公开(公告)号：CN115755525A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211589197.8

申请日：2022-12-12

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 李佳伟 ,  邱毅伟 ,  匡翠方 ,  曹春 ,  刘旭 ,  关玲玲 ,  沈小明 ,  赖慧颖 ,  夏贤梦

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/20 ,  C08F222/14 ,  C08F220/18 ,  C08F222/20 ,  C08F122/14

Abstract: 本发明属于光刻胶、飞秒激光直写、光子集成和光波导技术领域，并公开了一种高折射率激光直写液态光刻胶及高曲率光子引线的制备方法，包括光刻胶组合物、激光直写系统和高曲率光子引线的设计和制作方法，本发明所述的高折射率光刻胶组合物由芴系丙烯酸酯、多官能度丙烯酸酯单体和光引发剂组成，所述的光刻胶组合物在可以进行高速飞秒激光直写，并且在显影后得到的结构具有很低的体积收缩率、高折射率和高力学性能，能轻松大批量地实现高曲率光子引线的制备。由本发明光刻胶通过飞秒激光直写技术得到的高曲率、高折射率光子引线在光通信波段具有高透光率和优秀的光传导效率，极大地利于光子集成和光波导，有望在工业生产中大批使用。

公开(公告)号：CN115185160A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202211099107.7

申请日：2022-09-09

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  曹春 ,  沈小明 ,  关玲玲 ,  邱毅伟 ,  夏贤梦 ,  李佳伟 ,  赖慧颖

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法，其特征在于，按质量百分比计，由4‑8wt%纤维素衍生物，4‑8wt%活性单体，0.1‑0.5wt%光敏剂及85‑90wt%溶剂构成。由纤维素衍生物作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，并通过空气物镜的方式进行飞秒激光直写加工，而无需使用折射率匹配油，以方便进行大面积激光直写，并节省光刻胶的用量。同时，纤维素衍生物来源广泛，价格便宜，具有优异的生物可降解性，采用的活性单体和光敏剂也均具有生物相容性，最终光刻胶组合物几乎无毒，使用完毕后可快速的生物降解，不会对环境造成污染。

公开(公告)号：CN114755884A

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202210663716.4

申请日：2022-06-14

Applicant: 之江实验室

Inventor： 曹春 ,  匡翠方 ,  夏贤梦 ,  沈小明 ,  邱毅伟 ,  关玲玲 ,  刘旭

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种有机‑无机杂化飞秒激光直写光刻胶，按质量百分比计，由4‑6wt%的酸A、2‑3wt%的单体B、2‑3wt%硫醇化合物C、0.2‑1.0wt%光引发剂D及87‑91.8wt%溶剂E组成。酸A为锆基丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯或两者的混合物，作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，由此降低加工过程中活性种的扩散以提高精度和分辨率，同时提升光刻胶的力学强度，降低体积收缩率等。所述硫醇化合物C与酸A、单体B可以通过巯基烯点击反应高效快速的交联形成网络结构。同时硫醇化合物C具有抗氧阻聚的作用，可高效地的提升飞秒激光直写的速度。

公开(公告)号：CN114488692A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210392310.7

申请日：2022-04-15

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  邱毅伟 ,  曹春 ,  关玲玲 ,  沈小明 ,  夏贤梦

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明属于光刻胶、激光直写和显微成像技术领域，并公开了一种基于双光子吸收效应的光刻胶组合物及系统，包含光刻胶组合物、激光直写和受激发射损耗成像方法及其系统。所述光刻胶组合物有光引发剂、单体和荧光染料组成。所述光刻胶组合物在进行飞秒激光直写和显影后具有较强的荧光效应。激光直写样品无需镀金，通过STED显微镜来进行荧光成像，实现微纳结构的无损分析。

公开(公告)号：CN113105570B

公开(公告)日：2022-05-03

申请号：CN202110398496.2

申请日：2021-04-12

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  沈小明 ,  曹春 ,  邱毅伟 ,  黄宁 ,  刘旭

IPC: C08F2/48 ,  G03F7/004 ,  C07C201/12 ,  C07C205/35 ,  C07C253/30 ,  C07C255/54 ,  C07C213/02 ,  C07C217/80 ,  C07C41/30 ,  C07C43/215 ,  C07C319/20 ,  C07C323/18

Abstract: 本发明公开了一种液体双光子引发剂及其制备方法与应用，包括步骤一、对苯二酚在缚酸剂及相转移催化剂作用下分散在溶剂中，在惰性气体保护下反应；步骤二、将步骤一的产物加入多聚甲醛、氢溴酸溶于溶剂中反应；步骤三、将步骤二的产物加入三苯基膦溶于溶剂中，在惰性气体保护下反应；步骤四、将将步骤三的产物引入取代基反应。本发明制备的液体双光子引发剂，表现出良好的稳定性和溶解性，双光子聚合反应加工的扫描速率快，微结构精度较好，制备方法简便、提纯简单、所需时间短，得到的产物纯度高。

公开(公告)号：CN114415471A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210188866.4

申请日：2022-03-01

Applicant: 之江实验室

Inventor： 沈小明 ,  夏贤梦 ,  曹春 ,  关玲玲 ,  邱毅伟 ,  匡翠方

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了一种基于硅氧烷的双光子光刻胶及其制备方法、使用方法和应用，按质量百分数计，包括以下组分：30‑99.9wt%的硅氧烷化合物，0‑69.9wt%活性交联剂，0.1‑5wt%的双光子引发剂；制备方法包括以下步骤：在黄光室中按比例将硅氧烷化合物和活性交联剂混合均匀，继续按比例加入双光子引发剂，置于滚轴混匀器上混合均匀，即得到基于硅氧烷的双光子光刻胶。本发明通过在双光子光刻胶中引入硅氧烷材料，形成了有机无机杂化体系，提高了光刻胶的耐候性、耐高低温、耐腐蚀、电绝缘等特性，不含有任何溶剂，可以用于双光子无掩模3D打印，制备任意形状的三维微纳器件，经高温退火除去有机物得到二氧化硅的图案或器件。

公开(公告)号：CN113835296A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202111140604.2

申请日：2021-09-28

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 邱毅伟 ,  曹春 ,  沈小明 ,  夏贤梦 ,  匡翠方 ,  黄宁 ,  刘旭

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明属于光刻胶及激光直写技术领域，公开了一种适用于飞秒激光直写的光刻胶组合物，所述光刻胶组合物由单体、光引发剂和聚合物组成，其技术特征在于所述光刻胶组合物具有双色光敏性，可以被特定波长的飞秒激光引发聚合，同时又可以被另一束连续激光抑制聚合，抑制光束减小了飞秒激光的直写区域，从而提高了飞秒激光直写精度，本发明所提供的光刻胶组合物通过特定结构的单体和聚合物，不仅提高了飞秒激光直写精度，同时降低了飞秒激光直写阈值、增强了机械强度。

公开(公告)号：CN113253572A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110529681.0

申请日：2021-05-14

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠芳 ,  曹春 ,  沈小明 ,  邱毅伟 ,  黄宁 ,  刘旭

IPC: G03F7/027

Abstract: 本发明公开了一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法，其特征在于智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶组份中包含一种可逆光敏引发剂，其具有可逆光敏性，在350‑550nm波长光源的刺激下，可逆光敏引发剂可以发生结构构象转变，失去对700‑1000nm飞秒激光的非线性吸收能力，变成失活状态，从而控制光刻胶的光化学反应，以获得更高的光刻精度，智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶，按质量百分比计，包括0.1‑6wt%可逆光敏引发剂A和94‑99.9wt%树脂B。