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公开(公告)号:CN115674008A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202211391292.7
申请日:2022-11-08
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种光催化辅助化学机械抛光用研磨垫,所述研磨垫包括研磨层和背衬层;所述研磨层各原料的质量百分比组成为:液态树脂结合剂35~55%,反应性稀释剂0~35%,磨料5~25%,填料5~30%,光催化剂5~20%,固化剂5~30%或引发剂0.5~5%,其他助剂0.5~5%。该研磨垫制备工艺简单,在紫外光照射下加工SiC晶片时,具有材料去除率高、工件表面粗糙度小、磨粒及光催化剂利用率高、对环境污染少等优点。
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公开(公告)号:CN110238765B
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN201910540985.X
申请日:2019-06-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明针对现有技术中陶瓷结合剂砂轮存在的问题,提供一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂及其制备方法和应用,由以下重量百分比的组分构成:二氧化硅粉体25%‑50%,高岭土5%‑10%,硝酸盐类粉体5%‑15%,氧化硼粉5%‑15%,金属氧化物粉2%‑8%,添加剂2%‑10%。利用该陶瓷结合剂制备的砂轮,具有自锐性好,孔隙率高,且大部分是闭气孔,磨削性能好的特点。
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公开(公告)号:CN108724026A
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201810441686.6
申请日:2018-05-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明属于树脂砂轮技术领域,具体涉及一种用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮、其制备方法及应用。按照配方比例将处理过的金刚石与偶联剂混合、超声处理后依次与酚醛树脂、造孔剂以及碳化硅与空心球形二氧化硅的混合料进行混合球磨制成成型料,再热压脱模制成成品砂轮,所制备的树脂砂轮可以用于碲锌镉晶片减薄的磨削,砂轮的气孔率为40-70%,气孔分布均匀且孔径大小为70-200μm,在碲锌镉晶片减薄工艺中可以控制晶片崩口在35μm内,同时表面纹路一致性好,避免表面颗粒的镶嵌,减薄磨削后晶片表面纹路均匀性、无深划痕保证了碲锌镉晶片的良品率,提高了加工效率,表现出了较好地推广应用价值。
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公开(公告)号:CN107543837A
公开(公告)日:2018-01-05
申请号:CN201710742276.0
申请日:2017-08-25
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N23/22
Abstract: 本发明公开了一种砂轮精磨后硅片损伤层的检测方法,包括如下步骤:选取与磨削片尺寸相同的原片,将其切割成正方形小硅片;用不同粒度的树脂多孔砂轮齿端面打磨磨削片和原片后,将二者进行粘接,粘接好后的组合小硅片再用不同粒度的树脂多孔砂轮齿端面打磨,在第二夹具上研磨抛光得到一个倾角为θ的斜面,用腐蚀液腐蚀其横截面后,用扫面电镜进行损伤层测量,得最大损伤层深度L,并根据公式H=Lsinθ计算损伤层H的损伤深度。因为损伤层的厚度H是很微小的,如果直接测量H,误差较大,本发明先测量其斜边L的长度,再根据直角三角形定律计算出H,因为斜边L较长,所以测量误差会比直接测量H小。
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公开(公告)号:CN105538183B
公开(公告)日:2017-12-19
申请号:CN201510899635.4
申请日:2015-12-09
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种软抛磨头,其由主料和辅料组成,所述主料包括硅胶、硅胶固化剂和润湿剂,所述辅料包括单晶金刚石、氧化铈、碳化硅、氧化铝和氧化镁;硅胶与辅料的重量比为1:1-3,硅胶固化剂与硅胶的重量比为1-5:100;其中,以重量份计,各原料配比为:润湿剂:0.5-1份、单晶金刚石:10-15份、氧化铈:31-37份、碳化硅:20-25份、氧化铝:20-25份;氧化镁:3-4份。该类软抛磨头具有较好的组织均匀性和抛光一致性,可用于玻璃类材料的超精密抛光,且抛光性能良好。
