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公开(公告)号：CN111044800A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911420910.4
申请日：2019-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的一种状态可控的对称型热电式MEMS微波驻波计采用一个对称型定向耦合器，将入射和反射微波功率分别提取到上下两条支路的耦合端和隔离端；采用热电式MEMS微波功率传感器测量两支路各端口功率，取平均值可得更准确的入射和反射微波功率，进而可得驻波比大小；设计的两条支路单独工作也可实现测量功能，减小了故障率；为了实现MEMS微波驻波计的状态转换功能，在其提取支路上添加MEMS微波开关；当MEMS微波开关处于关断状态时，入射微波功率不再被提取，直接传输到输出端口，减小了不需要检测时微波功率的损耗。该状态可控的对称型热电式MEMS微波驻波计提高了MEMS微波驻波计的可靠性，而且具有低损耗、小芯片面积以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容的特点。
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公开(公告)号：CN111044799A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911420905.3
申请日：2019-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的基于热电式和电容式双通道在线检测的MEMS微波驻波计将ACPS传输线的信号线对称放置在主传输线两端作为副传输线构成了对称型定向耦合器；对称型定向耦合器将入射微波功率和反射微波功率分别提取到上下两条支路的耦合端和隔离端；通过分别在上方支路和下方支路放置热电式和电容式MEMS微波功率传感器，测量上下两支路耦合端和隔离端的微波功率，进而得到驻波比；由于热电式MEMS微波功率传感器适合测量较小的微波功率，而电容式MEMS微波功率传感器适合测量较大的微波功率，因此采用两种传感器同时进行测量可以获得更大的微波驻波计测量动态范围；该MEMS微波驻波计具有低损耗、小芯片面积以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容的特点。
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公开(公告)号：CN111044796A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911412946.8
申请日：2019-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的对称型热电式MEMS微波驻波计通过将两端ACPS传输线的信号线对称分布于主传输线的上下两侧构成一个对称型定向耦合器，将入射和反射微波功率分别提取到上下两条支路的耦合端和隔离端；通过在上下两支路的每个CPW传输线末端分别连接一个热电式MEMS微波功率传感器测量两支路各端口的微波功率，对测得的输出热电压取平均值，可得更准确的入射和反射微波功率，进而得到驻波比的大小；若某条支路停止工作，另一条支路仍可正常工作，即MEMS微波驻波计仍可进行测量，减小了故障率；该对称型热电式MEMS微波驻波计提高了MEMS微波驻波计的可靠性，其采用了全无源结构具有零直流功耗以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容的特点。
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公开(公告)号：CN107170959B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201610128768.6
申请日：2016-03-07
Applicant: 东南大学
IPC: H01M4/134 , H01M10/0525 , H01M10/0585 , H01L41/113 , H01L41/22 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置及其制备方法。本发明采用堆叠的方式实现能量收集器件与锂离子电池的单片集成，结构简单紧凑，利于实现传感器节点的微型化、集成化并提高能源利用效率。此外，本发明中基于MEMS悬臂梁结构的堆叠方式，既实现了能量收集器件对振动能量的有效收集，还有助于释放和减小锂离子电池充放电时产生的应力，不但提高了器件的集成度还增强了器件可靠性。
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公开(公告)号：CN109520647A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811366141.X
申请日：2018-11-16
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明提出一种MEMS压力传感器及其压力测试方法，该MEMS压力传感器包括设置在第二衬底的第二表面上的压力敏感单元、电致变色单元、第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、电源；所述第二衬底的相对于所述第二表面的第一表面上形成凹槽，所述压力敏感单元正对所述凹槽设置，所述电致变色单元设置在所述压力敏感单元周边，所述第一开关、所述第二开关的两侧分别连接所述电致变色单元与压力敏感单元，所述第三开关、所述第四开关的两侧分别连接所述电致变色单元和所述电源，所述压力敏感单元包括压电层。与现有技术相比，本发明无需使用接口电路即可实现环境压力的测量，通过眼睛观察颜色可获得环境压力，具有设计和制备简单、成本低、功耗低等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107947633A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711292705.5
