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公开(公告)号：CN206224136U
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201621060927.5
申请日：2016-09-19
Applicant: 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型公开了一种全息制作表面拉曼增强基底的装置，包括高速旋转涂布机、真空烘箱、全息光刻系统、实时显影装置和镀膜机。利用高速旋转涂布机获得涂满光刻胶的光栅基片；真空烘箱用于烘干、固化光刻胶；使用全息光刻系统使得两束相干光产生干涉，在光刻胶表面记录相干光的干涉条纹，通过控制两束光的角度，精密控制光栅的周期；再通过实时显影在光刻胶表面形成浮雕型光栅；最后在光栅表面用镀膜设备镀一层表面增强拉曼散射金属活性层。解决了用简单设备来得到大面积表面拉曼增强基底时周期性难以精确控制的技术难题。
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公开(公告)号：CN209214768U
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201920154347.X
申请日：2019-01-29
Applicant: 苏州大学
IPC: G01J3/45
Abstract: 本实用新型公开了一种法布里-珀罗干涉型成像光谱仪，包括依次设置的聚焦透镜、第一微透镜阵列、F-P谐振腔、第二微透镜阵列和探测相机；目标物体放置在所述聚焦透镜一侧，目标物体发出的光经过所述聚焦透镜聚焦在所述第一微透镜阵列的前焦面上；所述探测相机位于所述第二微透镜阵列的后焦面处；所述聚焦透镜将入射光聚焦在所述第一微透镜阵列的前焦面上，再通过所述第一微透镜阵列将入射光平行入射到所述F-P谐振腔上，从所述F-P谐振腔出射的平行光再入射到第二微透镜阵列上，最后所述第二微透镜阵列的出射光聚焦在所述探测相机上。其结构简单，分辨率高，精确度高，成像性能好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206248914U
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201621280284.5
申请日：2016-11-21
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B26/00
Abstract: 本实用新型涉及一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，包括两相对设置的支架、分别设置在两支架上且相对的平面腔镜、多个连接两支架且均匀分布在两平面腔镜外周的压电陶瓷，支架上设有与平面腔镜同光轴、用于供光线进出的通光孔；两所述平面腔镜相对的腔面上分别对应的镀有多个金属电极构成多对电容传感器，根据各电容传感器的电容值得到两腔面之间的间隙值，根据各电容传感器的电容值控制两腔面的平行度及两腔面之间的腔长。本实用新型通过在两个平面腔镜上镀金属膜构成多个平行平板电容器对，利用这些电容器的电容值，可以实时地测量平行平板之间的微小夹角以及各部分的间隙数值，以便对平行度和法布里珀罗腔长(输出波长)进行控制。
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公开(公告)号：CN210109553U
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201920855074.1
申请日：2018-12-24
Applicant: 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型属于信息光学技术领域，为解决全息光刻系统中条纹漂移问题，提出一种干涉条纹锁定控制装置，第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器输出端连接至第一声光调制器。PID控制器实时探测参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，将反馈信号传送给第一超声波发生器，驱动第一声光调制器的-1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位。
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公开(公告)号：CN209167579U
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201822172121.0
申请日：2018-12-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型属于信息光学技术领域，为解决全息光刻系统中条纹漂移问题，提出一种条纹锁定式全息干涉光刻系统，第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器输出端连接至第一声光调制器。PID控制器实时探测参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，将反馈信号传送给第一超声波发生器，驱动第一声光调制器的-1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN208270786U
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201820765464.5
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型属于光学技术领域，涉及一种全息光栅光刻系统，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，使用体布拉格光栅‑1级透射衍射效率作为平行光的判断标准，可以较为精确的确定针孔滤波器与准直透镜之间的距离，准确的将针孔滤波器的小孔放置在准直透镜的物方焦点上，从而实现干涉光路的准直；此外该系统有助于实现对曝光光束平行性的实时监控，配合PZT平移台还可以实现对平行光的锁定，从而提高了平行等间距条纹的全息光栅的拍摄质量。
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公开(公告)号：CN207965204U
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201820494146.X
申请日：2018-04-09
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本新型属于信息光学领域，涉及一种制备米量级光栅的扫描曝光装置；为解决制作米级光栅曝光时间过长引起的时效性差以及环境不确定性导致扫描条纹对比度下降问题，采用干涉条纹扫描技术无缝连续拼接光栅；在扫描曝光过程中，运用多维条纹锁定技术，始终以扫描曝光过的潜像光栅的潜像条纹作为锁定条纹，直至扫描曝光结束；在移动曝光中实现了实时闭环的锁定第一曝光光束与第二曝光光束的相位差，条纹周期、以及第一曝光光束与第二曝光光束夹角，从而在一个扫描周期即可获得高质量的且受环境因素影响小的无缝拼接米级光栅；光束整形压缩柱面系统的使用有效增加了光束的利用率，同时保证光束的波面质量，大大缩短了米量级光栅的制备时间。
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公开(公告)号：CN207586633U
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201720225305.1
申请日：2016-09-19
Applicant: 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型公开了一种制作表面拉曼增强基底的正交全息干涉光刻系统，用激光器、光线传播方向上依次设置的用于调整激光器发出光偏振态的四分之一波片、格兰偏振棱镜、光线经过格兰偏振棱镜后透射光路上设置的反射镜、用于将TM偏振光换成TE偏振光的半波片、光线经过格兰偏振棱镜后反射光路上设置的反射镜、设置于透射光路与反射光路相干处的涂有光刻胶薄膜的光栅基片等搭建出干涉光刻系统，成功解决了用简单设备来得到大面积表面拉曼增强基底时周期性难以精确控制的技术难题。
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公开(公告)号：CN205119555U
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201520921268.9
申请日：2015-11-18
Applicant: 苏州大学
Abstract: 一种可防结露的图像传感器半导体热电制冷装置,包括,具有密封腔的盒体,设置于所述密封腔内的图像传感器芯片,半导体制冷部件,还包括设置在所述密封内的干燥装置,所述干燥装置固定于所述盒体上。在密封腔内增加干燥装置,用于吸收密封腔内的水蒸汽，有效预防结露和结霜，这种结构比较简单，体积小，而且降低了对制冷腔密封性能的要求，并延长图像传感器芯片的使用寿命。
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