公开(公告)号：CN108660441B

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201810622263.4

申请日：2018-06-15

Applicant: 厦门大学

Inventor： 李静 ,  莫炳杰 ,  尹君

IPC: C23C16/56 ,  C23C16/34 ,  C23C16/01

Abstract: 本发明公开了一种氮化硼薄膜的转移方法。本发明采用高分子聚合物作为辅助柔性外框，将低压化学气相沉积获得的单层六方氮化硼快速转移到目标衬底上，摆脱高分子聚合物残留的困扰，可以快速获得形状可控的六方氮化硼(h‑BN)薄膜样品，经多次转移可获得精确层数的六方氮化硼薄膜样品。

公开(公告)号：CN108660441A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810622263.4

申请日：2018-06-15

Applicant: 厦门大学

Inventor： 李静 ,  莫炳杰 ,  尹君

IPC: C23C16/56 ,  C23C16/34 ,  C23C16/01

Abstract: 本发明公开了一种氮化硼薄膜的转移方法。本发明采用高分子聚合物作为辅助柔性外框，将低压化学气相沉积获得的单层六方氮化硼快速转移到目标衬底上，摆脱高分子聚合物残留的困扰，可以快速获得形状可控的六方氮化硼(h-BN)薄膜样品，经多次转移可获得精确层数的六方氮化硼薄膜样品。