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公开(公告)号：CN102200181B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201110062758.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16H25/22 , F16H25/24 , H01L21/677
Abstract: 一种Z轴传动结构，使用三角支撑滑套(6)及三套LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)替代立柱，作为主体支撑结构。由于LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)具有很高的传动精度，而且安装在圆周内呈120°均布，因此使三角支撑滑套(6)只均匀地承受T轴与R轴机构的重量，而不会因受力不均产生额外的翻转力矩，极大的改善了受力状态，使Z轴传动结构更加合理。
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公开(公告)号：CN102157417B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201110062743.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 一种硅片传输机器人，用于完成较大传输空间的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。特殊结构的硅片传输机器人之所以特殊，在于这种结构并没有传统意义上的R轴，而是在随T轴旋转的机箱盖上，通过铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右活动臂前后平移；而左右活动臂上也铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右取片臂前后平移，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102207119B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201110062741.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双螺母同轴联接机构，结构合理，能够适应正反转交变扭矩、具有高同轴回转精度、高可靠性、无空回程、高效率传递扭矩、节省空间。通过控制传动轮(1)、传动轴(4)的加工精度，可以控制其联接精度。通过两个螺母的拧紧力使其贴合面产生很大的静摩擦力，而扭矩的传递完全是通过摩擦力来实现的。此外，由于紧固螺钉承受拉力使螺距产生微观拉长，形成自锁不易松扣。
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公开(公告)号：CN101908497B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201010225906.5
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B25J13/00 , B25J19/00
Abstract: 一种应用于洁净环境下的双臂传输机器人，用于高洁净度环境下、大直径半导体硅片的传输与高精度定点置放的。双臂传输机器人的结构形式为R-θ型，其工作原理是基于柱坐标系的空间结构，具有各运动轴可以独立控制的特点。双臂传输机器人主要由R轴左臂机构、R轴右臂机构、T轴旋转机构、Z轴升降机构等组成，并且采用了特殊的密封装置封闭传动机构对外部环境的污染，以适应高洁净度的生产环境要求。
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公开(公告)号：CN101865291B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201010225903.1
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16J15/43
Abstract: 一种应用于高洁净环境下的磁流体密封结构，包括磁流体密封圈挡圈(1)、导磁套(2)、O型密封圈(3)、磁流体密封圈外接套(4)、联接螺钉(5)、磁流体密封圈(6)，所述磁流体密封结构将O型密封圈(3)套在磁流体密封圈外接套(4)外径的环型槽内；所述磁流体密封圈(6)装入磁流体密封圈外接套(4)的内径孔内，推至贴紧底面；所述磁流体密封圈挡圈(1)底面凸缘与磁流体密封圈外接套(4)内径相配合，使用联接螺钉(5)拧紧；所述导磁套(2)通过过盈配合装配在相对于磁流体密封机构旋转的心轴上。磁流体密封结构的系统(如R轴大臂)中的装配精度是通过精度替换法获得的。本发明的结构密封可靠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102126209B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201110062737.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程；由于高度尺寸较小，适用于对高度方向尺寸有一定限制的R轴空间结构。本发明的W轴差轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴差轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴差轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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公开(公告)号：CN102200181A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110062758.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16H25/22 , F16H25/24 , H01L21/677
Abstract: 一种Z轴传动结构，使用三角支撑滑套(6)及三套LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)替代立柱，作为主体支撑结构。由于LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)具有很高的传动精度，而且安装在圆周内呈120°均布，因此使三角支撑滑套(6)只均匀地承受T轴与R轴机构的重量，而不会因受力不均产生额外的翻转力矩，极大的改善了受力状态，使Z轴传动结构更加合理。
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公开(公告)号：CN102157417A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062743.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 一种硅片传输机器人，用于完成较大传输空间的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。特殊结构的硅片传输机器人之所以特殊，在于这种结构并没有传统意义上的R轴，而是在随T轴旋转的机箱盖上，通过铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右活动臂前后平移；而左右活动臂上也铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右取片臂前后平移，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102126209A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110062737.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程；由于高度尺寸较小，适用于对高度方向尺寸有一定限制的R轴空间结构。本发明的W轴差轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴差轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴差轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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