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公开(公告)号：CN119101882A
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202411243775.1
申请日：2024-09-05
Abstract: 本发明公开了一种机械密封环端面金刚石薄膜均匀沉积的方法，包括以下步骤：S1，对机械密封环进行预处理，使其表面粗化；S2，提供一种石墨夹具，其具有至少一个环形凹槽，所述环形凹槽的深度与机械密封环的厚度相等，宽度略大于机械密封环的宽度；S3，将机械密封环以工作面朝上的状态放入石墨夹具中，使机械密封环的内、外侧壁分别与石墨夹具紧邻，机械密封环的工作面与石墨夹具的上表面齐平，采用热丝CVD法实现在机械密封环的工作面上金刚石薄膜的均匀沉积。本发明方法大幅降低了金刚石涂层表面高度差，大大缩短后续研磨抛光的时间，同时提高了金刚石涂层的质量，工作寿命大幅提升，对稳定金刚石涂层机械密封环的制备工艺具有重要意义。
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公开(公告)号：CN115044884A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210648197.4
申请日：2022-06-09
Applicant: 上海交通大学 , 上海东贝真空设备有限公司
IPC: C23C16/27 , C23C16/458 , C23C16/46 , C23C16/52
Abstract: 本发明提供了一种基于分离工作台的涂层刀具的制备方法及制备装置，制备装置，包括：多个工作台，等距间隔布置且每个所述工作台底部分别具有各自能够调节自身高度的调节机构；冷却底座，数量匹配所述工作台；每个冷却底座底部被配置在各自的工作台顶部并具有冷却水管道，顶部具有用于固定刀具的容纳孔；热丝，以单层结构的方式被布置在刀具的两侧。本发明采用分离式布置的多个工作台并分别控制各自的高度，每个工作台独立供水，可以通过调节冷却水流量对刀具的冷却过程进行控制，能够保证各处温度的均一性，在保证生产效率的同时得到涂层质量和厚度均一性更加良好的金刚石涂层刀具，提高了在批量化制备过程中刀具的良品率。
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公开(公告)号：CN108060407B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201711099633.2
申请日：2017-11-09
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种化学气相沉积制备微纳多层复合金刚石薄膜的方法：以经过预处理的硬质合金平片或硬质合金铣刀作为衬底材料，在热丝CVD设备中以丙酮为碳源，配合氢气，首先在衬底表面沉积一层微米金刚石薄膜，调节参数继续原位沉积一层纳米金刚石薄膜，以此类推，制备出具有微纳复合结构的多层金刚石薄膜。本发明工艺简单，操作方便，获得的多层膜结构具有明显的分层，同时具有微米膜耐磨和纳米膜表面粗糙度低的特性，有效缓解了微米膜柱状结构易产生裂纹扩展的弊端，能显著提高金刚石薄膜的综合性能。
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公开(公告)号：CN108527182B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201810443806.6
申请日：2018-05-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明提供了一种利用掩膜版制备磨粒有序排布的单层化学气相沉积制备金刚石磨料工具的方法，其包括如下步骤：将基体经预处理后，在表面涂覆光刻胶，并在所述光刻胶的表面铺设掩膜版；在所述掩膜板的表面布设金刚石磨料，振动基体，使磨料进入掩膜版的分布孔中；去除分布孔外的多余金刚石磨料，取下掩膜版，将粘有金刚石磨料的基体进行化学气相沉积，形成金刚石涂层，得到金刚石磨料工具。与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：1、本发明可以制备100μm以细粒度有序排布金刚石磨料工具，适合精密磨削加工；2、本发明所采用的设备简单，步骤少，操作简便，有利于批量生产。
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公开(公告)号：CN108559970A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201711280418.2
申请日：2017-12-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种复杂形状金刚石薄膜涂层刀具的HFCVD批量制备方法；将预处理后的复杂形状刀具刀柄插入刀具冷却底座后，放置在HFCVD设备水冷工作台上；刀具冷却底座由钼片层、石墨层、紫铜层或不锈钢层择优搭配而成；刀具冷却底座上设有与刀柄直径和长度相匹配的钻孔；HFCVD设备采用单层热丝；HFCVD设备在刀具安装及薄膜生长过程中，通过控制水冷工作台升降可实现刀具冷却底座自由升降；通入氢气、碳源及掺杂源在复杂形状刀具表面沉积单层或复合金刚石薄膜。本发明能够方便、有效地控制刀具刀刃区域温度数值，保证温度场及反应基团密度场的均匀分布，保证金刚石薄膜的均匀沉积，避免刀柄位置积碳杂质沉积造成“黑杆”现象。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102586762B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210085095.2
