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公开(公告)号：CN111017868A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911148319.8
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列结构硅基点阵的制备方法及其应用，所述制备方法包括：在一硅片表面旋涂光刻胶；采用光刻方法在所述硅片表面形成特定尺寸的点样区；采用溶液法在含点样区的所述硅片表面自组装微纳米球；对沉积了微纳米球的所述硅片进行刻蚀，使所述点样区形成微纳米结构阵列；去除所述硅片表面的所述光刻胶；且去除所述硅片表面的所述微纳米球。本发明阵列结构硅基点阵的制备方法所制得的硅基点阵在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或者光电探测器中的应用。本发明的硅基点阵在物理、化学、能源、催化、生命科学及信息等领域具有潜在的应用前景。
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公开(公告)号：CN111017867A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911148305.6
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种制备网络结构硅基点阵的方法，包括：在硅基底上表面自组装微纳米球阵列；在具自组装微纳米球阵列的所述硅基底表面旋涂前驱体溶液；将所述硅基底放置在退火炉中退火，以在所述硅基底表面形成微纳米碗阵列结构；以等离子刻蚀技术对所述经退火的具有微纳米碗阵列结构的硅基底进行刻蚀，形成微纳米葫芦状阵列结构；将所述硅基底进行掩膜光刻以制备点样区再制成靶板。本发明所提供的网络结构硅基点阵能够提高质谱的分辨率，在催化、生物检测、光电探测等领域具有广泛的潜在应用。
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公开(公告)号：CN110902646A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911148324.9
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列结构硅基靶板及其应用，所述阵列结构硅基靶板包括点样区和外围区，所述点样区具有微纳米结构阵列，所述微纳米结构阵列包括数个微纳米结构，所述微纳米结构的高度为10nm-100μm，等效直径或者等效边长为10nm-100μm，所述相邻微纳米结构之间的距离为10nm-10μm，所述微纳米结构阵列还包括裹附在微纳米结构表面的材料层；以及本发明的阵列结构硅基靶板在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或光电探测器中的应用。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN105973867B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201610297310.3
申请日：2016-05-06
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明涉及一种新型类金属材料与金属复合空心腔阵列结构及其制备方法，该结构包括金属球形空壳和类金属覆盖层，超薄的类金属覆盖在金属球形空壳上，构成类金属‑金属复合空心腔结构。该衬底的制备方法为，首先制备阵列模板，然后利用磁控溅射技术在阵列模板上沉积金属薄膜，之后用四氢呋喃溶液处理浸泡去除模板，最后利用磁控溅射技术沉积一定厚度的类金属材料。本发明提供了新型类金属材料与贵金属复合的空心腔阵列结构的制备工艺，并结合其多极模式等离激元共振和电荷转移机制，实现操作简单、迅速、稳定的检测功能，在材料研究、兴奋剂检测等领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN107482121A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710646981.0
申请日：2017-08-01
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种基于磁场调控的钙钛矿薄膜的制备方法，属于太阳能电池技术领域。主要步骤包括：通过易于实现产业化的成膜工艺，采用碘化铅(lead(Ⅱ)iodide,PbI2)和甲胺碘(CH3NH3I)的混合溶液，在制备过程中引入一定频率和强度的旋转磁场，再经过热处理，即可获得致密光滑、均匀性良好的钙钛矿晶体薄膜。在不采用真空设备、手套箱等条件下，本发明的方法同样能够制备光滑致密的钙钛矿薄膜，具有低成本、可大面积制备的优势。通过本方法获得的钙钛矿晶体薄膜作为光吸收材料应用在薄膜太阳能电池中，所制备的电池器件效率高、稳定性好，这对于实现高效率钙钛矿太阳能电池的低成本制备和产业化具有重要价值。
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公开(公告)号：CN106058060A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610431212.4
申请日：2016-06-16
Applicant: 厦门大学
CPC classification number: Y02E10/549 , H01L51/0003 , H01L51/0077 , H01L51/4253
Abstract: 本发明公开了一种简单快速制备高质量钙钛矿晶体薄膜的方法，属于太阳能电池技术领域。主要步骤为先在衬底上通过成膜工艺形成平整的碘化铅薄膜，然后用CH3NH3X与HC(NH2)2X的混合溶液处理PbI2薄膜，再经过热处理即可获得高质量钙钛矿晶体薄膜。在不采用真空设备、手套箱等设备条件下，本发明的方法也能够制备出厚度可控、结晶度好、覆盖率高、表面平整光滑、吸光性能好的钙钛矿晶体薄膜，而且工艺操作简单，制备周期短。将通过本方法制得的钙钛矿晶体薄膜作为光吸收材料应用在太阳能电池中，所制备的电池器件效率高、稳定性好，这对于实现高效率钙钛矿太阳能电池的低成本制作具有重要参考价值。
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公开(公告)号：CN105973867A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610297310.3
申请日：2016-05-06
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/658
Abstract: 本发明涉及一种新型类金属材料与金属复合空心腔阵列结构及其制备方法，该结构包括金属球形空壳和类金属覆盖层，超薄的类金属覆盖在金属球形空壳上，构成类金属‑金属复合空心腔结构。该衬底的制备方法为，首先制备阵列模板，然后利用磁控溅射技术在阵列模板上沉积金属薄膜，之后用四氢呋喃溶液处理浸泡去除模板，最后利用磁控溅射技术沉积一定厚度的类金属材料。本发明提供了新型类金属材料与贵金属复合的空心腔阵列结构的制备工艺，并结合其多极模式等离激元共振和电荷转移机制，实现操作简单、迅速、稳定的检测功能，在材料研究、兴奋剂检测等领域具有广泛的应用前景。
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