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公开(公告)号：CN104089981B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201410285768.8
申请日：2014-06-23
Applicant: 西安交通大学 , 西安九荣环保科技有限公司
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米TiO2薄膜的微型氧气传感器及制备工艺，该传感器自下而上分别为硅基底、二氧化硅和氮化硅绝缘层、敏感层与加热丝、叉指电极层。制备工艺包括：在Si3N4绝缘层上制备两层TiO2薄膜夹一层Pd的“三明治”敏感层；其特征在于，改进了传感器的结构，通过同一工序同时在敏感层上制备叉指电极和在Si3N4绝缘层上制备加热丝，并采用双螺旋加热丝的结构将叉指电极包裹在里边，可使氢氟酸湿法刻蚀敏感层得以实现，并且避免了两次溅射Ti/Pt材料和增加氮化硅层时的应力产生。本发明工艺流程简化、容易操作、生产量大，具有很好的工业生产特性。
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公开(公告)号：CN105347182A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510866866.5
申请日：2015-11-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: B66C1/42
Abstract: 本发明公开了一种无动力捕获装置及其使用方法，该装置包括箱体，起吊架穿过箱体，在起吊架上固设有齿条，箱体内设有可转动的轴，轴上固设有齿轮，齿轮与齿条啮合连接；在箱体底部设有至少两个相对布置的摇板，摇板的外侧与箱体通过铰接件铰接；轴与连杆的一端固定连接，在摇板上设有滑槽，滑块位于滑槽内，连杆的另一端通过销钉与滑块铰接，由连杆的摆动驱动摇板的开合。本发明提供的一种无动力捕获装置，能够利用重力使捕获物凸起卡入到捕获口内，实现无需动力的将水面设备捕获。
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公开(公告)号：CN105220143A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510697005.9
申请日：2015-10-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于湿法腐蚀工艺的硅片正面微结构保护装置及方法，其特征在于，待腐蚀硅片正面朝上放置在一个底座的凸台上，硅片上置压块，硅片与压块间由一圆环隔离；底座卡在一圆柱形容器壁上，底座凸台开有通孔与圆柱形容器相通，圆柱形容器置于磁力搅拌加热台上。在圆柱形容器中装满腐蚀液，其中放置磁力搅拌子，加热台通电后，腐蚀液在磁力搅拌子旋转下受离心力上升，接触硅片背面，高温流动的腐蚀液对硅片背面完成腐蚀。本发明装置简单，可批量腐蚀硅片，提高腐蚀效率，有效防止硅片正面受到腐蚀液的伤害，可操作性好。
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公开(公告)号：CN104914153A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510308855.5
申请日：2015-06-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407
Abstract: 本发明公开了一种双层电极式固体电解质CO2气体传感器及制备工艺，所述传感器自下而上包括RuO2加热测温元件，Al2O3基底，下层金薄膜电极，固体电解质薄膜层，上层金薄膜电极，反应电极，制备工艺包括：在Al2O3陶瓷基底上通过丝网印刷的方法制作RuO2加热测温元件，在Al2O3陶瓷基底的另一面通过微机电加工工艺沉积Au金属电极，Li3PO4固体电解质层，并在电解质层和电极的上方印刷反应电极Li2CO3，最终形成固体电解质CO2气敏元件。传感器的Au薄膜电极分为上下两层，在竖直方向上排列，减小了传感器的体积和传感器的散热面积，降低了传感器的功耗。
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公开(公告)号：CN102730621B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201210199078.1
申请日：2012-06-15
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种加热丝嵌入式硅基微热板及制备方法，所述微热板采用硅基材料制备，易于MEMS加工工艺上的实现。其特征在于，在传统“三明治”夹层结构的基础上，将加热丝埋入到基底绝缘膜层中，通过周围致密绝缘膜层对加热丝的约束作用，减小了加热丝与绝缘层热膨胀系数失配所产生的热应力对器件稳定性造成的影响，同时有效的缓解电迁移对加热丝变形的影响，从而提高微热板在高温工作时的稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104483367A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410748961.0
