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公开(公告)号：CN100431487C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200710036837.1
申请日：2007-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及了一种三维植入式微电极阵列的制作方法，特征在于直接采用商品化的金属丝作为电极材料，并将金属丝嵌入利用微细加工技术制作的模具基片的微细凹槽中，一方面利用模具基片上的微细管道通过电化学腐蚀方法实现金属丝的定点断裂，并在断面处形成尖端；另一方面通过在模具基片上浇注聚二甲基硅氧烷(PDMS)，利用聚合后的PDMS形成夹持金属丝电极的底座支撑部分；然后将包含金属丝的PDMS从模具基片上剥离切割，通过氧等离子轰击后叠加键合在一起组装成三维微电极阵列。本发明提供了一种加工简单、成本低廉的三维植入式微电极阵列制作方法，可用于加工制作进行神经疾病治疗、神经康复以及神经生物学基础研究的植入式微电极阵列。
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公开(公告)号：CN101172184A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710046885.9
申请日：2007-10-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种三维柔性神经微电极及其制作方法，该微电极利用柔性聚合物作为基底材料，通过金属种子层的环状图案设计，进行递进式电镀，形成具有圆滑三维凸起特征的电极位点结构，该结构既可保证电极位点与神经细胞的良好接触，同时又可避免现有三维神经微电极中凸起电极位点的锐利棱角对神经组织的损伤。另外，在电镀过程中通过复合电镀工艺，即电镀液中添加纳米级分散剂，使电极表面形成亚微米级的微孔结构，增加电极位点的表面积，从而增强电极的电流输出能力，保证神经微电极在生物安全性条件限制下的有效刺激。本发明提供的三维柔性神经微电极可广泛应用于神经疾病治疗、神经康复、神经生物学基础研究等领域。
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公开(公告)号：CN101154770A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710045109.7
申请日：2007-08-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种与植入式器件柔性互连的方法，首先在具有牺牲层的基片上制作一聚合物基底层，并根据待连接的植入式器件的需要在所述聚合物基底层相应位置制作通孔，接着在所述聚合物基底层上制作一金属层，并使金属层不覆盖通孔，接着在金属层上形成一隔离绝缘层，并在隔离绝缘层相应位置形成开口，以暴露所述通孔，接着采用腐蚀法腐蚀牺牲层以将夹心式柔性互连膜从基片上释放下来，接着将待连接的植入式器件的焊盘点金属层贴合柔性互连膜的表面并对准所述通孔，再在通孔中通过电镀生长导通金属柱，如此可实现与待连接的植入式器件的柔性连接，有效避免现有技术中互连易出现虚焊的缺点，同时由于柔性互连膜体积小、重量轻、易于集成，可大大减小植入损伤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101006920A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200710036837.1
申请日：2007-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及了一种三维植入式微电极阵列的制作方法，特征在于直接采用商品化的金属丝作为电极材料，并将金属丝嵌入利用微细加工技术制作的模具基片的微细凹槽中，一方面利用模具基片上的微细管道通过电化学腐蚀方法实现金属丝的定点断裂，并在断面处形成尖端；另一方面通过在模具基片上浇注聚二甲基硅氧烷(PDMS)，利用聚合后的PDMS形成夹持金属丝电极的底座支撑部分；然后将包含金属丝的PDMS从模具基片上剥离切割，通过氧等离子轰击后叠加键合在一起组装成三维微电极阵列。本发明提供了一种加工简单、成本低廉的三维植入式微电极阵列制作方法，可用于加工制作进行神经疾病治疗、神经康复以及神经生物学基础研究的植入式微电极阵列。
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公开(公告)号：CN1852634A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610026292.1
申请日：2006-04-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物基底的凸起电极、制备方法及应用，其特征在于采用具有生物相容性和柔性聚合物作为基底材料和加工凸起电极结构，保证电极的刺激点与神经的充分接触，改善神经电刺激和神经信号记录的效果。本发明以各向异性湿法腐蚀硅片制作模具，氧化硅片模具表面形成二氧化硅作为牺牲层，通过剥离、注胶、释放牺牲层得到凸起聚合物微电极(见摘要附图)。本发明提供的基于聚合物基底的凸起电极制备方法具有与传统的微机电(Micro－E1ectro－Mechanical System，MEMS)加工工艺兼容、可标准化大批量制作的特点。本发明制作的电极可广泛应用于神经康复、神经生物学等领域。
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公开(公告)号：CN1687391A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN200510025256.9
申请日：2005-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于驱动聚合酶链式反应微芯片阵列温度自动控制的方法及其装置，其特征在于该温度控制装置包括PC控制软件、数据采集卡、电源模块、信号转换电路及信号处理电路，各电路部分与供电电路相连。其温度控制原理是：温度信号转换电路把芯片的Pt温度传感器的电阻信号变成电压信号，经过信号处理电路将弱电压信号放大并滤波，经过A/D变换传入PC控制软件，在PC窗口显示实时温度—时间曲线，PC程序进行PID控制运算，经I/O输出反馈信号，调节芯片微加热器的电源开/关，实现对PCR微芯片的升、降温自动控制。提供的装置体积小、功耗低、热循环速度快、PCR扩增的效率高，是一种便携式的检测分析设备。
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公开(公告)号：CN109112063A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810947673.6
申请日：2018-08-20
Applicant: 北京旌微医学工程研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及一种核酸检测微流控芯片，包括基片和固定于该基片上的盖片，该盖片上具有油相进样孔和样品进样孔，该盖片与基片相贴合的面为结构面，其上刻蚀有相互连通的与油相进样孔连接的第一微流沟道、与样品进样孔连接的第二微流沟道、位于所述第一和第二微流沟道连接处的液滴产生接口，盖片在液滴收集区内的结构面上固定有一薄片，薄片的周缘与液滴收集区的边界之间具有间隙，形成气路，盖片上还具有与该气路连通的排气孔。避免液滴融合以及破乳问题，提高液滴均一性和稳定性；同时加快dPCR检测时液滴信号读取速度，缩短检测周期。本发明还涉及该核酸检测微流控芯片的制备方法，简单方便，成本低廉，既可大批量生产，也可在实验室小批量制作。
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公开(公告)号：CN213032525U
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202021394294.8
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京旌微医学工程研究院有限公司
IPC: B01L3/00
Abstract: 本申请实施例公开了一种用于微流控芯片的压紧密封装置，以凸轮作为第一带动件实现压头的上下运动，以曲柄作为第二带动件实现芯片滑板的前后运动，通过摇杆、第一带轮和第二带轮形成同步传动件，利用上盖的上下旋转开合运动同步带动第一带动件和第二带动件。本申请公开的密封装置将两套运动机构集成化，用转动上盖的单个执行动力同时实现芯片前后运动和压头上下运动。
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