    公开(公告)号：CN101877575B

    公开(公告)日：2013-05-08

    申请号：CN201010170631.X

    申请日：2010-04-30

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山崎隆 ,  古畑诚

    IPC: H03H9/21

    CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/19

    Abstract: 一种弯曲振动片，能够消除弯曲振动片的振动泄漏，提高Q值，改善CI值，促进小型化以及薄型化。在弯曲振动片中，从基部延伸的振动臂具有在彼此相对的第1以及第2主面上沿着振动臂的长度方向形成的第1以及第2槽部。第1槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于振动臂长度方向的中心线交替错开地配置在中心线两侧的多个第1槽部分构成，第2槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于中心线交替错开地配置在中心线两侧且相对于中心线配置在各第1槽部分的相反侧的多个第2槽部分构成。当对第1以及第2槽部的第1激励电极和振动臂两侧面的第2激励电极施加交流电压时，振动臂在第1或第2主面的面内方向上弯曲振动。

    弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器
    58.
    发明公开
    弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器 失效 转让

    公开(公告)号：CN101847979A

    公开(公告)日：2010-09-29

    申请号：CN201010148347.2

    申请日：2010-03-25

    Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 ,  精工爱普生株式会社

    Inventor： 古畑诚 ,  山崎隆 ,  浜山裕史

    IPC: H03H9/21

    CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02133

    Abstract: 本发明提供一种抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。该音叉型石英振动片(50)由基部(52)和从该基部(52)的一端侧分叉出两支并彼此平行地延伸的一对振动臂(53、54)构成。在各振动臂(53、54)形成有激励电极(36A、37A)，在基部(52)设置了分别与激励电极(36A、37A)相对应的外部连接电极(66、67)。另外，在振动臂(53)的与基部(52)相连的根部附近的基部(52)上设置有由热传导率高的材料形成的热传导路径(57)，该热传导路径(57)被连接于侧面电极(26A、26B)，该侧面电极(26A、26B)分别设置在与振动臂(53)的形成有激励电极(36A)的主面正交的两侧面。从而，图中箭头所示的振动臂(53)的弯曲振动方向的成为与基部(52)相连的根部的第1区域(110)和第2区域(111)通过热传导路径(57)被热连接。

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