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公开(公告)号：CN101949838B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010270268.9
申请日：2010-09-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明公开了一种分光型红外吸收式瓦斯检测装置及方法，该装置及方法运用甲烷、一氧化碳在波长3.433μm、4.65μm红外谱线吸收原理，采用MEMS红外光源发出红外光线经过准平行光组件，投射至闪耀光栅后分光得到波长3.433μm、4.65μm红外谱线，通过开放气室，实现采样气体内甲烷、一氧化碳的浓度检测。该装置结合该方法不仅可以高选择性、快速、稳定地对瓦斯气体进行检测，提高相应精度，而且还能实现甲烷、一氧化碳同时检测，并降低成本。
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公开(公告)号：CN102095766A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010570145.7
申请日：2010-12-02
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微型集成温控式CO2气体传感器及制备方法，所述传感器包括微型集成温控式装置与高温工作薄膜型固体电解质气敏元件，其特征在于，所述微型集成温控式装置由MEMS工艺加工的硅基体、SiO2层、Si3N4层、Pt加热器和测温元件组成；在微型集成控温结构上，通过微细加工工艺沉积SiO2层、Li3PO4固体电解质薄膜、Pt金属电极、反应电极Li2CO3和参比电极Li2TiO3/TiO2，形成薄膜型固体电解质CO2气敏元件。通过Pt加热器和测温元件的反馈组成闭环控制系通统，使传感器的温度达到工作所需的指定温度，并保持恒定，保证了CO2气体传感器最佳的性能。
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公开(公告)号：CN102095766B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201010570145.7
申请日：2010-12-02
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微型集成温控式CO2气体传感器及制备方法，所述传感器包括微型集成温控式装置与高温工作薄膜型固体电解质气敏元件，其特征在于，所述微型集成温控式装置由MEMS工艺加工的硅基体、SiO2层、Si3N4层、Pt加热器和测温元件组成；在微型集成控温结构上，通过微细加工工艺沉积SiO2层、Li3PO4固体电解质薄膜、Pt金属电极、反应电极Li2CO3和参比电极Li2TiO3/TiO2，形成薄膜型固体电解质CO2气敏元件。通过Pt加热器和测温元件的反馈组成闭环控制系通统，使传感器的温度达到工作所需的指定温度，并保持恒定，保证了CO2气体传感器最佳的性能。
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公开(公告)号：CN101949838A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010270268.9
申请日：2010-09-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明公开了一种分光型红外吸收式瓦斯检测装置及方法，该装置及方法运用甲烷、一氧化碳在波长3.433μm、4.65μm红外谱线吸收原理，采用MEMS红外光源发出红外光线经过准平行光组件，投射至闪耀光栅后分光得到波长3.433μm、4.65μm红外谱线，通过开放气室，实现采样气体内甲烷、一氧化碳的浓度检测。该装置结合该方法不仅可以高选择性、快速、稳定地对瓦斯气体进行检测，提高相应精度，而且还能实现甲烷、一氧化碳同时检测，并降低成本。
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