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公开(公告)号：CN102157417A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062743.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 一种硅片传输机器人，用于完成较大传输空间的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。特殊结构的硅片传输机器人之所以特殊，在于这种结构并没有传统意义上的R轴，而是在随T轴旋转的机箱盖上，通过铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右活动臂前后平移；而左右活动臂上也铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右取片臂前后平移，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102126209A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110062737.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程；由于高度尺寸较小，适用于对高度方向尺寸有一定限制的R轴空间结构。本发明的W轴差轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴差轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴差轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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公开(公告)号：CN101908497A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010225906.5
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B25J13/00 , B25J19/00
Abstract: 一种应用于洁净环境下的双臂传输机器人，用于高洁净度环境下、大直径半导体硅片的传输与高精度定点置放的。双臂传输机器人的结构形式为R-θ型，其工作原理是基于柱坐标系的空间结构，具有各运动轴可以独立控制的特点。双臂传输机器人主要由R轴左臂机构、R轴右臂机构、T轴旋转机构、Z轴升降机构等组成，并且采用了特殊的密封装置封闭传动机构对外部环境的污染，以适应高洁净度的生产环境要求。
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公开(公告)号：CN101053864A
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200710072211.6
申请日：2007-05-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B06B3/02 , B06B1/06 , B23K20/10 , H01L21/607
Abstract: 本发明提供的是一种并联复合式超声波能量传输装置。它包括并联复合式超声波变幅杆、压电超声换能器以及变幅杆前端的工作劈刀。两套单向振动变幅杆在工作端刚性连接，并联复合式超声波变幅杆通过弹性梁固定在音圈电机的动平台上。本发明提出了一种新型的并联复合式超声波能量传输装置，用来提高引线键合效率。本发明既满足增大超声波变幅杆末端劈刀轨迹覆盖面积的要求，同时，增大了超声波能量密度，减少键合时间，提高键合效率的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1332785C
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200410043692.4
申请日：2004-07-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J3/00
Abstract: 钢带解耦纯平动平面并联机器人，它涉及一种精密定位机构。本发明一号连杆(2)的一端与弯板(10)的一侧铰接，四号连杆(6)的一端与二号电机(5)的转子铰接，一号连杆(2)的另一端与三号连杆(4)的一端及四号连杆(6)的另一端铰接，同步带(9)由销(14)固连在两个带轮(8)上。本发明由一号电机(1)、一号连杆(2)、二号连杆(3)和三号连杆(4)构成了平面闭链的并联机构；由于带轮(8)上连固有同步带(9)，使末端输出模块(7)的转动与一号连杆(2)和弯板(10)之间的铰接轴同步，从而限制了末端输出模块(7)的耦合转动，因而本发明具有结构简单，定位准确且精度高，使机构更加轻巧的优点。
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公开(公告)号：CN1306248C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200510010287.7
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统，它涉及一种运动定位系统。本发明解决了现有定位系统串联结构基层平台直线运动惯量大；并联结构解耦装置结构设计困难及多关节并联杆机构末端执行器竖直方向刚度差的问题。本发明的基座(1)上固定有轴线相互垂直的X轴直线驱动装置(2)和Y轴直线驱动装置(3)，X轴直线驱动装置(2)与X轴移动平台总成(8)固接，Y轴直线驱动装置(3)与Y轴移动平台总成(9)固接，X轴移动平台总成(8)与X轴末端平台(10)之间铰接有X轴平行连杆机构(12)，Y轴移动平台总成(9)与Y轴末端平台(11)之间铰接有Y轴平行连杆机构(13)，X轴末端平台(10)和Y轴末端平台(11)与末端输出平台(15)固接。本发明具有高精度高加速度的优点。
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公开(公告)号：CN118469840A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410424252.0
申请日：2024-04-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T5/60 , G01C21/20 , G06T5/92 , G06T7/90 , G06N3/0464
Abstract: 本发明提出一种适用于低照度环境下的视觉SLAM方法，包括：步骤1：基于相机采集RGB图像；步骤2：将采集到的RGB图像输入增强因子估计模型中获取RGB图像中每个像素对应的增强因子；步骤3：将RGB图像的像素值和对应的增强因子传递给可变形幂函数中；步骤4：通过可变形幂函数计算获取增强后的RGB图像；步骤5：将增强后的RGB图像输入位姿估计模型中获取位姿估计结果。本发明可以快速有效的对低照度图像进行增强，通过将低照度增强模型和相机位姿估计算法相结合，本发明可以有效提高黑暗环境下特征点正确提取和匹配的数目，从而提高相机位姿估计的鲁棒性和精度。
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公开(公告)号：CN102723299B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201210145440.7
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种压电陶瓷抑振的XY精密运动平台，在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动连接体组件(4)，在X轴直线电机组件(2)中的X轴直线电机动子(16)的上、下表面上分别设有X轴动子压电陶瓷膜(15)，在Y轴直线电机组件(3)中的Y轴直线电机动子(21)的上、下表面上分别设有Y轴动子压电陶瓷膜(20)。本发明对直线电机动子的机构振颤反应迅速、并以智能方式预以消除或减小直线电机动子的机构振颤，提高机构刚度；此外还具有重量轻、体积小等优势，适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。
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公开(公告)号：CN102594015B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210080223.4
申请日：2012-03-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K7/102
CPC classification number: H02K7/1023
Abstract: 一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机，属于半导体芯片设备制造领域，为了解决现有Z轴伺服电机的制动装置响应不够迅速、制动力矩不够大的问题。它由Z轴伺服电机和断电制动装置组成，断电制动装置包括环形侧壁、固定磨擦片、间距定位套、牙嵌齿轮、牙嵌磨擦片、活动磨擦片、弹性装置和电磁铁线圈，环形侧壁固定在Z轴伺服电机的端盖上，电磁铁线圈套在Z轴伺服电机的Z轴电机轴外侧，活动磨擦片与Z轴伺服电机端盖之间设置有弹性装置，牙嵌磨擦片套在Z轴电机轴的外侧，牙嵌齿轮位于Z轴电机轴和牙嵌磨擦片之间，和牙嵌磨擦片滑动啮合连接，固定磨擦片套在Z轴电机轴外，与Z轴伺服电机端面间设有间距定位套。用于硅片传输机器人的Z轴驱动装置。
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