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公开(公告)号：CN102586762A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210085095.2
申请日：2012-03-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/30
Abstract: 本发明公开了一种多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法及用于其中的反应气体输送装置。所述方法以硅、碳化硅或氮化硅陶瓷、硬质合金、以及高熔点金属材料(钨、钽、钼、钛等)为衬底，以CVD法为沉积手段，在反应气体氢气和丙酮(或丙酮和甲醇)蒸汽中同时添加含Si、含Si和含N、含Si和含B或含Si、含N和含B的有机化合物，形成多元掺杂体系；反应得到了亚微米或纳米级金刚石薄膜涂层，涂层厚度可在10～50μm之间调节。该薄膜具有耐磨、耐腐蚀、绝缘电阻高(不掺硼场合)、表面光滑、摩擦系数小、易研磨抛光等特点，即兼有微米金刚石和纳米金刚石涂层的双重优点。
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公开(公告)号：CN1263890C
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200410053263.5
申请日：2004-07-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种硬质合金基体上金刚石薄膜自支撑圆形窗口试样的制备方法，是基于金刚石薄膜和硬质合金材料在导电性能方面存在的巨大差别，创造性地采用电解加工技术进行自支撑圆形窗口的制备。应用数控电解加工机床，以带有金刚石薄膜的硬质合金基体作为阳极，以1Cr18Ni9Ti的不锈钢材料圆柱为阴极，阴极以0.1～10mm/分的速度向硬质合金基体进给，以维持两极间具有0.05～1mm的恒定微小间隙。两极间施加6～24V的直流电压，配制的电解液以6～60m/s的速度从两极的缝隙中高速流过。经电解加工制备的金刚石薄膜自支撑圆形窗口试样能较好地满足窗口形状精度的控制要求，从而为金刚石涂层工具的制备及其产业化应用提供科学依据，具有显著的经济效益。
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公开(公告)号：CN1587903A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410053843.4
申请日：2004-08-19
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 采用激光扫描三角法检测砂轮表面形貌的方法，属于机械工程检测技术领域。首先对砂轮进行修整；将修整后砂轮固定在激光扫描头正下方的扫描桌上，调整激光扫描头的位置，使氖激光器发出的激光光束与y－z平面平行，并照射在砂轮表面上；调整氖激光器的输出功率和光束宽度；激光扫描头沿x轴方向移动后，扫描桌沿y轴负方向移动，之后，使激光扫描头沿x轴负方向移动；激光扫描头移动时，三维表面上反光点的位置在z轴方向不断变化引起光点在位置敏感器上所成的象的位置发生相应变化，其位置值经模数转换后送入计算机；计算得出表面各测点处的z方向高度值。该测量方法不仅能精确定量检测砂轮的表面形貌，而且测量速度快，精度高，具有显著的经济效益。
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公开(公告)号：CN111716235A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010566904.6
申请日：2020-06-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种加热辅助化学机械复合磨料流抛光装置及方法，包括液压系统、温度测量与反馈控制系统、加热系统、氧化剂注入系统、氧化剂排出系统、磨料、上磨料缸、下磨料缸、上活塞、下活塞以及夹具；夹具连接上磨料缸、下磨料缸，上磨料缸、下磨料缸内分别设置有上活塞、下活塞，上活塞、下活塞分别连接液压系统并能够在液压系统的作用下往复运动，磨料设置在上磨料缸和/或下磨料缸内；夹具夹持区域内为抛光反应区，温度测量与反馈控制系统能够控制加热系统对抛光反应区加热的温度；氧化剂注入系统和氧化剂排出系统分别能够向上下磨料缸注入和排出氧化剂。本发明采用机械抛光结合化学抛光再通过加热辅助的方式，提高了抛光的效率和质量。
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公开(公告)号：CN106926148B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201710072261.8
申请日：2017-02-08
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明公开了一种利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法；该方法针对碳化硅基体，将金刚石磨料混入光刻胶溶液并将其超声振荡，利用旋转甩胶均匀分散金刚石磨粒，实现其在基体衬底均匀分布，采用CVD方法在金刚石磨粒和碳化硅基体之间沉积金刚石涂层结合剂，将磨料与基体牢固的连结起来，同时磨粒生长成为高品级立方八面体单晶颗粒。本发明制备的单层金刚石磨料工具磨粒把持力强，出露高度高，容屑空间大，避免了电镀和钎焊单层金刚石磨料工具缺点，适用于制备细粒度(5‑100μm)单层金刚石磨料工具。本发明制备的单层金刚石磨料工具在半导体、光学晶体、人造蓝宝石、玻璃等脆硬材料的高精密磨削加工领域，具有广阔应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106544641B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201610920894.5
