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公开(公告)号：CN111239898A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010083632.4
申请日：2020-02-09
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法，包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋条形离子掺杂区(8)；第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子扩散。这种方法的特征在于：将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区(8)的玻璃基片(1)竖直放置在水平有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片(1)内沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向的温度梯度，使玻璃基片(1)中沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，增大玻璃基片(1)表面以下的掩埋条形离子掺杂区(8)在贴近有槽热板(5)一端的横截面尺寸，将掩埋条形离子掺杂区(8)变成掩埋锥形离子掺杂区(9)。这种掩埋锥形离子掺杂区(9)的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111239894B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202010083821.1
申请日：2020-02-07
Applicant: 芜湖佳豪电子有限公司 , 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法。放置隧道式高温炉，炉内有传送带和坩埚；坩埚内有熔盐，且熔盐内部设置通过导线接地的负电极；玻璃基片和石英管组成的底部密闭腔置于石英花篮中，腔内有熔盐，石英花篮悬挂于传送带上且玻璃基片浸入坩埚内的熔盐中；底部密闭腔中设置正电极，正电极与石英花篮相对位置固定，且通过电极引线搭上正电极滑竿，并可沿正电极滑竿滑动；正电极滑竿由通过绝缘性滑轨接头连接的多段正电极滑轨组成，多段正电极滑轨分别连接不同的直流电源正极。本发明可提高光波导芯片质量、提高生产效率、降低能耗的基础上，还可以减小掩埋式光波导制作过程中直流电场产生的焦耳热效应带来的不利影响。
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公开(公告)号：CN111208607A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010083642.8
申请日：2020-02-09
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基模斑转换器的方法，这种方法包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片的表面制作条形离子掺杂区；第二个环节是将玻璃基片竖直放置在水平有槽热板上的凹槽内进行梯度温度离子扩散。这种方法的特征在于：增大玻璃基片表面的条形离子掺杂区在贴近有槽热板一端的横截面尺寸，将条形离子掺杂区变成锥形离子掺杂区。这种锥形离子掺杂区的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。而且，可以通过对有槽热板上凹槽形状和尺寸的调节优化模斑转换器的结构和性能。
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公开(公告)号：CN111239894A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010083821.1
申请日：2020-02-07
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法。放置隧道式高温炉，炉内有传送带和坩埚；坩埚内有熔盐，且熔盐内部设置通过导线接地的负电极；玻璃基片和石英管组成的底部密闭腔置于石英花篮中，腔内有熔盐，石英花篮悬挂于传送带上且玻璃基片浸入坩埚内的熔盐中；底部密闭腔中设置正电极，正电极与石英花篮相对位置固定，且通过电极引线搭上正电极滑竿，并可沿正电极滑竿滑动；正电极滑竿由通过绝缘性滑轨接头连接的多段正电极滑轨组成，多段正电极滑轨分别连接不同的直流电源正极。本发明可提高光波导芯片质量、提高生产效率、降低能耗的基础上，还可以减小掩埋式光波导制作过程中直流电场产生的焦耳热效应带来的不利影响。
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公开(公告)号：CN111158084A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010083822.6
申请日：2020-02-08
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法，这种方法包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作条形离子掺杂区(4)；第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散。将表面制作有条形离子掺杂区(4)的玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片(1)内沿条形离子掺杂区(4)长度方向的温度梯度，使玻璃基片(1)中沿条形离子掺杂区(4)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，将条形离子掺杂区(4)变成锥形离子掺杂区(6)。这种锥形离子掺杂区(6)的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。
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公开(公告)号：CN111208608A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010083823.0
申请日：2020-02-08
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法，包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片的表面制作掩埋条形离子掺杂区；第二个环节是将玻璃基片竖直放置在水平热板上进行梯度温度离子扩散。将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区的玻璃基片竖直放置在水平热板上进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片内沿掩埋条形离子掺杂区长度方向的温度梯度，使玻璃基片中沿掩埋条形离子掺杂区长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，将掩埋条形离子掺杂区变成掩埋锥形离子掺杂区。这种掩埋锥形离子掺杂区的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。
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