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公开(公告)号：CN117572021B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410063805.4
申请日：2024-01-17
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括边框，边框形成有第一容置空间；外隔离岛，外隔离岛设置于第一容置空间中且固定于边框，外隔离岛形成有第二容置空间；内隔离岛，内隔离岛设置于第二容置空间且连接至外隔离岛；悬臂梁，悬臂梁具有两端，悬臂梁设置于第二容置空间且一端连接至内隔离岛；质量块，质量块连接至悬臂梁的另一端；其中，质量块被构造成在加速度作用下对悬臂梁产生作用力。加速度传感器包括前述的敏感结构。通过设置内、外隔离岛，形成双重隔离结构，可有效消除封装应力、温度应力等外围干扰应力对敏感部分的影响，可提高加速度测量精度和检测可靠性。
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公开(公告)号：CN117607489A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202410063803.5
申请日：2024-01-17
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括框架和敏感单元，框架形成有第一容置空间，敏感单元设置于第一容置空间内。敏感单元包括质量块、第一支撑梁和第二支撑梁。质量块具有主体以及固定至主体的凸部；第一支撑梁和第二支撑梁的一端分别连接至质量块的主体的第一纵向位置和第二纵向位置；其中，质量块的纵向为质量块的敏感方向，质量块的凸部的延伸方向与第一支撑梁、第二支撑梁的延伸方向平行；质量块在加速度作用下对第一支撑梁和第二支撑梁产生作用力。有利于提高敏感结构的抗冲击能力、横向抗干扰能力。可充分利用空间位置，从而减小敏感结构的体积。
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公开(公告)号：CN116364482B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310649193.2
申请日：2023-06-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种一体式高冲击石英微开关。基于熔石英基片一体成型的石英微开关主体，石英微开关主体包括基座、悬臂梁、质量块、下极板、下极板悬臂梁和下极板质量块。质量块通过悬臂梁连接至基座的上端，下极板连接至基座的下端，下极板质量块通过下极板悬臂梁连接至下极板。质量块上设有第一金属层，下极板质量块上设有第二金属层。其中，质量块被构造成可在惯性作用下向下极板质量块移动，当质量块上的第一金属层与下极板质量块的第二金属层未接触时，石英微开关保持断开；当质量块上的第一金属层与下极板质量块的第二金属层接触时，石英微开关导通。该开关结构和加工工艺简单，且导通时间长、可靠性高。
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公开(公告)号：CN116387084B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310643365.5
申请日：2023-06-01
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种石英微开关，该开关包括由下至上通过键合连接的下极板、中间极板和上盖板。其中，中间极板包括中间基板和设置于中间基板下表面的中间电极层；中间基板包括中间边框、质量块和悬臂梁；中间电极层包括设置于质量块的下表面的质量块电极层。下极板包括下基板和设置于下基板的上表面的第二电极层；第二电极层包括导通电极层，导通电极层与质量块电极层相对设置。其中，下基板、上盖板和中间基板的材质均为熔石英；质量块被构造成可在惯性作用下在石英微开关内上下移动，当质量块电极层与导通电极层接触时，第一电极层和第二电极层导通。该开关热应力小、可靠性高，加工工艺简单。
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公开(公告)号：CN116364483B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310649293.5
申请日：2023-06-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种高冲击石英微开关。包括由下至上通过键合连接的下极板、中间极板和上盖板。其中，中间极板包括中间基板和设置于中间基板下表面的中间电极层。中间基板包括中间边框、第一质量块和第一悬臂梁。中间电极层包括质量块电极层，质量块电极层设置于第一质量块的下表面。下极板包括下基板和设置于下基板的上表面的第二电极层。下基板包括下边框、第二质量块和第二悬臂梁。第二电极层包括设置于第二质量块上表面的导通电极层，导通电极层与质量块电极层相对设置。下基板、上盖板和中间基板的材质均为熔石英；当质量块电极层与导通电极层接触时，第一电极层和第二电极层导通。该开关导通时间长，可靠性高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109473249B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201811325896.5
申请日：2018-11-08
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了具备高电磁作用力的微电磁执行器，包括永磁体和微线圈，其特征在于：所述微线圈由若干个相同的矩形铜线圈并排形成平面微线圈，每两个矩形铜线圈之间的间距均相同；所述永磁体由若干磁条拼接而成，每两个相邻磁条的磁化方向均不同。在上述微线圈的设计基础上，可以将永磁体分别设计为：1）面外多极结构；2）面内多极结构；3）基于Halbach构型的结构。相比于传统设计，本发明结构简单，微线圈生长容易，而且能大大提高电磁作用力，方便适用于更多微系统中。
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公开(公告)号：CN108581878A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810397053.X
申请日：2018-04-28
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种多向冲击加载夹具。所述夹具用于固定惯性传感器，包括：夹具底座以及转接夹具；所述夹具底座上设有多个角度定位光孔；多个角度定位光孔以所述第一导线孔为圆心的虚拟圆周上均匀分布；转接夹具上设有凸台，所述凸台上设有与多个角度定位光孔相对应的两组角度定位螺纹孔；两组角度定位螺纹孔对称设置，每组角度定位螺纹孔具有两个，每组角度定位螺纹孔的夹角与两个相邻的角度定位光孔的夹角相等；转接夹具的夹具壁上设有惯性传感器安装盲孔，惯性传感器安装盲孔的形状与待测惯性传感器的形状相匹配。采用本发明所提供的夹具能够提高夹具的通用性，解决了调节范围以及调节步长受限的问题。
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公开(公告)号：CN103115630A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310032828.0
申请日：2013-01-29
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种批量微机械陀螺测试装置，所述测试装置包括上下两层圆台、数根圆柱形支撑柱、圆柱空腔、电路板。上层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条，下层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条以及安装锚点。圆柱空腔包括上下两个半空腔，其顶面和侧面分别设有通道开关、电源接口、主串口、主CAN总线接口、主模拟信号接口。电路板包括数块测试电路板和一块主电路板。测试电路板固定在上下两层圆台“F”形固定条上，上下两层圆台通过数根圆柱形支撑柱连接，圆柱空腔嵌入双层圆台中央通孔中，主电路板置于圆柱空腔内部。本发明的批量微机械陀螺测试装置适用于小批量测试微机械陀螺，适合小批量微机械陀螺生产中的性能测试和筛选场合。
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公开(公告)号：CN206281871U
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201621408705.8
申请日：2016-12-21
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P1/00
Abstract: 本实用新型公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本实用新型首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k(ΔCa‑ΔCb)，将外界环境造成的扰动抑制掉，从而提高了器件的长期稳定性和温度稳定性。
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公开(公告)号：CN208766198U
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201821447602.1
申请日：2018-09-05
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本实用新型公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所述中间极板构成第一电容，所述下极板与所述中间极板构成第二电容，所述第一电容与所述第二电容构成一对差分电容；所述振动台包括反馈层和振动层，所述反馈层位于所述下极板下侧，所述振动层位于所述反馈层下侧；所述反馈层表面引出反馈输出正电极和反馈输出负电极，所述振动层表面引出驱动正电极和驱动负电极。采用本实用新型的表芯和加速度计能够实现对振动层振动幅度的检测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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