申请日：2014-12-08
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407
Abstract: 本发明公开了一种基于薄膜固体电解质的微型电流型SO2气体传感器及其制备工艺，其特征在于，在Al2O3陶瓷基底上通过丝网印刷的方法制作RuO2加热及测温元件，在Al2O3陶瓷基底的另一面通过微机电加工工艺沉积Li3PO4固体电解质层、Au或Pt金属电极，并在电解质层和电极的上方印刷反应电极Li2SO4/V2O5和参比电极Li2TiO3/TiO2，并在反应电极上方制备扩散阻碍层，最终形成固体电解质SO2气敏元件。制成的芯片通过金胶烧结固定在Al2O3陶瓷基座上，基片上溅射有Au以便于引线。所述传感器共有两个输入信号和两个输出信号，Al2O3陶瓷基座的输入信号用于为加热器供电，输出信号用于温度信号的反馈，气敏元件的输入信号为恒压信号，输出电流信号与环境SO2的浓度相关。
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公开(公告)号：CN104089981A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410285768.8
申请日：2014-06-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米TiO2薄膜的微型氧气传感器及制备工艺，该传感器自下而上分别为硅基底、二氧化硅和氮化硅绝缘层、敏感层与加热丝、叉指电极层。制备工艺包括：在Si3N4绝缘层上制备两层TiO2薄膜夹一层Pd的“三明治”敏感层；其特征在于，改进了传感器的结构，通过同一工序同时在敏感层上制备叉指电极和在Si3N4绝缘层上制备加热丝，并采用双螺旋加热丝的结构将叉指电极包裹在里边，可使氢氟酸湿法刻蚀敏感层得以实现，并且避免了两次溅射Ti/Pt材料和增加氮化硅层时的应力产生。本发明工艺流程简化、容易操作、生产量大，具有很好的工业生产特性。
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公开(公告)号：CN102095766B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201010570145.7
申请日：2010-12-02
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微型集成温控式CO2气体传感器及制备方法，所述传感器包括微型集成温控式装置与高温工作薄膜型固体电解质气敏元件，其特征在于，所述微型集成温控式装置由MEMS工艺加工的硅基体、SiO2层、Si3N4层、Pt加热器和测温元件组成；在微型集成控温结构上，通过微细加工工艺沉积SiO2层、Li3PO4固体电解质薄膜、Pt金属电极、反应电极Li2CO3和参比电极Li2TiO3/TiO2，形成薄膜型固体电解质CO2气敏元件。通过Pt加热器和测温元件的反馈组成闭环控制系通统，使传感器的温度达到工作所需的指定温度，并保持恒定，保证了CO2气体传感器最佳的性能。
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公开(公告)号：CN102426170B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110270926.9
申请日：2011-09-14
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种脆性材料亚表面损伤层微裂纹全息反演检测方法，其特征在于，对脆性材料腐蚀后表面采用分形插值方法进行重构，应用了分形插值理论的自相似性原理，充分刻画出腐蚀后表面的复杂微观形貌，在应用分形插值法重构腐蚀后材料表面基础上，采用有限差分法对亚表面损伤层微裂纹的形成与生长过程进行反演模拟，不仅可以得到亚表面损伤层微裂纹的深度，还可以得到微裂纹的大小、方向等全部信息。在获得亚表面损伤层微裂纹全息分布特征的基础上，提出全面完备的亚表面损伤层微裂纹全息分布特征的综合表征体系。
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公开(公告)号：CN101949838A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010270268.9
申请日：2010-09-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明公开了一种分光型红外吸收式瓦斯检测装置及方法，该装置及方法运用甲烷、一氧化碳在波长3.433μm、4.65μm红外谱线吸收原理，采用MEMS红外光源发出红外光线经过准平行光组件，投射至闪耀光栅后分光得到波长3.433μm、4.65μm红外谱线，通过开放气室，实现采样气体内甲烷、一氧化碳的浓度检测。该装置结合该方法不仅可以高选择性、快速、稳定地对瓦斯气体进行检测，提高相应精度，而且还能实现甲烷、一氧化碳同时检测，并降低成本。
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