申请日：2016-10-21
Applicant: 上海交通大学 , 上海交闵精密耐磨器件有限公司
Abstract: 本发明涉及一种制备硬质合金基体金刚石涂层的喷砂预处理方法；该方法针对硬质合金基体；首先，采用喷砂技术对硬质合金基体表面进行冲蚀粗化，然后采用酸处理以对基体进行脱钴，制备出适合金刚石薄膜生长的均匀粗化的表面形貌。本发明涉及的预处理方法与常规酸碱两步法预处理相比，可以有效控制硬质合金基体表面粗糙度，极大提高金刚石涂层沉积初期的形核密度，并且在预处理后不会形成疏松层，有效提高了金刚石涂层与基体的附着力。该预处理方法不受基体形状的限制，适用于复杂形状硬质合金基体的金刚石涂层制备，且操作简单、应用方便，生产效率高、无污染，产业化前景光明，因而具有显著地经济效益。
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公开(公告)号：CN105624641A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610053751.9
申请日：2016-01-26
Applicant: 上海交通大学 , 上海交闵精密耐磨器件有限公司
CPC classification number: C23C16/271 , C23C16/0254 , C23C16/46
Abstract: 本发明公开了一种金刚石涂层机械密封环的制备方法，以硬质合金、碳化硅/氮化硅陶瓷机械密封环为基体，通过热丝化学气相沉积法在机械密封环的工作表面沉积金刚石薄膜。具体工艺方法为：首先在基体表面沉积一层晶粒粗壮、耐磨损性能优异但不易抛光的微米金刚石薄膜，再通过改变工艺参数在微米金刚石颗粒间沉积细化的纳米金刚石颗粒，以填充粗壮微米金刚石颗粒间的凹陷部位，达到降低金刚石涂层表面粗糙度，便于后续研磨抛光的目的。本发明通过两步沉积法得到的金刚石涂层机械密封环，可大幅降低接触端面的磨损率，其工作寿命较未涂层机械密封环大幅提升。
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公开(公告)号：CN103757601B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201410005575.2
申请日：2014-01-06
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本发明公开了一种金刚石涂层高温高压喷雾喷嘴的制备方法；所述方法包括：采用经过预处理的硬质合金或SiC/Si3N4陶瓷喷嘴作为涂层衬底材料，通过双衬底直拉穿孔热丝排布法在喷嘴内孔表面沉积金刚石涂层，再通过平行热丝排布法在喷嘴入口锥面沉积金刚石涂层。本发明采用热丝化学气相沉积法通过“两步布丝沉积”的技术方案实现在高温高压喷雾干燥喷嘴整个工作表面沉积厚度和质量均匀、具有优异冲蚀磨损性能的金刚石涂层，大幅度提高原有喷嘴的使用寿命，对保证喷雾装备的安全运行、提高产品的质量意义重大。
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公开(公告)号：CN104164702A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410390604.1
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
Abstract: 本发明公开一种硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉的制备方法，步骤为：对硅基衬底进行预处理以作为单晶微粉生长的衬底材料；应用热丝化学气相沉积法对硅基衬底进行沉积以获得均匀分散的硼掺杂金刚石单晶颗粒，反应气体为氢气与丙酮，在氢气与丙酮反应体系中加入含硼化合物，反应气压为2～4.5kPa、硅基衬底温度700～950℃；依次采用基体去除工艺、混合酸溶液去除工艺、及颗粒蒸馏工艺处理硼掺杂金刚石单晶颗粒，以获得硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉。本发明的超/精细金刚石微粉中具有六-八面体或二十面体聚形晶体形态的比例较高，不但可显著提高超/精细金刚石单晶颗粒的生长速率，还可改善颗粒的晶形及表明质量。
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公开(公告)号：CN104164659A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410390626.8
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
Abstract: 本发明公开了一种无晶种精细金刚石单晶微粉的制备方法，包括以下步骤：采用基体自形核衬底预处理方法，在硅基衬底上使核体均匀独立分散；应用热丝化学气相沉积法对经过预处理后的硅基衬底进行沉积，包括金刚石形核及金刚石颗粒生长两阶段，获得晶形规则的金刚石单晶颗粒；采用化学腐蚀硅基衬底结合高速离心沉降颗粒工艺处理获得的所述金刚石单晶颗粒，以获得精细金刚石单晶微粉。本发明获得的精细金刚石微粉中具有高品级六-八面体或二十面体聚形晶体形态的比例较高，该方法获得的精细微粉在晶形及表面质量上占有优势，且工艺流程简单，所获得的微粉尺寸分布集中，可省去微粉的粒度筛选工艺。
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