申请日：2017-12-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种压电-电磁复合式振动能量收集器及其制备方法，该振动能量收集器包括相互堆叠的第一衬底、第二衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；所述第二衬底的上、下表面相对应的位置形成有第三凹槽和第四凹槽，以组装形成三组不同谐振频率的拾振结构。通过该制备方法所制备的振动能量收集器具有高的能量收集效率、输出功率和输出功率密度(W/cm2)，还具有尺寸小、精度高、易于批量制造、制造成本低以及易于小型化的优点。
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公开(公告)号：CN105162291B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201510528824.0
申请日：2015-08-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种电磁式MEMS振动能量收集器及其制备方法，通过在两块衬底上制备凹槽以及各自的电感线层后，将两块衬底组合后使其凹槽形成容纳可动永磁体的空腔，使各自的电感线以跨接方式连接形成螺旋电感。在振动环境中，该电磁式能量收集器的拾振结构可在腔体内自由运动，为非谐振式的拾振结构，与传统能量电磁式收集器中谐振式的拾振结构相比，其运动情况受环境振动频率的影响小，并且能够响应不同方向的环境振动。无论振动频率和振动方向如何变化，本发明的能量收集器都能高效地收集到振动能量并转换为电能，因此具有高的能量收集效率，并具有制造成本低以及一致性好的优点。
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公开(公告)号：CN105043581B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201510272015.8
申请日：2015-05-25
Applicant: 东南大学
IPC: G01K7/34
Abstract: 本发明提供一种无线无源MEMS温度传感器及其制备方法，所述传感器包括衬底，在衬底下方正中位置设空腔，在衬底的上表面由下至上依次设置下介质层、第一中间介质层、第二中间介质层、第三中间介质层和上介质层，在下介质层和第一中间介质层之间设置第一铁磁材料层，在第一中间介质层和第二中间介质层之间设置第一敏感电感和电容下极板，在第二中间介质层和第三中间介质层之间设置第二敏感电感和电容上极板，在第三中间介质层和上介质层之间设置第二铁磁材料层；第一敏感电感的内侧端和第二敏感电感的内侧端均与连接柱连接。本发明提供的温度传感器具有尺寸小、结构简单且紧凑、加工方便、制作成本低、灵敏度高及线性度高等优点。
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公开(公告)号：CN104201175A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410442661.X
申请日：2014-09-03
Applicant: 东南大学
IPC: H01L27/088
Abstract: 本发明公开了一种基于薄膜晶体管的反相器，包括两个阈值可调的薄膜晶体管串联；所述两个薄膜晶体管为第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，且结构相同，均包括衬底、设在衬底上的底栅，设在衬底上并且覆盖底栅的栅氧化层，设在栅氧化层上的沟道层，设在沟道层上相对两侧的源极漏极，设在沟道层上以及源极漏极上的隧穿层，设在隧穿层上的存储层，设在存储层上的阻挡层，以及设在阻挡层上的顶栅，所述顶栅位于底栅正上方。所述两个薄膜晶体管的阈值电压可以在制作完成后通过俘获在在存储层中的电荷调节。第二薄膜晶体管是耗尽型晶体管，第一薄膜晶体管是增强型晶体管，本发明的反相器具有结构和制作简单、操作方便、易于集成化、与现有技术兼容等优点。
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公开(公告)号：CN103904932A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410164513.6
申请日：2014-04-23
Applicant: 东南大学
IPC: H02N1/06
Abstract: 本发明公开了一种静电式振动能量收集器及其制作方法，采用在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)上表面通过支撑结构(21)设置盖板(22)构成腔体，在腔体内设置有可动金属电极(23)，可动金属电极（23）能够在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)表面运动，储存在电荷陷阱型非易失性存储器结构中的电荷极化可动金属电极。本发明提供的静电式振动能量收集器无需外加电源，设计和结构简单，具有高的能量采集效率，与CMOS工艺兼容，易于微型化，可靠性高，并能应用于高温、高湿等恶劣环境。
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