公开(公告)号：CN1274582C

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200410037771.4

申请日：2004-05-12

Applicant: 厦门大学

Inventor： 时康 ,  张力 ,  祖延兵 ,  蒋利民 ,  周勇亮 ,  田中群

IPC: B81C5/00 ,  C01B33/021

Abstract: 硅表面复杂三维微结构的加工方法及其装置，将模板固定于架上，浸入电化学刻蚀溶液，以模板作为工作电极，另在容器中设辅助电极和参比电极，启动电化学系统，将模板逐步移向硅片，进行刻蚀，刻蚀完模板离开硅片表面。由于刻蚀剂寿命缩短而只能扩散很短距离，所以在模板表面形成的刻蚀剂层极薄，以极高的分辨率保持了模板本身的复杂三维立体图形加工于硅片上。可对硅材料进行各种复杂三维微结构(如半球面、锥面等)的批量复制加工。在适当的条件下，以此体系进行硅的加工可以达到每分钟约10微米深度的速度，分辨率达0.1微米以上。

公开(公告)号：CN1569610A

公开(公告)日：2005-01-26

申请号：CN200410037771.4

申请日：2004-05-12

Applicant: 厦门大学

Inventor： 时康 ,  张力 ,  祖延兵 ,  蒋利民 ,  周勇亮 ,  田中群

IPC: B81C5/00 ,  C01B33/021

Abstract: 硅表面复杂三维微结构的加工方法及其装置，将模板固定于架上，浸入电化学刻蚀溶液，以模板作为工作电极，另在容器中设辅助电极和参比电极，启动电化学系统，将模板逐步移向硅片，进行刻蚀，刻蚀完模板离开硅片表面。由于刻蚀剂寿命缩短而只能扩散很短距离，所以在模板表面形成的刻蚀剂层极薄，以极高的分辨率保持了模板本身的复杂三维立体图形加工于硅片上。可对硅材料进行各种复杂三维微结构(如半球面、锥面等)的批量复制加工。在适当的条件下，以此体系进行硅的加工可以达到每分钟约10微米深度的速度，分辨率达0.1微米以上。

公开(公告)号：CN1351258A

公开(公告)日：2002-05-29

申请号：CN00131582.X

申请日：2000-10-28

Applicant: 厦门大学

Inventor： 田昭武 ,  林华水 ,  周勇亮

IPC: G01N27/447 ,  G01N27/453

Abstract: 涉及一种用电泳法分离和分析(生物)化学体系的装置与方法。设有分离通道,通道的首尾两端各有至少一个入水口与出水口,且入、出水口区各有一个电极,分离通道至少包括两个区段,区段通过接点依序相互连接,接点提供电学连接,通过用离子导电体隔开通道与储液池实现,储液池与通道分隔开,储液池设有电极。分离效率高、高效廉价、可微型化使之成为芯片系统,使用安全简便。

公开(公告)号：CN201292932Y

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200820146194.6

申请日：2008-11-06

Applicant: 厦门大学

Inventor： 杨朝勇 ,  张文华 ,  林水潮 ,  王春明 ,  庄峙厦 ,  周勇亮

IPC: F04B45/00 ,  F04B49/06 ,  G05B19/042

Abstract: 气动微泵及其微流阀控制装置，涉及一种控制装置。提供一种气动微泵及其微流阀控制装置。设有气动微泵和微流阀控制电路，气动微泵由3个微流阀串接组成，微流阀设有上层、中间层和下层，上层下部中间部分与中间层之间设有位移腔体，在位移腔体末端设有气体通道，在下层上部中间部分设有流体通道，上层为聚甲基丙烯酸甲酯充放气层，中间层为聚二四基硅氧烷膜层，下层为聚甲基丙烯酸酯流体通道层，3个微流阀的流体通道相通。微流阀控制电路设有USB接口电路、单片机电路、微流阀驱动电路和电源，USB接口电路分别与计算机、单片机电路和电源连接，单片机电路输出端口接微流阀驱动电路输入端，微流阀驱动电路输出端分别接3个微流阀的气体通道。