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公开(公告)号：CN101431246A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810188140.0
申请日：2008-12-19
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种提高小功率光伏电池输出效率的装置及方法，属于光电技术领域。本发明基于最佳电压控制法，通过在光伏电池与能量存储器之间配置超级电容器和最佳电压控制器，利用超级电容器内阻小的特点，使得超级电容器端电压Vc直接影响光伏电池的输出电压Vs；通过控制超级电容器的充放电过程来控制光伏电池的输出电压，使光伏电池工作在最大输出功率区，从而有效的提高了光伏电池的输出效率。本发明相对于传统方法，具有电路简单、自身功耗低，适合于在小功率微光伏系统中使用。
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公开(公告)号：CN101236362A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200810057060.1
申请日：2008-01-29
Applicant: 北京理工大学
CPC classification number: G03F7/706
Abstract: 本发明涉及一种光刻机投影物镜波像差在线检测方法。通过在光刻机上集成干涉仪装置，进行投影物镜波像差的在线检测、校正和控制。干涉仪装置为点衍射干涉或狭缝衍射干涉仪，具备两种测量模式：PSI测量模式和FTM测量模式。PSI测量模式采用移相干涉术，测量精度较高，主要用于干涉仪装置系统误差标定时；FTM测量模式采用傅立叶变换法处理干涉条纹，测量速度较快，主要在投影物镜波像差在线检测和控制时使用。本方法在不降低检测速度的前提下，提高了测量精度；并且在不降低干涉条纹对比度的前提下，采用质量更高的球面参考波标定干涉仪装置各个元器件所导致的系统误差，提高了干涉仪装置本身的测量精度和可重复性。
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公开(公告)号：CN101236304A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200810057053.1
申请日：2008-01-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种光线平行调整的装置和方法，属于光电检测技术领域。本发明利用高稳定性的准直激光器(1)发射准直激光经过分光器偏振(2)分光，在偏振分光器(2)的反射光路和透射光路上分别放置一个λ/4波片，波片的快轴方向与激光的偏振方向成45°。通过同一块平面反射镜(9)使光线逆向反射，使要调整的光线先后入射到同一个测角探测器(8)上，通过调整二维反射镜(6)使两出射光线的平行性达到1弧秒以下。此方法还可以调整多束光线之间的平行性，结构简单，使用灵活，通用性强，成本较低，便于校正，调整精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101169602A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710178469.4
申请日：2007-11-30
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种调焦调平测量方法与装置，涉及应用于投影光刻系统中晶片的调焦调平传感系统的新方法，属于光学测量领域。本发明包括三大部分：光源准直模块、调焦子系统和调平子系统。本发明的激光器发出激光经过单模光纤准直，再经过漂移补偿装置后，透过偏振分光器和λ/4波片入射到被测硅片上，经过平面反射镜和直角反射棱镜使光线多次经过被测硅片，再利用透镜组在位置探测器前进行放大，得到硅片表面离焦信息。利用平面分光器将光线沿路返回，透过透镜入射到位置敏感探测器上，从而得到硅片表面的二维倾斜信息。本系统具有高分辨率、光路结构简单，不需要复杂的光学设计。
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公开(公告)号：CN201332281Y
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200820136655.1
申请日：2008-12-19
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种在光伏微能源系统中对锂离子电池合理充电的装置，属于光电技术领域。所述装置包括光伏电池、二极管、超级电容器、能量存储控制器、能量存储开关、恒流源和锂离子电池。超级电容器作为能量缓存器，暂存光伏电池的输出能量，并在能量存储控制器的控制下，经能量存储开关和恒流源，为锂离子电池充电。本实用新型根据光伏电池的输出特性，合理设置超级电容器的端电压，提高了光伏电池的输出效率和使用寿命。
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公开(公告)号：CN201210201Y
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200820078801.X
申请日：2008-01-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本实用新型涉及一种光线平行调整的装置，属于光电检测技术领域。本实用新型利用高稳定性的准直激光器(1)发射准直激光经过分光器偏振(2)分光，在偏振分光器(2)的反射光路和透射光路上分别放置一个λ/4波片，波片的快轴方向与激光的偏振方向成45°。通过同一块平面反射镜(9)使光线逆向反射，使要调整的光线先后入射到同一个测角探测器(8)上，通过调整二维反射镜(6)使两出射光线的平行性达到1弧秒以下。此装置还可以调整多束光线之间的平行性，结构简单，使用灵活，通用性强，成本较低，便于校正，调整精度高。
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公开(公告)号：CN201187993Y
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200820078805.8
申请日：2008-01-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本实用新型涉及一种大距离光线平行调整的装置，属于光电检测技术领域。本实用新型的装置包括准直激光器(1)，偏振分光器(2)，放置在偏振分光器(2)反射光路上的平面反射镜(12)，放置在偏振分光器(2)与平面反射镜(12)中间的λ/4波片(3)；放置在偏振分光器(2)透射光路上的二维可调平面反射镜(5)，放置在偏振分光器(2)与二维可调平面反射镜(5)中间的第二个λ/4波片(4)；放置在两次逆向反射光路上的透镜(7)，放置在透镜(7)透射光路上的探测器(8)；其中平面反射镜(12)放置在一个直线导轨(10)的能进行二维小角度调节的导轨副(11)上。使用此装置可以简单的调整大距离平行光线，并且精度很高。
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公开(公告)号：CN201328012Y
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200820136656.6
申请日：2008-12-19
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种提高小功率光伏电池输出效率的装置，属于光电技术领域。通过在光伏电池与能量存储器之间配置超级电容器和最佳电压控制器，利用超级电容器内阻小的特点，使得超级电容器端电压Vc直接影响光伏电池的输出电压Vs；通过控制超级电容器的充放电过程来控制光伏电池的输出电压，使光伏电池工作在最大输出功率区，从而有效的提高了光伏电池的输出效率。具有电路简单、自身功耗低，适合于在小功率微光伏系统中使用。
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