申请日：2012-03-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/30
Abstract: 本发明公开了一种多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法及用于其中的反应气体输送装置。所述方法以硅、碳化硅或氮化硅陶瓷、硬质合金、以及高熔点金属材料(钨、钽、钼、钛等)为衬底，以CVD法为沉积手段，在反应气体氢气和丙酮(或丙酮和甲醇)蒸汽中同时添加含Si、含Si和含N、含Si和含B或含Si、含N和含B的有机化合物，形成多元掺杂体系；反应得到了亚微米或纳米级金刚石薄膜涂层，涂层厚度可在10～50μm之间调节。该薄膜具有耐磨、耐腐蚀、绝缘电阻高(不掺硼场合)、表面光滑、摩擦系数小、易研磨抛光等特点，即兼有微米金刚石和纳米金刚石涂层的双重优点。
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公开(公告)号：CN102337515B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201110330198.6
申请日：2011-10-26
Abstract: 一种金刚石制造技术领域的金刚石涂层高温高压差阀的制备方法，采用经预处理的WC-Co硬质合金YG6或SiC\Si3N4陶瓷作为涂层衬底材料，通过直拉穿孔热丝法制备金刚石涂层阀座；并采用经过预处理的WC-Co硬质合金YG6作为涂层衬底材料，通过阶梯排布热丝法制备金刚石涂层阀芯，最后阀芯通过阀芯夹夹持，再用螺纹和销与阀杆固定连接，阀座热镶入压套，通过衬套、节流孔板与装入阀体内腔得到金刚石涂层高温高压差阀。。本发明采用热丝化学气相沉积法通过穿孔直拉热丝和阶梯排布热丝两种技术方案实现，可大幅度提高原有减压阀的使用寿命，对保证装备的安全运行意义重大。
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公开(公告)号：CN101318839B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200810040138.9
申请日：2008-07-03
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
Abstract: 本发明涉及一种镀覆技术领域的碳化硅陶瓷和金刚石复合拉拔模具制备方法，以碳化硅陶瓷为衬底，进行多次常规金刚石涂层沉积→等离子体抛光→纳米金刚石涂层沉积→机械抛光，使陶瓷模具原先内孔表面缺陷砂眼消失，在CVD金刚石沉积-抛光循环过程，采用常规金刚石涂层与纳米金刚石涂层相结合，等离子体抛光与机械抛光相结合，在沉积常规涂层与纳米涂层之间插入等离子体抛光，使生长纳米涂层后更适应机械抛光。本发明制备的模具可替代传统硬质合金产品，不仅能大幅度延长传统模具和器件的使用寿命，提高生产效率，显著改善相关产品的质量，有效节约原材料，且对于大幅度减少钨、钴资源的消耗，有效解决硬质合金行业面临资源危机意义重大。
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公开(公告)号：CN102061453A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201110028846.2
申请日：2011-01-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: C23C16/27 , C23C16/44 , C23C16/458
Abstract: 一种机械加工技术领域的金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，通过将预处理后的复杂形状硬质合金刀具的刀柄插入刀具冷却底座，将安装好刀具的三明治式底座放在热丝CVD设备水冷工作台上；采用上下两行热丝且上行热丝高度与所述硬质合金刀具的刀尖相同，下行热丝的高度正对刀具的刀刃底部，通入氢气和丙酮并在复杂形状硬质合金刀具表面沉积金刚石涂层。本发明能够有效降低刀刃处衬底表面温度，但不降低沉积速率，同时又能提高金刚石涂层质量。
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公开(公告)号：CN100491968C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200510028220.6
申请日：2005-07-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于机械切削技术领域的测试金刚石涂层刀具附着强度及使用寿命的测量装置，动态载荷加载系统和基座本体相连，并给基座本体腔内液体施加动态压力，压力以声速传送到被测样本薄膜上，He-Ne激光干涉测量系统在基座本体的上方，用来检测样本薄膜受动态载荷后高度的变化，数据采集和计算机控制系统和基座本体及He-Ne激光干涉测量系统相连，采集基座本体腔内液体压力及样本薄膜高度的变化值，并经过计算机分析得出所测薄膜的动态结合强度。本发明不仅能精确定量动态测定金刚石涂层的附着强度，而且能模拟实际的工况，从而预测刀具的使用寿命。其测量范围不受基体形状及附着强度大小的限制，可方便地用于复杂形状基体金刚石涂层的附着强度测量。
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