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公开(公告)号：CN104923469A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510248321.8
申请日：2015-05-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 基于压电陶瓷剪切片不同摆放方向的二维振动装置，它属于能量辅助机械加工的技术领域。它是为了解决现有高精度惯导传感器中薄壁微构件加工时，所用的谐振式振动装置存在振动频率不可调、加工工件刀纹不均匀、不整齐，及现有的非谐振式振动装置存在陶瓷工作时间长的情况下压电特性就会减弱、振动不明显的问题。它的第一导电电极片与第二导电电极片之间夹有第一组压电陶瓷剪切片，第二导电电极片与第三导电电极片之间夹有第二组压电陶瓷剪切片，第三导电电极片与第四导电电极片之间夹有第三组压电陶瓷剪切片，第四导电电极片与第五导电电极片之间夹有第四组压电陶瓷剪切片。本发明利用压电陶瓷剪切片不同摆放方向和施加不同电场方向实现二维振动。
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公开(公告)号：CN104907889A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510389563.9
申请日：2015-07-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具，它属于精密测量的技术领域。它的挠性主轴座由上侧固定板通过多根挠性立柱与下侧固定轴板连接组成，被检测轴受到外力时，因多根挠性立柱刚性值低，被检测轴能带动固定轴板摆动，同时也带动挠性主轴座右侧挠性立柱的右端面上随动反射平面镜摆动；随动反射平面镜的反光面与固定反射平面镜的反光面互相平行相对，半导体激光器发射的激光经过随动反射平面镜的反光面和固定反射平面镜的反光面的多次反射后，入射到一维PSD位置传感器的感光窗口内。本发明利用柔性铰链主轴座进行力到微位移的转换，再利用光杠杆放大原理，采用PSD进行位置测量，最终检测到了主轴受力，实现了力反馈。
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公开(公告)号：CN104007028A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410271032.5
申请日：2014-06-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N3/32
Abstract: 微构件拉伸测试装置，涉及一种微构件力学性能测试装置。本发明可实现对微米尺度构件的力学性能静态参量测量及疲劳特性的探究。两根导轨固定在L形底座上；精密驱动单元固定在右载物平台上，动载物台与精密驱动单元固接，静、动载物台上有一用于固定微构件的定位槽，静载物台与微力传感器固接，微力传感器与力传感器固定块固接，力传感器固定块与左载物平台固接，光栅尺安装在精密驱动单元前侧或后侧面上，右载物平台上固定有读数头安装架，度数头固定在读数头安装架上；右载物平台与丝杠螺母副的丝杠螺母固接，右载物平台通过四个右滑块与两根导轨滑动连接，步进电机驱动丝杠螺母副运动，左载物平台相对导轨固定不动。本发明用于微构件力学性能测试。
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公开(公告)号：CN103258708A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310177052.1
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 大气等离子体成形电极加工微结构密封环类零件的装置，它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的等离子体成形电极的上端面绝缘连接在五轴联动机床的竖直运动工作轴上，将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上，将五轴联动机床设置在密闭工作舱中，等离子体成形电极的下端面成形工作表面具有与待加工碳化硅密封环类零件期望的微结构面型相补偿的微结构，对零件直接进行成形加工；使等离子体成形电极靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙。本发明能对微结构类零件表面进行加工，如碳化硅类密封环，加工效率高，精度高。
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公开(公告)号：CN116079487B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202310243464.4
申请日：2023-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q11/00
Abstract: 一种辊筒模具超精密机床双面动平衡功能实现方法，属于超精密加工装备技术领域，能够提升辊筒模具动平衡调整的效率，提高辊筒模具的加工精度。包括以下步骤：S3.启动超精密机床，由光栅尺组件测量X轴溜板的位移数据，由超精密机床自带的编码器精确记录辊筒模具在此期间的角位移；S5.利用S3的数据获取辊筒模具两个端面的不平衡质量和安装误差的方位；S6.确定两个校正面需要增加的平衡质量和方位。本发明不需要增加额外的传感器，直接在数控系统中采集原始的直线轴伺服性能数据(跟踪误差)，即可实现转子系统的精密动平衡。只依靠机床本身具有的设备和性能，未引入外来误差，系统可靠性更高，容易实现系统集成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115431047B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202211261158.5
