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公开(公告)号：CN106092514A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201510209977.9
申请日：2015-04-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法，通过在双波长斐索干涉仪装置中，先后采集参考光波与待测平面镜前表面的反射光波的干涉图，通过第一步移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW11(x，y)、ΔW21(x，y)；采集参考光波与透过待测平面镜并被待测平面镜后表面反射的光波的干涉图，通过移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW12(x，y)、ΔW22(x，y)。通过两步测量得到的对应波长波前像差数据求差值，获得待测平面镜光学非均匀性。本发明不需要引入标准反射镜，完全消除了标准反射镜的面形对测量结果的影响，测量步骤简单，弥补了传统绝对测量方法步骤繁琐、易受空气扰动的缺点。
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公开(公告)号：CN104165758A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410439298.6
申请日：2014-08-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于斐索干涉仪的透镜焦距测量装置及方法。本发明通过在斐索涉仪装置中，先后在干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板，来引入物点和像点的轴向位移，实现透镜焦距的测量。首先将玻璃平板放置在猫眼位置，当测试光路中不放置平行平板时，通过移相干涉测量得到测试波前数据W1和参考波前数据W0之差W1-W0。分别将两个不同厚度的平行平板置在测试光路中，通过移相干涉测量得出两个不同的波差W2-W0和波面W3-W0。采用波前差分算法通过计算求得波差W2-W1、波差W3-W1和高斯成像公式，推导出透镜焦距的计算公式。本发明采用非接触式的测量方法避免了对透镜表面的损坏，同时该发明适用于正负透镜焦距的测量。
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公开(公告)号：CN103135366A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201310069314.2
申请日：2013-03-05
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于极紫外光刻掩模缺陷探测的双焦斜入射干涉显微装置，包括13.5nm极紫外光源、真空室、真空抽气泵、气浮光学隔振平台、极紫外CCD、五维掩模调整扫描工作台、五维掩模调整扫描工作台控制器、双焦波带片斜入射干涉显微光学组件；本发明能够同时检测振幅型和位相型极紫外掩模缺陷，抗振性好，精度高，系统成本低。
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公开(公告)号：CN102751903A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210245018.9
申请日：2012-07-16
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种具有大伸长量的刚性直簧移相器，包括主底板、侧边锁紧装置、PZT固定装置和PZT元件，侧边锁紧装置位于主底板的两侧，PZT固定装置位于主底板的中间下方，并与PZT元件直接接触，两者成前后关系，其特征在于：其中主底板由弹簧结构、正向沉孔、反向沉孔以及位于中心位置的空腔组成；移相器通过正向沉孔固定在使用平台上，并通过反向沉孔与被移动器件固定，PZT元件通过PZT固定装置固定在空腔内；该移相器仅使用单PZT，以及结构简单的移相器机械装置（两组刚性直弹簧）就可实现准确、高灵敏度的大行程移相。
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公开(公告)号：CN102749042A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210245019.3
申请日：2012-07-16
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 一种双三角型多通道中波红外干涉检测装置，包括4.4μm半导体激光器、第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、离轴抛物面反射镜、光阑、成像透镜、中波红外探测器、第一折转反射镜、毛玻璃屏、第二折转反射镜、对点成像透镜、切换反射镜、参考镜、待测件依次顺序构成，其中第二反射镜、扩束镜、第一分光镜、第二分光镜构成内三角；第一折转反射镜、毛玻璃屏、第二折转反射镜与切换反射镜构成了外三角，故称为“双三角”光路；双三角型多通道中波红外干涉检测装置，对成像透镜进行了消色差的优化设计，只需更换激光器和探测器就可以使该检测装置分别在3.39μm、4.4μm和10.6μm三个波长下正常工作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102175150A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110029807.4
申请日：2011-01-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种用于检测红外透镜非球面面形和透射波像差质量的红外干涉检测装置，采用两个红外焦平面阵列作为红外探测器，提供了对点、测试双探测成像光路；采用五维调整架夹持被测件，五维调整架固定在配备有精密测长装置的导轨的滑块上；实际干涉检测时通过观察对点、测试图像，配合精密测长装置，实时监测被测件的三维空间位置和倾斜、俯仰二维角度，快速便捷地完成标准镜和被测件的装夹调整，解决了红外光不可见性带来的检测过程中装夹调整的困难。
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公开(公告)号：CN102096124A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201110029384.6
申请日：2011-01-27
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种作为非球面红外干涉测试时产生最佳参考球面的红外非球面齐明透镜装置，采用锗材料/硅材料加工，单片式透镜设计，透镜前表面采用非球面，后表面采用球面，对透镜前表面镀红外高效增透膜，后表面镀与被测件反射率相同的减反膜。锗材料/硅材料较高的折射率和透镜的非球面面形既提高了波像差质量，又使得红外齐明透镜装置可以采用单片非球面透镜的形式从而降低了成本并减小了装夹扭矩，客服了现有装置中采用多片式球面透镜结构设计带来的价格昂贵、装夹扭矩大影响干涉图质量等缺点。
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公开(公告)号：CN118865043B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411006995.2
申请日：2024-07-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉物镜频率筛选的多倍率形貌数据融合方法，属于光学检测领域，采用小波变换的多孔算法，基于所选择干涉物镜的截止频率参数，对各倍率独立的原始形貌数据矩阵进行正变换，得到多个空域子数据矩阵，分别对应包含低、中、高三种频率分量，按本发明阐述的筛选融合策略对两个倍率的多个空域数据矩阵进行融合，再进行小波逆变换，实现形貌数据的多倍率融合。融合后的形貌数据既覆盖大视场全局性，又针对关注区域提供详尽数据。
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公开(公告)号：CN119223203B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411719297.7
申请日：2024-11-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02015
Abstract: 本发明公开了一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法，选用宽光谱扩展面光源，采用科勒照明系统提供覆盖待测视场且具有一定孔径角的均匀照明，设计两级中继系统，通过液晶空间光调制器和涡旋波片实现对全视场光束的振幅及偏振调制；结合扩展的面光源和大数值孔径显微物镜聚焦宽带环形径向偏振光，实现对样品的超分辨显微干涉成像；结合移相干涉法实现对微观结构表面的超分辨形貌测量，解决传统激光点扫描带来的效率低下问题，突破传统显微干涉形貌测量的横向分辨率限制，提升传统显微干涉测量的形貌分辨率。
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公开(公告)号：CN119223203A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411719297.7
申请日：2024-11-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02015
Abstract: 本发明公开了一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法，选用宽光谱扩展面光源，采用科勒照明系统提供覆盖待测视场且具有一定孔径角的均匀照明，设计两级中继系统，通过液晶空间光调制器和涡旋波片实现对全视场光束的振幅及偏振调制；结合扩展的面光源和大数值孔径显微物镜聚焦宽带环形径向偏振光，实现对样品的超分辨显微干涉成像；结合移相干涉法实现对微观结构表面的超分辨形貌测量，解决传统激光点扫描带来的效率低下问题，突破传统显微干涉形貌测量的横向分辨率限制，提升传统显微干涉测量的形貌分辨率。
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