公开(公告)号：CN111940252B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202010751469.4

申请日：2020-07-30

Applicant: 季华实验室

Inventor： 郭远军 ,  何斌 ,  侯少毅 ,  黎天韵 ,  方威 ,  卫红

IPC: B05C19/06 ,  B05B14/48

Abstract: 本发明公开了一种基于真空环境下回收粉末装置，包括可通过气体但粉末不能通过的粉末收集罐，所述粉末收集罐的气体入口与真空腔体连通，粉末收集罐的气体出口与抽真空装置连通：抽真空装置启动，使真空腔体内形成真空环境，对真空腔体内的芯片进行粉末喷涂，真空腔体内多余的粉末由于压力差被吸入到粉末收集罐内实现收集；本基于真空环境下回收粉末装置的结构简易，能在保持真空环境的同时对粉末尤其是荧光粉等纳米级粉末实现过滤回收；粉末收集罐内设置硫化过滤板，可以实现对纳米级粉末的有效过滤回收；本回收粉末装置无需其他外力，只需要真空泵抽真空时形成的压力差就可以把粉末带到粉末收集罐内，提高工作效率，节省能源。

公开(公告)号：CN112834110A

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN202011604898.5

申请日：2020-12-30

Applicant: 季华实验室

Inventor： 侯少毅 ,  胡琅 ,  胡强 ,  徐平 ,  何斌 ,  黎天韵 ,  郭远军 ,  卫红 ,  黄丽玲

IPC: G01L21/00

Abstract: 本发明提供了一种高精度电容薄膜真空计，包括:壳体,具有一容置腔;两个感应膜片，平行地设置在所述容置腔中，并把所述容置腔分隔为参考真空室和两个待测腔室，且两个所述待测腔室分别位于所述参考真空室的两侧；两个所述待测腔室之间连通，且均与所述参考真空室隔离；连接管，与其中一个待测腔室连通；固定基板，设在所述参考真空室中并与两个所述感应膜片平行；固定基板的两侧分别设置有导电膜，所述固定基板两侧的导电膜分别与相邻的感应膜片组成电容器；该电容薄膜真空计的测量精度和灵敏度较高。

公开(公告)号：CN111748777A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN202010514554.9

申请日：2020-06-08

Applicant: 季华实验室

Inventor： 卫红 ,  胡琅 ,  徐平 ,  侯立涛 ,  冯杰 ,  胡强 ,  侯少毅

IPC: C23C14/32

Abstract: 本发明提供一种可变角度变径磁过滤阴极电弧薄膜沉积设备和方法，包括阴极电弧生成系统、等离子传输系统、真空镀膜腔体以及电源；阴极电弧生成系统包括电弧生成器和靶材；等离子传输系统包括变径磁过滤管道、电磁线圈以及扫描电磁线圈，电磁线圈绕设在所述变径磁过滤管道的外部，变径磁过滤管道为两头大中间小的双喇叭型。本发明通过设置在阴极电弧沉积设备中设计两头大中间小的双喇叭型的变径磁过滤管道，配合绕设在变径磁过滤管道上的电磁线圈，聚焦和偏斜电磁场可以向着基板导向等离子流，而不受电磁场影响的中性宏观粒子则继续从阴极沿着直线行进从而被过滤，通过简洁的磁过滤管道的设计，可以得到致密的均匀的阴极电弧薄膜。