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公开(公告)号：CN106460150A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201680001423.2
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种金属板，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
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公开(公告)号：CN105637110A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480056293.3
申请日：2014-09-24
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C21D6/001 , C21D8/00 , C21D2261/00 , C23F1/00 , C23F1/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种金属板，该金属板能够制作抑制了贯通孔位置的偏差的蒸镀掩模。将热处理前后的距离之差相对于热处理前的样品中的2个测定点间的距离的百万分率定义为热复原率。该情况下，各样品中的热复原率的平均值为-10ppm以上且+10ppm以下，且各样品中的热复原率的偏差为20ppm以下。
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公开(公告)号：CN105492654A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480048190.2
申请日：2014-09-12
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: C23F1/00 , C23C14/021 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23F1/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有良好的传送性的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4％以下。另外，中央部分的陡峭度的最大值为一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为另一端侧部分的陡峭度的最大值以下。此外，一端侧部分的陡峭度的最大值与另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4％以下。
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公开(公告)号：CN105143944A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480022625.6
申请日：2014-04-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G02B7/04
CPC classification number: G02B7/04 , F16F1/021 , F16F1/18 , F16F2224/0208 , G02B7/026 , G02B7/08 , G03B3/10 , G03B5/00 , G03B13/32 , G03B2205/0046 , G03B2205/0053
Abstract: 课题在于，防止了在减薄板簧的厚度的情况下，板簧的弹簧强度下降，且防止了板簧的导电性下降。作为解决手段，板簧(5、11)具有：外框部(5a、11a)；配置于外框部(5a、11a)的内侧的内框部(5b、11b)；以及设置于内框部(5b、11b)与外框部(5a、11a)之间的弹簧部(5c、11c)。板簧(5、11)由Cu系合金构成，其电导率为8％IACS以上，且其0.2％耐力为900MPa以上。
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公开(公告)号：CN104838037A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201480003438.3
申请日：2014-01-10
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 池永知加雄
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/562 , C23C14/5806 , H01L51/56
Abstract: 本发明的目的是提供一种可制作翘曲小的蒸镀掩模的金属板。对从退火工序后的金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下，蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm-1以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119194347A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411468634.X
申请日：2021-03-12
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开涉及标准掩模装置。有机器件的制造装置的蒸镀室的评价方法具备：蒸镀工序，在蒸镀室中，经由标准掩模装置的标准掩模的贯通孔使材料蒸镀于包含标准标记的标准基板，在标准基板上形成蒸镀层；搬出工序，将形成有蒸镀层的标准基板从制造装置搬出；以及观察工序，观察从制造装置搬出的标准基板中的标准标记与蒸镀层的位置关系。
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公开(公告)号：CN114774854B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202210459956.2
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C14/24 , C23F1/02 , C21D1/26 , C21D1/74 , C21D8/02 , C22C38/08 , H10K71/16 , H10K59/10
Abstract: 本发明提供金属板以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
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公开(公告)号：CN113684445B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202111001437.3
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供中间制品、蒸镀掩模的制造方法以及对位方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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公开(公告)号：CN116356252A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310424015.X
申请日：2020-10-09
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开提供蒸镀掩模的制造方法。一种蒸镀掩模的制造方法，其具备：准备金属板的工序，该金属板具备第1面和位于上述第1面的相反侧的第2面；以及加工工序，在上述金属板上形成两个以上的贯通孔，上述加工工序包含：第1面蚀刻工序，通过对上述第1面进行蚀刻而在上述第1面形成两个以上的第1凹部；利用树脂覆盖上述第1凹部的工序；第2面蚀刻工序，通过对上述第2面进行蚀刻而在上述第2面形成与上述两个以上的第1凹部连接的两个以上的第2凹部；以及除去上述树脂的工序，上述第1凹部包含形成有凹陷部的壁面、或者上述第2凹部包含形成有凹陷部的壁面。
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公开(公告)号：CN115572942A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202210702316.X
申请日：2022-06-21
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及掩模的制造方法和掩模。掩模可以具备：在第1方向上相向的第1端部和第2端部；和位于第1端部与第2端部之间并包含贯通孔组的中间部。掩模的制造方法可以具备：中间部形成步骤，在基材形成中间部的外缘和贯通孔组；第1端部形成步骤，在基材形成第1端部的外缘；和第2端部形成步骤，在基材形成第2端部的外缘。中间部形成步骤可以包含：使用第1曝光掩模将基材上的抗蚀剂层曝光的工艺；和经由被曝光和显影的抗蚀剂层对基材进行蚀刻的工艺。第1端部形成步骤可以包含：使用第2曝光掩模将基材上的抗蚀剂层曝光的工艺；和经由被曝光和显影的上述抗蚀剂层对基材进行蚀刻的工艺。或者，第1端部形成步骤可以包含使用激光加工基材的工艺。
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