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公开(公告)号：CN112158792B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202011001239.2
申请日：2020-09-22
Applicant: 浙江大学
Inventor： 车录锋
Abstract: 本发明涉及传感器芯片封装领域，尤其涉及一种适用于MEMS加速度传感器芯片的低应力封装结构，包括MEMS传感器芯片和管壳，传感器芯片底部两端设有金属层区域，管壳腔体底部两端也设有对应的金属层区域；传感器芯片底部一端金属层与管壳腔体底部一端金属层粘接，芯片底部另一端金属层与管壳腔体底部另一端金属层仅接触但不粘接；为阻止粘接材料高温封装时溢向另一侧金属层区域，在传感器芯片底部两侧金属层之间，靠近其中一侧设有凹槽；MEMS传感器芯片仅底部一端与管壳封装为一体，另一端呈自由状态，且芯片与管壳侧壁留有一定的间隙，保证了高温封装时，芯片材料有一定裕度的膨胀空间，从而将传感器的封装应力降低到最小。
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公开(公告)号：CN110764196B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201910866190.8
申请日：2019-09-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于光纤阵列与平面光波导耦合的无导销可插拔对准结构。包括插头和插座的两个部分，插头部分中，V型槽板固定于插头端对准玻璃板上，V型槽板开有V型槽，V型槽中的各根光纤构成了光纤阵列；插座部分中，玻璃光波导基片固定于插座端对准玻璃板上，玻璃光波导基片中制作有平面光波导；插头端和插座端端头一个凸出一个缩进，结构互补成长短凸凹互补结构；底面贴合到插头端对准玻璃板上表面。本发明具有结构紧凑，制作工艺简单的独特优势，因而大幅度降低了器件成本，可靠性更好，有利于实现连接器的小型化，可实现光纤阵列与平面光波导之间的高效连接。
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公开(公告)号：CN111260720A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010029985.6
申请日：2020-01-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供了一种基于深度学习方法的目标高度测定系统，包括图像获取模块、目标检测模块、深度计算模块、检测框矫正模块、高度计算模块及输出显示模块，其中图像获取模块用于利用双目相机来获取前方场景的左右视图；目标检测模块用于获取左视图内的目标检测框；深度计算模块用于获取前方目标距离相机的深度信息；检测框矫正模块用于在已经获取目标检测框的基础上，对目标检测框进一步矫正；高度计算模块用于计算目标的高度；输出显示模块用于对目标高度计算后的结果进行实时显示。相比于传统接触式测量方法及使用红外线等非接触式测量方法，本发明能够对较大尺度目标实现更精确的高度测量。
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公开(公告)号：CN111175891A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201911400480.X
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种连续式电场辅助离子迁移制作光波导的方法。放置隧道式高温炉，隧道式高温炉内有传送带和坩埚，坩埚放置在传送带上运输，隧道式高温炉设置有正电极滑轨和负电极滑轨，正电极滑轨和负电极滑轨的其中一端经各自的导线分别连接到外部直流电源的正负极两端，坩埚内设置电极并和正电极滑轨和负电极滑轨连接；传送带的驱动结构作用下，传送带将坩埚从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉的出口端。本发明提高了光波导芯片的一致性，使芯片合格率控制更方便，减少了固定资产投资，提高了光波导芯片的生产效率，降低了单位芯片的能耗。
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公开(公告)号：CN111158084A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010083822.6
申请日：2020-02-08
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法，这种方法包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作条形离子掺杂区(4)；第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散。将表面制作有条形离子掺杂区(4)的玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片(1)内沿条形离子掺杂区(4)长度方向的温度梯度，使玻璃基片(1)中沿条形离子掺杂区(4)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，将条形离子掺杂区(4)变成锥形离子掺杂区(6)。这种锥形离子掺杂区(6)的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111045149A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911405536.0
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种连续式制作玻璃基离子交换掩埋光波导的方法。放置隧道式高温炉，隧道式高温炉内设有传送带和坩埚，传送带上悬挂有石英花篮，石英花篮沿传送带运输，隧道式高温炉设置有正电极滑轨，正电极滑轨其中一端经导线连接到外部直流电源的正极，坩埚内设置负电极并和外部直流电源的负极连接，石英花篮内设置正电极并和正电极滑轨连接；传送带的驱动结构作用下，传送带将石英花篮从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉，经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉的出口端。本发明提高了光波导芯片的一致性，使芯片合格率控制更方便，减少了固定资产投资，提高了光波导芯片的生产效率，降低了单位芯片的能耗。
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公开(公告)号：CN110764196A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201910866190.8
申请日：2019-09-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于光纤阵列与平面光波导耦合的无导销可插拔对准结构。包括插头和插座的两个部分，插头部分中，V型槽板固定于插头端对准玻璃板上，V型槽板开有V型槽，V型槽中的各根光纤构成了光纤阵列；插座部分中，玻璃光波导基片固定于插座端对准玻璃板上，玻璃光波导基片中制作有平面光波导；插头端和插座端端头一个凸出一个缩进，结构互补成长短凸凹互补结构；底面贴合到插头端对准玻璃板上表面。本发明具有结构紧凑，制作工艺简单的独特优势，因而大幅度降低了器件成本，可靠性更好，有利于实现连接器的小型化，可实现光纤阵列与平面光波导之间的高效连接。
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公开(公告)号：CN115622528A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211269370.6
申请日：2022-10-18
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS谐振器系统。整个谐振器系统包括六个谐振环、连接谐振环的耦合梁、位于环内外侧的驱动/检测电极及固定整个结构的中心锚点。每个谐振环都以呼吸模态进行振动，耦合梁以纵向伸展模态进行振动。所述系统对称的六边形结构，提高了稳定性和抗冲击能力，良好的模态耦合搭配单锚点降低了能量损耗，多个环形结构和内外电极的设置增大了耦合电极面积，提高了机电耦合系数，增大了输出功率，六个谐振环及耦合梁的并联排布降低了动态电阻，差分驱动和检测降低了后端维持电路的复杂度。
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公开(公告)号：CN111025472B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201911400459.X
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B6/134
Abstract: 本发明公开了一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法。放置隧道式高温炉，隧道式高温炉两端开设炉口分别作为进口端和出口端，且在隧道式高温炉的进口端和出口端之间布置水平的传送带；坩埚放置在传送带上并沿传送带运输，传送带的传送轮连接驱动结构，传送带的驱动结构作用下，传送带将坩埚从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉，经高温离子交换反应后输送至隧道式高温炉的出口端。本发明提高了光波导芯片的一致性，使合格率更容易提高；降低了设计、优化玻璃基离子交换表面光波导芯片生产工艺参数的繁琐和成本；提高了光波导芯片的生产效率，降低了能耗。
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公开(公告)号：CN111208608A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010083823.0
申请日：2020-02-08
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法，包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片的表面制作掩埋条形离子掺杂区；第二个环节是将玻璃基片竖直放置在水平热板上进行梯度温度离子扩散。将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区的玻璃基片竖直放置在水平热板上进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片内沿掩埋条形离子掺杂区长度方向的温度梯度，使玻璃基片中沿掩埋条形离子掺杂区长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，将掩埋条形离子掺杂区变成掩埋锥形离子掺杂区。这种掩埋锥形离子掺杂区的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。
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