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公开(公告)号:CN105058249B
公开(公告)日:2017-09-05
申请号:CN201510445120.7
申请日:2015-07-27
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 一种陶瓷材料抛光用树脂橡胶复合结合剂砂轮,包括砂轮基体及粘结在基体外侧的磨料层,所述基体为胶木基体;所述磨料层为复合结合剂与磨料混合后成型;复合结合剂由聚乙烯醇缩丁醛树脂、天然橡胶、硫化剂、硫化促进剂与硫化活性剂组成;磨料由金刚石及碳化硅组成;磨料层中各原料的体积份数比为:聚乙烯醇缩丁醛树脂15‑40份、天然橡胶10‑20份、硫化剂2‑6份、硫化促进剂3‑6份、硫化活性剂1‑4份、金刚石微粉18‑40份、碳化硅微粉10‑20份。本发明制得的砂轮能够满足精密陶瓷材料的高精度,高表面质量的加工要求。
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公开(公告)号:CN105081993A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201510417759.4
申请日:2015-07-16
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种树脂结合剂的CBN切入磨砂轮,包括基体和磨料层,所述磨料层的上表面与基体上表面的夹角为α,1°≤α≤3°,磨料层的下表面与基体下表面的夹角为β,1°≤β≤3°,所述磨料层由如下重量份的原料制成:树脂结合剂10~25、羰基铁粉30~40、CBN磨料42~62、氧化镁3~5和湿润剂1~5。本发明砂轮解决目前砂轮耐用度低、寿命低和加工工件尺寸精度低等问题,提高了生产效率,克服当前该类工序加工难的问题。
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公开(公告)号:CN104690654A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201510078163.6
申请日:2015-02-14
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
CPC classification number: B24D3/32 , B24D18/0009
Abstract: 本发明公开了一种用于脆硬材料磨削的超硬树脂砂轮,由以下重量份的原料制成:酚醛树脂液10-23份、气孔成形剂5-15份、偶联剂1-3份、增强剂1-5份、金刚石40-70份、固化剂10-17份。本发明新型的气孔成形法,使得砂轮获得均匀分布的气孔及高气孔率;其中新型的发泡剂发泡,不受限于固体物量的上限,不会对磨削对象造成污染或者降低磨削质量,且气孔率可以增加提高砂轮容屑功能,本发明砂轮的自锐能力、耐用度以及容屑空间均得到改善,磨削表面粗糙度可达纳米级,加工质量高。
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公开(公告)号:CN115556011A
公开(公告)日:2023-01-03
申请号:CN202211187924.8
申请日:2022-09-28
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于硅片精密抛光的磨抛轮,其由毡基体、磨料和树脂结合剂三部分组成;以体积百分比计,毡基体50%~95%,磨料5%~50%;树脂结合剂为毡基体和磨料总质量的1%~5%。将该磨抛轮用于硅片的抛光,可以提高硅片表面质量,减少硅片的表面损伤,且耗时短,成本低,抛光过程中无需添加研磨液或抛光液,绿色环保。
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公开(公告)号:CN108381409B
公开(公告)日:2020-03-10
申请号:CN201810386837.2
申请日:2018-04-26
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种砷化镓晶片减薄用超硬树脂砂轮,由液态料和固态料按照质量比1∶40~55混合制成;其中,液态料由树脂液和混合甲酚按照质量比1∶1~2混匀而成;所述固态料由以下体积份数的原料组成:金刚石28~40份、碳化硅8~15份、氧化钴1~4份、陶瓷结合剂9~13份、酚醛树脂28~35份、氧化钙1~3份;本发明还公开了该超硬树脂砂轮的制备方法。本发明制备的砷化镓晶片减薄用超硬树脂砂轮因其是采用两步烧成,保证了高气孔率(40%左右)容屑能力,砂轮框架结构强度高、寿命好;砂轮使用上满足大进给速率,保证工作效率和寿命的不降低,同时粒度的细化降低了损伤层和提高了表面质量。
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