-
公开(公告)号：CN114296322A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111648320.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接，两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧，负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接，负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接，每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构，每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求，为光刻机提供高精度直线导向。
-
公开(公告)号：CN113917792A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110517.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种工件台移动装置，其包括支撑框架、固定平台、第一固定机构、移动平台、第二固定机构和气浮机构，工作台通过气浮机构实现相对于固定平台或移动平台移动，与支撑面没有接触摩擦，相对于滚轮板簧机构而言消除了摩擦损耗对支撑面平面度的影响，保证了工件台的定位精度，降低了工件台移入移出过程中的控制难度；其次，本工件台移动装置采用了移动平台和固定平台衔接的工件台转移方式，将工件台的悬浮运动行程大大缩短到固定平台支撑面到移动平台支撑面的距离，进一步提高了工件台移入移出的效率，操作较为方便，实现了大质量、大体积工件台的长距离运动，降低了工件台跌落损毁的可能性。
-
公开(公告)号：CN113867106A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111110725.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
-
公开(公告)号：CN113325215A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110470078.X
申请日：2021-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多级梳状滤波的光纤电流互感器输出控制器的设计方法。步骤1：根据光纤电流互感器的闭环系统结构参数仿真确定多级梳状滤波器的级数与降采样率；步骤2：根据步骤1确定的多级梳状滤波器设计FPGA模块；步骤3：根据步骤2的FPGA模块确定输出控制器。本发明用以解决采用FIR滤波器时阶数要求较高，滤波器中存在精度要求较高的浮点数，在保证实时抽取运算的同时，难以转换采样率的问题。
-
公开(公告)号：CN109725276B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201810825040.8
申请日：2018-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R35/02
Abstract: 本发明公开了一种基于小波分析的光纤电流互感器随机误差抑制方法，包括：通过光纤电流互感器测试平台，获取互感器输出的原始数据和温度数据；选择小波函数，计算尺度函数φ(t)和小波函数Ψ(t)；计算高通滤波器和低通滤波器系数；使用小波包分解法，将互感器信号根据已选的滤波器系数进行分解；根据原信号的信噪比，在SURE‑Shrink准则下自适应选取阈值对互感器信号进行降噪处理；对降噪处理后的互感器信号重构；在标称电流输入下，确定光纤电流互感器的标度因数；在变温环境下，获取由小波变换处理后的光纤电流互感器输出信号和环境温度数据，计算温度补偿系数。本发明减小了光纤电流互感器测量在复杂环境中的随机误差，尤其在小电流输入情况下提高了光纤电流互感器的准确度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113030545A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110239853.0
申请日：2021-03-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于磁流体填充边孔光纤的电流传感器，属于光纤传感测量领域。一种基于磁流体填充边孔光纤的电流传感器，电流传感器包括宽谱光源、3dB光纤耦合器、Sagnac环、光谱仪、直流电流源和螺线管，宽谱光源和光谱仪分别连接3dB光纤耦合器的两个输入端，Sagnac环中的两根单模光纤分别连接3dB光纤耦合器的两个输出端，直流电流源与螺线管构成回路，螺线管产生磁场作用在Sagnac环上，Sagnac环中灌注有磁流体，Sagnac环灌注有磁流体的一侧位于螺线管的一端，且Sagnac环与螺线管的轴线垂直。本发明制备简单、制作成本低，通过利用磁流体的双折射特性提高了光纤电流传感器系统电流测量的灵敏度。
-
公开(公告)号：CN106533120B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201610897434.5
申请日：2016-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K49/10
Abstract: 一种用于正交轴传动的磁阻式磁性面齿轮组，涉及机电传动领域。为了解决目前用于正交轴传动的永磁平面齿轮和锥齿轮存在成本高、结构复杂、制造和装配困难的问题。本发明的用于正交轴传动的磁阻式磁性面齿轮组，其组成包括两个轮，两个轮分别是圆柱轮和平面轮，平面轮水平设置，圆柱轮设置在平面轮上方，且圆柱轮和平面轮的轮轴中心线相正交，圆柱轮和平面轮之间留有气隙；当其中一个轮为主动轮时，另外一个轮为从动轮，主动轮通过磁阻力带动从动轮转动；当其中一个轮为永磁式轮时，另外一个轮为机械式轮。本发明中圆柱轮和平面轮没有直接的机械接触，该齿轮组无磨损、噪音小、传动效率高，具有可靠性高、免维护、过载保护等优点。
-
公开(公告)号：CN107896047B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201711175071.5
申请日：2017-11-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K49/10
Abstract: 单绕组混合励磁磁力丝杠，属于机电传动领域。解决了现有混合磁路磁力丝杠推力密度低，结构复杂，励磁绕组利用率低的问题。本发明包括磁螺母和磁螺杆，二者上均设有螺旋形的永磁体，还包括环形励磁绕组；磁螺母同轴套在磁螺杆外部，二者之间留有气隙；环形励磁绕组固定在磁螺母或磁螺杆上，用于调节气隙的耦合磁场，从而调节作用在磁螺母和磁螺杆上的推力，最终完成直线运动和旋转运动的相互转化。本发明主要用于机电传动上。
-
公开(公告)号：CN106849427B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201710108392.7
申请日：2017-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种井壁取芯用永磁电动机，属于永磁电动机领域。机壳一端为轴伸出端，机壳另一端为非轴伸端，机壳的非轴伸端为封闭结构，端盖设置在机壳的轴伸出端外侧，转轴与端盖及机壳的非轴伸端分别转动连接，转轴的外圆周面固定有多个依次相接排布的磁钢，多个磁钢拼接后其外表面形成圆柱面，机壳内壁固定有定子铁芯，定子铁芯的安装槽内固定有定子绕组，定子铁芯与每个磁钢之间均设有径向间隙，每个磁钢与转轴均可拆卸固定连接，机壳的轴伸出端设有U型端口，端盖设置在U型端口内，端盖和机壳通过两个螺栓可拆卸固定连接，端盖的外端面上设置有用于固定取芯结构中的减速器的螺纹连接孔。本发明与井壁取芯结构中减速器、随动引线保护装置等装置配合使用。
-
公开(公告)号：CN105116330B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201510566569.9
申请日：2015-09-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/34
Abstract: 一种常温高压环境下电机的测试方法。它属于常温高压环境下电机特性测试的技术领域。它的方法步骤为：被测电机与陪侍电机放入高压密封桶内；被测电机工作在电动机状态，陪侍电机工作在发电机状态；被测电机的定子电流从1.5倍额定电流逐渐变到0.5倍额定电流；工作在电动机状态的被测电机的杂散损耗PMs；被测电机工作在发电机状态，陪侍电机工作在电动机状态；陪侍电机的定子电流从1.5倍逐渐变到0.5倍额定电流；工作在发电机状态的被测电机的杂散损耗PGs；结合上述测量参数和计算结求取被测电机负载杂散损耗的平均值。本发明能在高压环境下对电机的参数进行检测，其应力作用在整台电机上，使得电机受到的应力方向更具多样性，具有非常广泛的应用前景。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
197
records
(took 0.087 seconds)
