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公开(公告)号：CN111017869A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911149134.9
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种硅基网络结构及其制备方法。包括：硅基底，上表面具有多个阵列分布的球状孔洞；材料层，位于所述硅基底上表面，所述材料层具有多个阵列分布的半球状穿孔，其中所述半球状穿孔正好位于所述球状孔洞上方并且连通所述球状孔洞，而共同组成多个阵列分布的葫芦状孔洞；包覆层，设置于所述硅基底与所述材料层表面上，沿着所述葫芦状孔洞的内表面分布，其中，所述包覆层包括金属、金属化合物或高分子材料层。本发明制备工艺简单、稳定、成本低，同时能够制备多种不同材料复合的葫芦状微纳米阵列结构，该结构能够在发挥微纳米阵列结构独有优势的同时综合多种材料的性质，在催化、生物检测、光电探测等领域具有广泛的潜在应用。
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公开(公告)号：CN110902646B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN201911148324.9
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00 , G01N27/626 , G01N27/68
Abstract: 本发明公开了一种阵列结构硅基靶板及其应用，所述阵列结构硅基靶板包括点样区和外围区，所述点样区具有微纳米结构阵列，所述微纳米结构阵列包括数个微纳米结构，所述微纳米结构的高度为10nm‑100μm，等效直径或者等效边长为10nm‑100μm，所述相邻微纳米结构之间的距离为10nm‑10μm，所述微纳米结构阵列还包括裹附在微纳米结构表面的材料层；以及本发明的阵列结构硅基靶板在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或光电探测器中的应用。
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公开(公告)号：CN111017868B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN201911148319.8
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列结构硅基点阵的制备方法及其应用，所述制备方法包括：在一硅片表面旋涂光刻胶；采用光刻方法在所述硅片表面形成特定尺寸的点样区；采用溶液法在含点样区的所述硅片表面自组装微纳米球；对沉积了微纳米球的所述硅片进行刻蚀，使所述点样区形成微纳米结构阵列；去除所述硅片表面的所述光刻胶；且去除所述硅片表面的所述微纳米球。本发明阵列结构硅基点阵的制备方法所制得的硅基点阵在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或者光电探测器中的应用。本发明的硅基点阵在物理、化学、能源、催化、生命科学及信息等领域具有潜在的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111017869B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN201911149134.9
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种硅基网络结构及其制备方法。包括：硅基底，上表面具有多个阵列分布的球状孔洞；材料层，位于所述硅基底上表面，所述材料层具有多个阵列分布的半球状穿孔，其中所述半球状穿孔正好位于所述球状孔洞上方并且连通所述球状孔洞，而共同组成多个阵列分布的葫芦状孔洞；包覆层，设置于所述硅基底与所述材料层表面上，沿着所述葫芦状孔洞的内表面分布，其中，所述包覆层包括金属、金属化合物或高分子材料层。本发明制备工艺简单、稳定、成本低，同时能够制备多种不同材料复合的葫芦状微纳米阵列结构，该结构能够在发挥微纳米阵列结构独有优势的同时综合多种材料的性质，在催化、生物检测、光电探测等领域具有广泛的潜在应用。
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公开(公告)号：CN111017867B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN201911148305.6
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种制备网络结构硅基点阵的方法，包括：在硅基底上表面自组装微纳米球阵列；在具自组装微纳米球阵列的所述硅基底表面旋涂前驱体溶液；将所述硅基底放置在退火炉中退火，以在所述硅基底表面形成微纳米碗阵列结构；以等离子刻蚀技术对所述经退火的具有微纳米碗阵列结构的硅基底进行刻蚀，形成微纳米葫芦状阵列结构；将所述硅基底进行掩膜光刻以制备点样区再制成靶板。本发明所提供的网络结构硅基点阵能够提高质谱的分辨率，在催化、生物检测、光电探测等领域具有广泛的潜在应用。
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公开(公告)号：CN111017868A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911148319.8
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列结构硅基点阵的制备方法及其应用，所述制备方法包括：在一硅片表面旋涂光刻胶；采用光刻方法在所述硅片表面形成特定尺寸的点样区；采用溶液法在含点样区的所述硅片表面自组装微纳米球；对沉积了微纳米球的所述硅片进行刻蚀，使所述点样区形成微纳米结构阵列；去除所述硅片表面的所述光刻胶；且去除所述硅片表面的所述微纳米球。本发明阵列结构硅基点阵的制备方法所制得的硅基点阵在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或者光电探测器中的应用。本发明的硅基点阵在物理、化学、能源、催化、生命科学及信息等领域具有潜在的应用前景。
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公开(公告)号：CN111017867A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911148305.6
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种制备网络结构硅基点阵的方法，包括：在硅基底上表面自组装微纳米球阵列；在具自组装微纳米球阵列的所述硅基底表面旋涂前驱体溶液；将所述硅基底放置在退火炉中退火，以在所述硅基底表面形成微纳米碗阵列结构；以等离子刻蚀技术对所述经退火的具有微纳米碗阵列结构的硅基底进行刻蚀，形成微纳米葫芦状阵列结构；将所述硅基底进行掩膜光刻以制备点样区再制成靶板。本发明所提供的网络结构硅基点阵能够提高质谱的分辨率，在催化、生物检测、光电探测等领域具有广泛的潜在应用。
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公开(公告)号：CN110902646A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911148324.9
申请日：2019-11-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列结构硅基靶板及其应用，所述阵列结构硅基靶板包括点样区和外围区，所述点样区具有微纳米结构阵列，所述微纳米结构阵列包括数个微纳米结构，所述微纳米结构的高度为10nm-100μm，等效直径或者等效边长为10nm-100μm，所述相邻微纳米结构之间的距离为10nm-10μm，所述微纳米结构阵列还包括裹附在微纳米结构表面的材料层；以及本发明的阵列结构硅基靶板在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或光电探测器中的应用。
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