一种提高极紫外辐射转换效率的方法及装置

    公开(公告)号:CN103592822B

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201310522316.2

    申请日:2013-10-29

    Abstract: 本发明公开了极紫外光源中一种用于提高光源极紫外辐射转换效率同时抑制离子碎屑的方法;主要是将极紫外光源的等离子体极紫外光辐射结束剩余的带电粒子重新利用。主要实施方案为利用磁场将激发源与靶材作用后形成的上述所有带电粒子回转到激发源与靶材的作用点重新被作用。该方法由于重新利用了已经处于电离状态的离子,这些离子更容易被较低能量的激光进一步电离而达到能够辐射出极紫外光的价态;提高了激发源能量的利用率。光源极紫外辐射的转换效率将得到显著提升;由于这些带电粒子被重新利用,它们中的大部分将不再能够到达极紫外光源的系统元件。这将能够大大的减少这些粒子对光源系统元件的损伤,从而提升系统元件的使用寿命。

    一种具有高粉末原料利用率的高能束增材制造方法与设备

    公开(公告)号:CN104668563A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201510081170.1

    申请日:2015-02-13

    CPC classification number: Y02P10/295

    Abstract: 本发明公开了一种具有高粉末原料利用率的高能束增材制造方法及设备。方法根据待成形金属构件切片轮廓形状确定成型缸的内部结构,使各铺粉层的金属粉末尽量只处于待成形金属构件切片轮廓形状对应的区域,以大幅度减少金属粉末的用量,并提高高能束增材制造的功效。设备包括一个或多个成型缸,该成型缸的内部结构与待成形金属构件切片轮廓形状相匹配。本发明通过使用镶块以及与金属构件切片轮廓形状相适应的异形基板,实现了针对不同金属构件结构特征的成型缸重构,进而成功避免了传统高能束增材制造当中经常出现的冗余粉末过多的缺陷。应用本发明,可在保证高粉末利用率的条件下,完成不同尺寸、各种复杂结构金属构件的高质、高效成形。

    一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置

    公开(公告)号:CN103042221B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201210545951.8

    申请日:2012-12-14

    Abstract: 本发明公开了一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置,包括激光、透镜、颗粒进料装置、喷嘴和管道。激光与所述喷嘴同轴,并通过透镜聚焦进入喷嘴中,用于加热进入喷嘴的靶材固体颗粒;颗粒进料装置通过管道与喷嘴连接,用于将靶材固体颗粒连续匀速投送至喷嘴中。当靶材固体颗粒进入到喷嘴,激光对靶材固体颗粒进行加热并使其熔化成液体,液体通过喷嘴喷出并形成均匀液滴靶。本发明产生的液滴靶均匀、稳定,大小可控,方法简单可靠;另外靶材在喷射时周围包裹一层稀薄气体,这层稀薄气体的存在能抑制激光与液滴靶材作用后形成的中性或带点的粒子碎片四处飞溅。

    一种高能束增材制造大尺寸金属零部件的设备及其控制方法

    公开(公告)号:CN104001915A

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201410218654.1

    申请日:2014-05-22

    CPC classification number: Y02P10/295

    Abstract: 本发明公开了一种高能束增材制造大尺寸金属零部件的设备。该设备包括工作腔、工作台、控制系统、高能束扫描发生器、贮粉斗、铺粉器及气体净化模块。工作台由成形缸、粉末回收缸组成,成形缸、粉末回收缸上表面共面并构成工作平面。控制系统控制高能束扫描发生器与铺粉器同步沿铺粉方向与工作台相对运动。采用本发明,极大缩短了采用常规激光/电子束选区熔化技术加工零部件时因预置粉末床造成的“等待时间”,从而显著提高高能束增材制造的成形效率。应用本发明可高效率地实现“米”级尺寸的高性能、高精度、复杂结构金属零部件的快速制造。

    一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置

    公开(公告)号:CN103042221A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201210545951.8

    申请日:2012-12-14

    Abstract: 本发明公开了一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置,包括激光、透镜、颗粒进料装置、喷嘴和管道。激光与所述喷嘴同轴,并通过透镜聚焦进入喷嘴中,用于加热进入喷嘴的靶材固体颗粒;颗粒进料装置通过管道与喷嘴连接,用于将靶材固体颗粒连续匀速投送至喷嘴中。当靶材固体颗粒进入到喷嘴,激光对靶材固体颗粒进行加热并使其熔化成液体,液体通过喷嘴喷出并形成均匀液滴靶。本发明产生的液滴靶均匀、稳定,大小可控,方法简单可靠;另外靶材在喷射时周围包裹一层稀薄气体,这层稀薄气体的存在能抑制激光与液滴靶材作用后形成的中性或带点的粒子碎片四处飞溅。