申请日：2022-10-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种复合式超精密加工机床，所述机床包括X轴组件、C轴组件、Z1轴组件、Z2轴组件、B轴组件、C轴组件、机床基座以及隔振支承部件，其中：所述机床基座布置在隔振支承部件上；所述机床基座上设置有X轴组件、Z1轴组件以及Z2轴组件；所述Z1轴与Z2轴平行布置，与X轴垂直；所述C轴安装在X轴上，呈卧式布置；所述B轴安装在Z1轴上，呈立式布置。该超精密加工机床整体结构较为紧凑，通过不同轴之间的联动可实现多种形式的加工，在大大减小制造成本的同时大大增加了其应用范围。
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公开(公告)号：CN116295997A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310060087.0
申请日：2023-01-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种使用气体静压轴承的导电游丝弯矩测量系统，所述测量系统包括主轴电机、联轴器、回转工作台、回转轴、高台、工作台和光栅系统，其中：所述回转工作台冷装套设在回转轴上；所述回转轴通过联轴器与主轴电机连接；所述高台固定在工作台上，且高台对称布置在回转工作台两侧；所述光栅系统包括圆标尺光栅、读数头和光栅数显仪；所述圆标尺光栅绕在回转工作台的外侧表面；所述读数头固定在工作台上与圆标尺光栅配对使用；所述光栅数显仪上集成有电子细分电路，且通过电缆与读数头连接。本发明可以实现对不同结构、不同材料的导电游丝的合力矩进行测试，以便确定最小干扰力矩的游丝布置方案，通过控制上实现测量自动化。
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公开(公告)号：CN116123170A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310092984.X
申请日：2023-02-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种自定心的抗卡紧液压阀芯及液压阀，属于液压阀技术领域。液压阀芯，包括阀芯及套设在阀芯上的薄壁结构，薄壁结构的内侧壁开设环状凹槽，阀芯内部开设有液压油流道，液压油流道的入口端设置在阀芯的端面上，液压油流道的出口端在与环状凹槽连通，液压油通过液压油流道流入环状凹槽，从而改变阀芯在液压阀内的液压降分布情况，以实现阀芯自定心。本发明的液压阀芯仅由两部分组成且结构简单，无需加工同心的均压槽或外加辅助装置避免卡紧，利用液压油的高压作用实现阀芯微变形进而实现自定心，提高加工效率；且无论在阀芯哪侧通高压都实现顺锥效果，能够提高装配效率；利用顺锥利于自定心的特点，提高阀芯工作精度和可靠度。
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公开(公告)号：CN116079083A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310161188.7
申请日：2023-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于六轴的柱面菲涅尔超精密加工辊筒设备，属于超精密加工技术领域。辊筒模具安装在辊筒机床上，刀具组件设置在辊筒模具下方，且刀具组件安装在串联双转台上，串联双转台通过XYZ轴位移台安装在辊筒机床上。本发明利用辊筒机床在大尺寸辊筒模具上加工柱面菲涅尔，充分发挥柱面菲涅尔的大尺寸优势，改进了柱面菲涅尔仿形加工方法，去除了用于调整刀具的手动位移台，保证机床整体刚度；同时主轴C轴采用气体静压主轴，将刚度和承载两者进行耦合从而使气浮主轴具有极高的回转精度以及刚度，大大提高其抗干扰能力，X轴和Z轴均为液体静压导轨，低速无爬行，在保证承载力的同时提高了直线运动精度，达到超精密加工要求。
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公开(公告)号：CN116067309A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310161350.5
申请日：2023-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/30 , F16F15/023
Abstract: 一种晶圆平面度检测机，属于超精密加工装备领域。四个隔振器对称设置并固定于检测机支架上，底座固定于四个隔振器上，气浮转台固定于底座上，三点支撑组件固定在气浮转台上，测量盘设置在三点支撑组件上，两个定心气缸组件分别固定在底座上，X轴组件两端固定在两个立柱上，两个立柱固定在底座上，X轴组件的X轴气体静压导轨与气浮转台轴垂直布置，非接触式传感器通过固定在其上的固定座固定在X轴组件的X轴溜板上，非接触式传感器在X轴组件的X轴直线电机驱动下，沿X轴气体静压导轨移动，对晶圆平面度进行检测。本发明的晶圆平面度检测机可以实现较高精度的检测，检测精度可达0.4μm，同时具有较大的测量范围，可测量直径在400mm以内的晶圆平面度。
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