公开(公告)号：CN107677704B

公开(公告)日：2020-01-21

申请号：CN201710881284.3

申请日：2017-09-26

Applicant: 哈尔滨工程大学 ,  上海航士海洋科技有限公司 ,  哈尔滨航士科技发展有限公司

Inventor： 张洪泉 ,  沈冰 ,  张凯 ,  姜宗泽 ,  刘秀杰

IPC: G01N27/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 一种纳米管材料的气体传感器的制备方法及气体传感器，属于传感器技术领域。气体传感器的敏感元件和补偿元件均包括Al2O3载体、贵金属修饰γ‑Al2O3纳米管阵列；Al2O3载体上设置有敏感电极，敏感电极通过电极焊盘焊接有金属引线，贵金属修饰γ‑Al2O3纳米管阵列位于Al2O3载体的底面上。方法：利用原位生长的Al2O3膜状陶瓷材料做为传感器载体材料，通过微加工技术形成传感器微结构载体，在Al2O3膜状材料的孔洞内修饰γ‑Al2O3和贵金属催化剂后，形成敏感性纳米管阵列敏感芯体，在芯体表面沉积铂膜，光刻和刻蚀后形成敏感电极。该传感器芯体在高温条件下可实现对不同种类的易燃易爆气体进行浓度检测。

公开(公告)号：CN107764425B

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201710886471.0

申请日：2017-11-17

Applicant: 哈尔滨工程大学 ,  上海航士海洋科技有限公司 ,  哈尔滨航士科技发展有限公司 ,  北京航士科技发展有限公司

Inventor： 张洪泉 ,  刘秀杰 ,  姜宗泽 ,  张凯 ,  沈冰

IPC: G01K7/22 ,  G01L9/12

Abstract: 一种海水温度和压力集成的片式传感器芯片的制造方法，包括以下步骤：a、化学清洗；b、激光打孔；c、丝网印刷图形；d、烘干；e、印刷玻璃烧结料；f、一次烧结；g、二次烧结；h、激光调阻；i、三次烧结；j、将铂内引线点焊到电子检测装置的金属引线柱上，制造出能够检测海水温度和压力的传感器；本发明传感器芯片结构紧凑，小型便携，灵敏精确，将温度和压力传感器集成在一起，能同时测量两个参数并降低生产成本，在海水中下潜速度快，测量效率高。

公开(公告)号：CN107576690A

公开(公告)日：2018-01-12

申请号：CN201711001450.2

申请日：2017-10-24

Applicant: 哈尔滨工程大学 ,  上海航士海洋科技有限公司 ,  哈尔滨航士科技发展有限公司

Inventor： 张洪泉 ,  刘秀杰 ,  张凯 ,  沈冰 ,  姜宗泽

IPC: G01N27/07 ,  G01K7/16

Abstract: 本发明属于传感器技术领域，尤其涉及一种检测海水盐度与温度集成集成传感器芯片，包括盐度检测电极、温度检测电极、玄武岩玻璃基片，玄武岩玻璃基片的第一个表面上设置有六个盐度检测电极，盐度检测电极外部设置有第一厚膜包封层，厚膜包封层在盐度检测电极处留有开口，玄武岩玻璃基片的第二个表面上设置有三个温度检测电极，温度检测电极外侧设置有第二厚膜包封层，解决现有传感器基片容易受到海水腐蚀，检测时存在误差的问题，实现海水盐度和温度的同步测量，对海水盐度检测结果进行实时的温度补偿，同时具有多种工作模式，可以检测出损坏或者精度差的电极，提高精度。

公开(公告)号：CN105004764B

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201510412705.9

申请日：2015-07-15

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 张洪泉 ,  高延滨 ,  胡文彬 ,  郭立东 ,  张庆 ,  许德新 ,  李光春 ,  周雪梅 ,  王军 ,  刘秀洁

IPC: G01N27/07 ,  G01N27/06

Abstract: 本发明公开了一种检测海水盐度传感器芯片制造方法。涉及到蓝宝石基片上制作铑电极用于检测海水盐度的制造方法。本发明解决了提高了海水盐度检测的稳定性，采用冗余设计方法，在1个蓝宝石基片上制造冗余的3对检测电极，若其中一个对电极失效，则可通过表决系统识别，另外2个对电极可继续工作，有效提高海水盐度芯片的使用寿命和可靠性。用本发明方法制造出的传感器芯片可以实现海水盐度可靠检测，结构紧凑，冗余设计，工作模式多样；同时，降低了传统电极易产生电极极化而带来的性能漂移问题，有助于保证配接二次仪表的精度，适用于海洋工程、海洋开发等应用领域。

公开(公告)号：CN105241568A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510623149.X

申请日：2015-09-26

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 张洪泉 ,  刘爱东 ,  沈斌 ,  乔英杰

IPC: G01K7/16

Abstract: 本发明提供了一种挠性温度传感器的制造方法，它涉及到在聚酰亚胺薄膜基底上附着金属敏感膜制造挠性温度传感器方法。本发明解决了被测温场的柔性面测温问题，实现了感温结构的挠性化。本发明的制造方法由以下工步组成：聚酰亚胺薄膜上胶-敏感金属膜表面处理-覆金属膜-掩模光刻-复制敏感电阻图形-刻蚀-清洗去胶-激光调整精阻值-电镀焊盘贵金属-焊接引线-聚酰亚胺薄膜胶粘覆膜-形成挠性温度传感器，用本发明方法制造出的温度传感器可以实现大面积温场测量，传感器结构超薄性适于在两物体微缝间测温，挠性安装可应用于柱面、锥面、波浪面等非平面测温。

公开(公告)号：CN105004764A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201510412705.9

申请日：2015-07-15

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 张洪泉 ,  高延滨 ,  胡文彬 ,  郭立东 ,  张庆 ,  许德新 ,  李光春 ,  周雪梅 ,  王军 ,  刘秀洁

IPC: G01N27/07 ,  G01N27/06

Abstract: 本发明公开了一种检测海水盐度传感器芯片制造方法。涉及到蓝宝石基片上制作铑电极用于检测海水盐度的制造方法。本发明解决了提高了海水盐度检测的稳定性，采用冗余设计方法，在1个蓝宝石基片上制造冗余的3对检测电极，若其中一个对电极失效，则可通过表决系统识别，另外2个对电极可继续工作，有效提高海水盐度芯片的使用寿命和可靠性。用本发明方法制造出的传感器芯片可以实现海水盐度可靠检测，结构紧凑，冗余设计，工作模式多样；同时，降低了传统电极易产生电极极化而带来的性能漂移问题，有助于保证配接二次仪表的精度，适用于海洋工程、海洋开发等应用领域。