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公开(公告)号：CN104649219A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201510075300.0
申请日：2015-02-12
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺，包括如下步骤：通过水热法制取“自下而上”的SnO2球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶-SnO2纳米复合材料微结构；通过惰性气氛下的热解碳化-还原，制取图案化碳-锡复合材料微结构。本发明提出了一种基于C-MEMS的优化工艺以制作图案化的碳-锡复合材料微结构，该工艺融合利用了半导体领域的相关技术和微纳米结构合成的方法，工艺简洁、相关技术成熟，可应用于大规模生产，所得到的碳-锡复合材料微结构有着较好的机械性能，较高的化学稳定性和较好的电化学性能。
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公开(公告)号：CN104609366A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510078244.6
申请日：2015-02-13
Applicant: 武汉理工大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明提供了一种新型碳-碳纳米管复合材料高深宽比微结构的制作方法，包括微型硅模具的制作、新型碳-碳纳米管复合材料及高深宽比微结构的制作，所述微型硅模具由紫外光刻和硅的深刻蚀技术制得；所述新型碳-碳纳米管复合材料由多壁碳纳米管和SU-8光刻胶混合所得的光刻胶-碳纳米管复合材料经碳化得到；所述高深宽比微结构可通过背底抽真空的方法在所述微型硅模具中制得。本发明融合了半导体领域的相关技术，工艺简洁、相关技术成熟、可应用于大规模生产，所得到的碳-碳纳米管复合材料的微结构有着较好的机械性能和较高的化学稳定性，可以得到宽度范围在5～100μm，深度范围在200～500μm的微结构，其最高深宽比可达100。
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公开(公告)号：CN110444821B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201910708117.8
申请日：2019-08-01
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于三维电极的柔性微型碱性锌电池的制备方法，包括有以下步骤：S1包括分级异质结构钴基正极材料和多孔锌纳米片阵列负极材料的制备；S2柔性电极槽的构筑；S3微电极的加工及转移、电解质的导入及电池的封装；本发明的有益效果是：1、本发明采用平面叉指型电池构造，相较于刚性扣式电池，尺寸更为微小，结构更为紧凑，从而更易集成，使用更加便捷；2、本发明采用采用三维碳布作为集流体，相较于平面金属基或碳基集流体，不仅提供了更大的比表面积，可负载更多的活性材料；3、本发明采用核壳结构式电极，该电极可提供更大的比表面积；4、采用了以激光切割技术为核心的微电极加工技术，该技术可将块体电极任意图案化。
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公开(公告)号：CN109762278B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201910042726.4
申请日：2019-01-17
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种二维纳米片‑聚合物柔性复合薄膜及其制备方法，由二维纳米片和聚合物基体制备而成，所述二维纳米片由具有钙钛矿结构的(Ca,Sr)2(Nb,Ta)3O10体系中的任意一种或一种以上材料制备而成，所述聚合物为聚偏氟乙烯、聚偏氟乙烯‑三氟乙烯、聚偏氟乙烯‑六氟丙烯、环氧树脂、聚丙烯、聚酰亚胺中的任意一种或一种以上材料制备而成，制备过程包括：高温烧结合成KCa2Nb3O10材料；质子交换反应合成HCa2Nb3O10·1.5H2O材料；剥离成二维纳米片；再通过流延法制备成柔性复合薄膜产品。本发明通过向聚合物基体中添加二维纳米片来实现在较低的无机物添加量下获得性能优异的聚合物基复合材料，从而使复合材料保留聚合物基体的良好柔韧性，提高复合薄膜击穿场强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108470634B
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201810370506.X
申请日：2018-04-24
