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公开(公告)号：CN205566676U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215893.6
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转接触式加热装置，包括电源和加热电路和加热丝，加热丝连接有两根铜导线，一根导线连接在正极，另外一根连接到负极，其中，所述加热电路连接有电机,所述加热丝上端设置第一匀热盘，在加热丝的下端设置第二匀热盘，所述第一匀热盘和第二匀热盘通过固定连接成一体，所述第二匀热盘与加热主体连接在一起。与现有技术相比，本装置通过中空轴内部连接导线，外部连接电刷的方式，使加热与旋转组合到一起，可以获得更高的温度。
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公开(公告)号：CN205556779U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215895.5
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备，包括有放卷室和收卷室，其中，在放卷室和收卷室之间设置有加热组件，所述加热组件包括有热屏蔽固定杆，在热屏蔽固定杆上设置放卷夹持辊和收卷夹持辊，在放卷夹持辊和收卷夹持辊设置加热丝。所述支撑管为可升降的。在放卷夹持辊上端设置工艺进气装置，在放卷夹持辊下端设置排气装置。在放卷夹持辊左端设置放卷热屏蔽组件，在收卷夹持辊右端设置收卷热屏蔽组件。在收卷轴转动密封装置的左侧设置水冷辊转动密封装置。
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公开(公告)号：CN205556760U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620216457.0
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种升降转动定位装置，包括有四个支撑架以及位于支撑架上的上面板，上面板中设置有腔体，腔体包括有上盖，腔体的一端设置有支撑管，支撑管通过焊接板组件与上盖相连，支撑管的上端设置有轴套，其中，在轴套上设置有卡环法兰，卡环法兰上设置有定位块，定位块中设置有定位孔，在焊接板组件上设置一个定位螺栓，所述定位螺栓与定位孔相匹配。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：与现行设备相比，增加上盖转动定位装置以后，设备操作过程安全、灵活，可控程度高。
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公开(公告)号：CN218755997U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223239870.3
申请日：2022-12-02
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种真空镀膜水冷转架，采用在真空镀膜水冷转架的下方设置进出水装置；进出水装置设置在旋转装置的内部；旋转装置上连接转架结构；进出水装置通过旋转装置后，将冷却介质接入到转架结构中，进行冷却，使得整个真空镀膜水冷转架能够对放置在其上面的镀膜产品进行冷却。解决了在真空镀膜不耐温的薄膜产品的时候，需要进行降温的技术问题。
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公开(公告)号：CN213739647U
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202022100856.X
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型涉及一种多弧离子镀中靶材的安装结构，包括：水冷法兰，设置在多弧离子镀中靶材的安装结构的底部；封水板，覆盖在水冷法兰的上方；靶材，设置在封水板的上方；紧固法兰，固定在水冷法兰上方；锁紧结构，设置在紧固法兰与靶材的结合处，同现有技术相比，在需要更换靶材的时候，利用锁紧结构，不再需要进行螺栓拆卸和安装，减少操作时间，提高工作效率。不会造成由于靶材更换频繁，使得密封圈常常失效，导致密封失效，就需要重新拆开、重新安装的技术问题出现，减少拆装水冷法兰、紧固法兰、封水板之间的固定结构，封水板可以做的很薄，减少了封水板的厚度，薄的封水板水冷效果更好，可以有效降低大颗粒的产生。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN207217214U
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201721135249.9
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: H01F7/02
Abstract: 本实用新型公开了一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；磁铁组件的下方连接一主轴；主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，主轴上设置第一键槽；第一键槽内设置一平键；平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构；通过在主轴上设置一主轴高度调节机构，进行在磁路结构的远、近状态下的调节，在不影响小弧源磁路结构的转动的状况下，形成小弧源磁路结构高低调节，克服了单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的远、近方向的技术问题，满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。
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公开(公告)号：CN207178581U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135323.7
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F16H1/02
Abstract: 本实用新型公开了一种滚筒的二级传动机构，在法兰的背面设置一电机；将电机穿过法兰，在法兰的前面设置一小齿轮；其特征在于，小齿轮与大齿轮啮合；在大齿轮中间设置一同心圆孔；在同心圆孔内设置若干个固定导轮；固定导轮设置在大齿轮第一同心圆上，大齿轮的同心圆孔边缘嵌入到固定导轮的凹槽中；在大齿轮同心圆孔的外侧开设若干个小圆孔；在小圆孔之间间隔设置若干个活动导轮；活动导轮设置在大齿轮的第二同心圆上；活动导轮上设置凹槽，在活动导轮的凹槽内嵌入一工字型连接法兰；解决了在滚筒上料、取料过程中，由于齿轮机构依然与滚筒等部件相连接，转动滚筒非常费力，使得在滚筒的手动状态下无法实现转动的技术问题。
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公开(公告)号：CN207176063U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721134500.X
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本实用新型公开了一种全拆卸式旋转靶用挡板，其特征在于，包括外挡板、内挡板、内挡板的驱动部件；外挡板固定在真空腔室上；内挡板设置在外挡板的内部；内挡板的下方设置一内挡板的驱动部件；所述内挡板的驱动部件带动内挡板呈正、反向开关；利用内挡板的驱动部件带动内挡板呈正、反向开关，实现了内挡板在0-180°的位置进行调整，从而达到了控制靶向装置的靶向的方向、强度，同时避免了在调节和拆卸都需要停机的状况。
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公开(公告)号：CN207176060U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135321.8
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种磁场高度可调节的矩形大弧源，包括法兰式框架、靶材、磁路组件、水冷靶座；在法兰式框架的内部设置水冷靶座、在水冷靶座的上方设置靶材；其特征在于，在水冷靶座的内部、在靶材的下方设置第一空腔；在第一空腔内设置一磁路组件，磁路组件的下方设置一调节装置；磁路组件在第一空腔内上、下调节；解决了现有的多弧离子镀膜一般都采用多排小弧源并列的安装模式或线圈激励的单个矩形弧源的方式，满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。
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公开(公告)号：CN205556761U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620261204.5
申请日：2016-03-31
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/00
Abstract: 本实用新型公开了一种可供镀膜设备使用的滚筒，包括上半体和下半体，其中，上半体包括第一侧面、第二侧面、第三侧面、第四侧面、第五侧面和第六侧面，下半体包括第七侧面、第八侧面、第九侧面、第十侧面、第十一侧面和第十二侧面，其中上半体的前述六个侧面与下半体的六个侧面交错相邻设置。通过上半体的六个侧面与下半体的六个侧面通过无缝焊接交错设置。使用本滚筒镀膜时，样品在滚筒内部分布均匀，处于“S”型曲线运动状态；样品可以沿滚筒拼接处翻滚，消除了叶片式滚筒的样品掉落时的碰撞，保证膜层质量。
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