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公开(公告)号：CN103592822B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310522316.2
申请日：2013-10-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了极紫外光源中一种用于提高光源极紫外辐射转换效率同时抑制离子碎屑的方法；主要是将极紫外光源的等离子体极紫外光辐射结束剩余的带电粒子重新利用。主要实施方案为利用磁场将激发源与靶材作用后形成的上述所有带电粒子回转到激发源与靶材的作用点重新被作用。该方法由于重新利用了已经处于电离状态的离子，这些离子更容易被较低能量的激光进一步电离而达到能够辐射出极紫外光的价态；提高了激发源能量的利用率。光源极紫外辐射的转换效率将得到显著提升；由于这些带电粒子被重新利用，它们中的大部分将不再能够到达极紫外光源的系统元件。这将能够大大的减少这些粒子对光源系统元件的损伤，从而提升系统元件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN103042221B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210545951.8
申请日：2012-12-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B22F9/08
Abstract: 本发明公开了一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置，包括激光、透镜、颗粒进料装置、喷嘴和管道。激光与所述喷嘴同轴，并通过透镜聚焦进入喷嘴中，用于加热进入喷嘴的靶材固体颗粒；颗粒进料装置通过管道与喷嘴连接，用于将靶材固体颗粒连续匀速投送至喷嘴中。当靶材固体颗粒进入到喷嘴，激光对靶材固体颗粒进行加热并使其熔化成液体，液体通过喷嘴喷出并形成均匀液滴靶。本发明产生的液滴靶均匀、稳定，大小可控，方法简单可靠；另外靶材在喷射时周围包裹一层稀薄气体，这层稀薄气体的存在能抑制激光与液滴靶材作用后形成的中性或带点的粒子碎片四处飞溅。
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公开(公告)号：CN103042221A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210545951.8
申请日：2012-12-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B22F9/08
Abstract: 本发明公开了一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置，包括激光、透镜、颗粒进料装置、喷嘴和管道。激光与所述喷嘴同轴，并通过透镜聚焦进入喷嘴中，用于加热进入喷嘴的靶材固体颗粒；颗粒进料装置通过管道与喷嘴连接，用于将靶材固体颗粒连续匀速投送至喷嘴中。当靶材固体颗粒进入到喷嘴，激光对靶材固体颗粒进行加热并使其熔化成液体，液体通过喷嘴喷出并形成均匀液滴靶。本发明产生的液滴靶均匀、稳定，大小可控，方法简单可靠；另外靶材在喷射时周围包裹一层稀薄气体，这层稀薄气体的存在能抑制激光与液滴靶材作用后形成的中性或带点的粒子碎片四处飞溅。
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公开(公告)号：CN114135854A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111210462.2
申请日：2021-10-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种电站锅炉受热面污染监测方法，包括：采集电站锅炉的历史运行数据，根据历史运行数据计算锅炉受热面的历史换热系数或实际换热量；对电站锅炉的设计负荷进行区间划分，求取不同负荷段的历史换热系数或实际换热量的头部数据平均值作为最佳换热系数或最佳换热量；由各个负荷段与其对应的最佳换热系数或最佳换热量得到负荷与最佳换热系数或最佳换热量的一维插值函数；根据历史换热系数与最佳换热系数之比或实际换热量与最佳换热量之比得到洁净因子，并由洁净因子、负荷和吹灰器动作绘制洁净因子曲线图，以实现锅炉污染监测。其可以解决传统监测方法根据设计参数得到的洁净因子不真实和受负荷影响的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103592822A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310522316.2
申请日：2013-10-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了极紫外光源中一种用于提高光源极紫外辐射转换效率同时抑制离子碎屑的方法；主要是将极紫外光源的等离子体极紫外光辐射结束剩余的带电粒子重新利用。主要实施方案为利用磁场将激发源与靶材作用后形成的上述所有带电粒子回转到激发源与靶材的作用点重新被作用。该方法由于重新利用了已经处于电离状态的离子，这些离子更容易被较低能量的激光进一步电离而达到能够辐射出极紫外光的价态；提高了激发源能量的利用率。光源极紫外辐射的转换效率将得到显著提升；由于这些带电粒子被重新利用，它们中的大部分将不再能够到达极紫外光源的系统元件。这将能够大大的减少这些粒子对光源系统元件的损伤，从而提升系统元件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN103064260A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210533926.8
申请日：2012-12-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于极紫外光刻机光源的锡液滴靶产生装置；该锡液滴靶产生装置包括第一储液器、压力装置、恒温控制器、真空喷射室、喷孔和均匀扰动装置；喷孔位于第一储液器底部与真空喷射室顶部之间，使得第一储液器与真空喷射室连通；在第一储液器与真空喷射室压力差的作用下，液体从喷孔喷出并形成射流柱；均匀扰动装置给第一储液器中的液体施加均匀扰动并使得射流柱断裂形成均匀液滴靶。本发明克服了气体靶的靶材密度对激光致等离子体极紫外辐射转换效率的限制，也相当大部分的改善了固体靶的靶材碎屑对光学元件的损伤；本发明产生的靶材液滴均匀、稳定，大小可控，方法简单可靠。
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公开(公告)号：CN103050869B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201210552012.6
申请日：2012-12-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种非等厚镜面结构的微孔冷却镜，冷却镜包括镜面层、沟槽层和镜架，其中镜面层是非等厚度的，沟槽层的通道内填充了多孔材料，镜架有冷却液的进/出口。通过钎焊方法将镜面层与填充有多孔材料的沟槽层焊接到一起组成镜体，镜体与镜架之间通过钎焊或者机械装夹的方式连接到一起。冷却液体由镜架上的进口进入沟槽层，在通过多孔材料的时候与镜体换热，再由镜架上的出口流出，带走热量。本发明提出的非等厚镜面改善了镜面受热不均匀而产生的热变形；充满多孔材料的沟槽层设计克服了全微孔结构冷却镜不能控制冷却液流向的问题，同时为镜面层提供了支撑使镜面层可以制作的更薄而改善散热。
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公开(公告)号：CN113958937A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111248922.0
申请日：2021-10-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明涉及一种电站锅炉受热面污染程度判定方法，包括：定时获取电站锅炉运行数据；从运行数据中筛选出受热面较洁净的数据作为训练集，以剩余数据或预设时间内的数据作为测试集；对训练集和测试集的数据分别进行标准化处理和主成分分析得到降维数据；分别计算降维数据的SPE统计量以及训练集的SPE统计量的控制限；根据测试集的SPE统计量和训练集的控制限判定对应受热面的污染程度。本发明可针对不同受热面，采用同样的算法实现污染程度判定，无需实时测算洁净因子，既能减少使用参数、计算量及计算时间，又能保证灰污监测的准确性。
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公开(公告)号：CN103050869A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210552012.6
申请日：2012-12-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种非等厚镜面结构的微孔冷却镜，冷却镜包括镜面层、沟槽层和镜架，其中镜面层是非等厚度的，沟槽层的通道内填充了多孔材料，镜架有冷却液的进/出口。通过钎焊方法将镜面层与填充有多孔材料的沟槽层焊接到一起组成镜体，镜体与镜架之间通过钎焊或者机械装夹的方式连接到一起。冷却液体由镜架上的进口进入沟槽层，在通过多孔材料的时候与镜体换热，再由镜架上的出口流出，带走热量。本发明提出的非等厚镜面改善了镜面受热不均匀而产生的热变形；充满多孔材料的沟槽层设计克服了全微孔结构冷却镜不能控制冷却液流向的问题，同时为镜面层提供了支撑使镜面层可以制作的更薄而改善散热。
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