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公开(公告)号：CN105624628A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610160459.7
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
CPC classification number: C23C14/35 , H01J37/3405
Abstract: 本发明公开了一种预溅射时磁路组件可以转动的旋转阴极，包括进水管以及设置在进水管外部的磁路组件，其中，在进水管上端设置一个进水轴，所述进水轴与水接头相连接，进水轴与进水管相通，在进水轴的上端设置一个旋转气缸。所述旋转气缸与进水轴通过设置联动法兰实现传动。与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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公开(公告)号：CN105624620B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201610160460.X
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰，过渡法兰外侧设置有安装法兰，安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件，其中，在波纹管内侧纵向设置一个进气管，所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中，在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔，所述倾斜气孔与进气管相通，所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。与现有技术相比，本发明的有益效果是：提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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公开(公告)号：CN105624628B
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201610160459.7
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种预溅射时磁路组件可以转动的旋转阴极，包括进水管以及设置在进水管外部的磁路组件，其中，在进水管上端设置一个进水轴，所述进水轴与水接头相连接，进水轴与进水管相通，在进水轴的上端设置一个旋转气缸。所述旋转气缸与进水轴通过设置联动法兰实现传动。与现有技术相比，本发明的有益效果是：本专利提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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公开(公告)号：CN105624620A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610160460.X
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
CPC classification number: C23C14/3407 , C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰，过渡法兰外侧设置有安装法兰，安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件，其中，在波纹管内侧纵向设置一个进气管，所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中，在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔，所述倾斜气孔与进气管相通，所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。与现有技术相比，本发明的有益效果是：提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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公开(公告)号：CN205566676U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215893.6
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转接触式加热装置，包括电源和加热电路和加热丝，加热丝连接有两根铜导线，一根导线连接在正极，另外一根连接到负极，其中，所述加热电路连接有电机,所述加热丝上端设置第一匀热盘，在加热丝的下端设置第二匀热盘，所述第一匀热盘和第二匀热盘通过固定连接成一体，所述第二匀热盘与加热主体连接在一起。与现有技术相比，本装置通过中空轴内部连接导线，外部连接电刷的方式，使加热与旋转组合到一起，可以获得更高的温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN205556779U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215895.5
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备，包括有放卷室和收卷室，其中，在放卷室和收卷室之间设置有加热组件，所述加热组件包括有热屏蔽固定杆，在热屏蔽固定杆上设置放卷夹持辊和收卷夹持辊，在放卷夹持辊和收卷夹持辊设置加热丝。所述支撑管为可升降的。在放卷夹持辊上端设置工艺进气装置，在放卷夹持辊下端设置排气装置。在放卷夹持辊左端设置放卷热屏蔽组件，在收卷夹持辊右端设置收卷热屏蔽组件。在收卷轴转动密封装置的左侧设置水冷辊转动密封装置。
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公开(公告)号：CN205556760U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620216457.0
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种升降转动定位装置，包括有四个支撑架以及位于支撑架上的上面板，上面板中设置有腔体，腔体包括有上盖，腔体的一端设置有支撑管，支撑管通过焊接板组件与上盖相连，支撑管的上端设置有轴套，其中，在轴套上设置有卡环法兰，卡环法兰上设置有定位块，定位块中设置有定位孔，在焊接板组件上设置一个定位螺栓，所述定位螺栓与定位孔相匹配。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：与现行设备相比，增加上盖转动定位装置以后，设备操作过程安全、灵活，可控程度高。
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公开(公告)号：CN205556761U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620261204.5
申请日：2016-03-31
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/00
Abstract: 本实用新型公开了一种可供镀膜设备使用的滚筒，包括上半体和下半体，其中，上半体包括第一侧面、第二侧面、第三侧面、第四侧面、第五侧面和第六侧面，下半体包括第七侧面、第八侧面、第九侧面、第十侧面、第十一侧面和第十二侧面，其中上半体的前述六个侧面与下半体的六个侧面交错相邻设置。通过上半体的六个侧面与下半体的六个侧面通过无缝焊接交错设置。使用本滚筒镀膜时，样品在滚筒内部分布均匀，处于“S”型曲线运动状态；样品可以沿滚筒拼接处翻滚，消除了叶片式滚筒的样品掉落时的碰撞，保证膜层质量。
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公开(公告)号：CN205556769U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620216458.5
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种预溅射时磁路组件可以转动的旋转阴极，包括进水管以及设置在进水管外部的磁路组件，其中，在进水管上端设置一个进水轴，所述进水轴与水接头相连接，进水轴与进水管相通，在进水轴的上端设置一个旋转气缸。所述旋转气缸与进水轴通过设置联动法兰实现传动。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本专利提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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公开(公告)号：CN205556768U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215908.9
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰，过渡法兰外侧设置有安装法兰，安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件，其中，在波纹管内侧纵向设置一个进气管，所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中，在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔，所述倾斜气孔与进气管相通，所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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