    一种测量重频激光器腔内循环气体流动速度的方法

    公开(公告)号:CN102323445A

    公开(公告)日:2012-01-18

    申请号:CN201110160097.9

    申请日:2011-06-14

    Abstract: 本发明属于速度光学测量技术领域,涉及的是测量流场速度的方法。本发明通过配备增强型电荷耦合(ICCD)成像器件,结合干涉法或纹影法装置系统来拍摄流场的分布规律,通过控制器的延时控制功能,拍摄得到热气团的发生及演化过程,将获得的图像进行数字图像处理,根据图像的特征得到热气团的中心线,对多帧图像处理得到热气团中心线随时间的变化规律,采用最小二乘法进行数据处理和误差估计,得到一维流场的速度分布信息,本方法采用非接触测量方法,能对流场速度进行实时测量,并得到整个一维速度分布信息,克服了现有技术中的不足和缺陷,具有很强的进步及实用性。

    一种高精度的微金属模具快速成型制造方法

    公开(公告)号:CN102151827A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN201110061876.3

    申请日:2011-03-15

    Abstract: 本发明公开了一种高精度微型金属模具的制作方法。它采用激光微快速成型技术制造微型金属模具,再采用微整形技术对微型金属模具进行整形,使之达到高精度。本发明克服了传统微型金属模具三维成型能力不足以及精度不高的难题。本发明采用激光微快速成型技术对微型金属模具成型,三维制造能力强,能直接制造具有任意形状的微型金属模具;采用微整形技术对其进行后续加工,可以得到任意形状的高精度的微型金属模具。

    一种三段式选择性激光熔化组合预热系统

    公开(公告)号:CN108480638B

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN201810521917.4

    申请日:2018-05-28

    Abstract: 本发明属于选择性激光熔化增材制造技术领域,并具体公开了一种三段式选择性激光熔化组合预热系统,该系统包括均布置在工作腔内的预热段、均热段和多级加热段,其中,预热段布置在工作腔内部的上方,用于储存粉末,并对粉末进行预热;均热段位于预热段的下方,用于对从预热段落下的粉末进行均热,并将均热后的粉末送入多级加热段中,均热后的粉末在多级加热段中进行选择性激光熔化成形;多级加热段位于均热段的旁侧,用于对已均热的粉末进行加热,并对已激光成形的部分进行梯度加热,形成自上而下的温度梯度。本发明显著降低了粉末在工作腔内运动过程中的热损失,实现对金属粉末的分段高温预热,具有预热效果好,适用性强等优点。

    一种水导激光辅助激光定向能量沉积的装置及方法

    公开(公告)号:CN117620223A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311580281.8

    申请日:2023-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种水导激光辅助激光定向能量沉积的装置及方法。该装置包括:水导激光加工系统、激光定向能量沉积系统、工作台及控制系统;水导激光加工系统产生激光射流束,在基板表面或具有高反金属材料的加工件表面的沉积区域加工产生微结构;激光定向能量沉积系统在沉积区域沉积高反金属材料,并采用逐层沉积的方式制造加工件;工作台在加工件加工成形过程中通过带动基板对加工件进行升降;控制系统分别与激光定向能量沉积系统、水导激光加工系统和工作台连接,交替控制所连接的部件。通过水导激光在加工件表面产生微结构,利用激光在微结构内部多次反射与吸收,显著提高激光吸收率、表面粗糙度和润湿性,降低材料表面的导热率。

    一种超声辅助的激光减材加工台及激光减材装置

    公开(公告)号:CN117428338A

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202311202458.0

    申请日:2023-09-18

    Abstract: 本发明公开了一种超声辅助的激光减材加工台及激光减材装置,属于激光加工技术领域;通过在超声发射器和超声反射器之间形成驻波场,并通过吹气装置将加工区域内的等离子体和熔融物吹向驻波场所在区域,使凝结后所产生的飞溅物和等离子体凝结物在超声波的作用下聚集在各波节处,并在负压吸力的作用下经由对应的负压吸尘口排出;本发明能够简单快速的将等离子体和熔融物吹出加工区域,并将其凝结体快速聚集到超声波波节处而去除,从而有效地解决激光加工过程中所存在的等离子体和熔融物喷出后掉落凝结在加工面上、以及高能脉冲激光与材料作用时产生的等离子体云团屏蔽激光的问题,且清理过程不会影响激光加工过程,大大提高了加工质量和效率。

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