公开(公告)号：CN109596291B

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201811308083.5

申请日：2018-11-05

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 朱军华 ,  黄钦文 ,  董显山 ,  恩云飞 ,  刘人怀

IPC: G01M5/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明涉及用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法及装置。提供了一种MEMS微梁材料杨氏模量原位测量方法，该方法包括：获取MEMS微梁的结构参数；获取MEMS微梁的吸合电压、固有频率和振型函数；根据MEMS微梁的结构参数、吸合电压、固有频率和振型函数，确定MEMS微梁的厚度；根据结构参数、振型函数、厚度和吸合电压或者根据结构参数、振型函数、厚度和和固有频率，确定MEMS微梁的杨氏模量。其中，结构参数包括MEMS微梁的长度、宽度和高度，高度为MEMS微梁的上表面与位于MEMS微梁下方的底部电极的上表面之间的距离。通过采用上述测量方法，能够在MEMS微梁厚度未知的情况下测量微梁材料的杨氏模量，实现杨氏模量的无损原位测量。

公开(公告)号：CN109596291A

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201811308083.5

申请日：2018-11-05

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 朱军华 ,  黄钦文 ,  董显山 ,  恩云飞 ,  刘人怀

IPC: G01M5/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明涉及用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法及装置。提供了一种MEMS微梁材料杨氏模量原位测量方法，该方法包括：获取MEMS微梁的结构参数；获取MEMS微梁的吸合电压、固有频率和振型函数；根据MEMS微梁的结构参数、吸合电压、固有频率和振型函数，确定MEMS微梁的厚度；根据结构参数、振型函数、厚度和吸合电压或者根据结构参数、振型函数、厚度和和固有频率，确定MEMS微梁的杨氏模量。其中，结构参数包括MEMS微梁的长度、宽度和高度，高度为MEMS微梁的上表面与位于MEMS微梁下方的底部电极的上表面之间的距离。通过采用上述测量方法，能够在MEMS微梁厚度未知的情况下测量微梁材料的杨氏模量，实现杨氏模量的无损原位测量。

公开(公告)号：CN109579683A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811306759.7

申请日：2018-11-05

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 朱军华 ,  黄钦文 ,  董显山 ,  苏伟 ,  宋芳芳 ,  恩云飞 ,  刘人怀

IPC: G01B7/06 ,  G01H9/00

Abstract: 本发明涉及用于原位测量MEMS微梁的厚度的方法。提供了一种用于原位测量MEMS微梁的厚度的方法，该方法包括：获取MEMS微梁的结构参数；获取MEMS微梁的吸合电压、固有频率和振型函数；根据MEMS微梁的结构参数、吸合电压、固有频率和振型函数，确定MEMS微梁的厚度。MEMS微梁的结构参数包括MEMS微梁的长度、宽度和高度，高度为MEMS微梁的上表面与位于MEMS微梁下方的底部电极的上表面之间的距离。上述用于原位测量MEMS微梁的厚度的方法，由于根据MEMS微梁的结构参数、吸合电压、固有频率和振型函数，确定所述MEMS微梁的厚度，因此能够实现微梁厚度的高精度无损在线测量，这对快速准确地评价MEMS器件的性能至关重要。

公开(公告)号：CN109489605A

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201811250579.1

申请日：2018-10-25

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 黄钦文 ,  恩云飞 ,  王蕴辉 ,  朱军华 ,  董显山

IPC: G01B21/08 ,  G01B11/14

Abstract: 本申请涉及一种平行可动电极厚度测量方法、装置及系统。所述方法包括：获取静电换能器在各偏置电压下分别对应的极间距离；极间距离为静电换能器的可动电极的第一端面至固定电极的第一端面的距离；可动电极的第一端面远离固定电极设置；固定电极的第一端面靠近可动电极设置；根据各偏置电压和各极间距离，得到可动电极的厚度，因此，通过平行可动电极厚度测量方法建立偏置电压、电极间距与可动电极的厚度之间的关系，避免了传统技术直接采用仪器测量带来的误差，提高了测量平行结构静电换能器的可动电极的厚度的精度，进而为分析静电换能器的性能提高良好的支持。

公开(公告)号：CN108710002A

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201810433118.1

申请日：2018-05-08

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 董显山 ,  王蕴辉 ,  黄云 ,  黄钦文 ,  杨少华

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及一种加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计，所述加速度计可靠性测试方法包括采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况,从而利用本发明各实施例中加速度计可靠性测试方法能够测试出输入加速度对加速度计的可靠性的影响。