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于氮掺杂热解碳包覆的石墨烯微型超级电容器制作方法，将配置好的氧化石墨烯溶液注入到挤料装置中，通过三维成型得到三维微电极，经过吡咯处理、冷冻干燥并退火还原，得到微型超级电容器，制作时氧化石墨烯和去离子水按质量比1:15‑1:20混合均匀。本发明制作工艺简便且制作精度高，适合大规模生产，所得产品具有较高的机械稳定性、质量轻、比容量高和循环性能优异等优点，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN104752282B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201510089590.4
申请日：2015-02-27
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种用于微纳器件制作的样品处理装置，包括由铁氟龙制作的洗显装置与甩干装置，所述洗显装置包括底盘、通过螺丝固定在所述底盘上的提杆，所述底盘上设有若干矩形凹槽与圆形通孔，所述圆形通孔从所述底盘底面贯穿至所述矩形凹槽底部；所述甩干装置中间设有凹槽、周围设有镂空的齿状边缘；还提供了一种用于微纳器件制作的样品清洗、显影、润洗的处理工艺。本发明的样品处理装置，用于样品清洗、显影、润洗与甩干过程盛放微纳器件，使样品能得到稳定可靠的清洗与甩干；本发明的样品处理工艺，可显著提高样品清洗、显影、润洗的效率，缩短微纳器件制作周期。
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公开(公告)号：CN105810454B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201610209074.5
申请日：2016-04-06
Applicant: 武汉理工大学
CPC classification number: Y02E60/13
Abstract: 本发明公开了一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺，包括以下步骤：1)中空氧化镍纳米球合成；2)光刻胶‑氧化镍纳米球复合材料微电极的图案化：将中空氧化镍纳米球和光刻胶进行机械搅拌和超声处理，将所得混合物涂覆于电极基板上，再进行光刻、显影、润洗；3)微电极高温热解。本发明创新性地利用光刻胶的光致抗蚀性，并以光刻胶中的感光树脂为碳源与水热法合成的中空氧化镍纳米球进行复合，制得碳/氧化镍/镍图案化微电极，实现了热解碳‑氧化镍复合材料的微电极化目的，且所得微电极表现出良好的电化学性能和机械性能，应用前景广阔。
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公开(公告)号：CN104022286B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410287132.7
申请日：2014-06-24
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明涉及一种多孔VO2纳米线的制备方法，包括如下步骤：1)量取去离子水于烧杯中，保持水浴搅拌状态；2)称取偏钒酸铵粉末加入烧杯中，继续搅拌；3)取出烧杯搅拌冷却至室温取盐酸缓慢加入烧杯中，继续搅拌，调节pH，保持搅拌状；4)将所得溶液转入反应釜中，加热反应，取出反应釜，自然冷却至室温；5)将得到的产物NH4V3O8纳米线放入塑料管中，在干燥箱中烘干；6)将NH4V3O8纳米线烧结，最终得到多孔VO2纳米线。本发明的有益效果是：该纳米线表现出优异的循环特性，是长寿命锂离子电池的潜在应用材料。本发明工艺简单，所采用的简单水热法及煅烧过程对设备要求低，易于扩大化生产，非常有利于市场化推广。
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公开(公告)号：CN105597792A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610120831.1
申请日：2016-03-03
Applicant: 武汉理工大学
IPC: B01J27/057 , B01J35/10 , C25B1/04 , C25B11/06
CPC classification number: Y02E60/366 , B01J27/0573 , B01J35/10 , C25B1/04 , C25B11/0447
Abstract: 本发明涉及一种支撑在碳纤维布上的介孔纳米片结构硒化镍铁材料及制备方法，可作为电解水催化析氧活性材料，其为硒化镍铁介孔纳米片在碳纳米纤维上相互交错链接形成三维网络结构，所述的硒化镍铁介孔纳米片的长度为1-3μm，厚度为25-45nm，碳纳米纤维直径为10-13μm。本发明的有益效果是：支撑在碳纤维布上的介孔纳米片结构硒化镍铁材料作为析氧电极具有优异的催化活性和稳定性，是高催化性能电解水析氧催化剂的潜在应用材料。本发明反应条件温和，基于介孔结构和硒化物的独特优势，采用可控的二次水热方法，通过改变水热时间，制得支撑在碳纤维布上的介孔材料，符合绿色化学的要求；对设备要求低，有利于市场化推广。
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