公开(公告)号：CN106707499A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201611049668.0

申请日：2016-11-21

Applicant: 苏州大学

Inventor： 蔡志坚 ,  陆逸凡 ,  吴建宏

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001

Abstract: 本发明涉及一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，包括两相对设置的支架、分别设置在两支架上且相对的平面腔镜、多个连接两支架且均匀分布在两平面腔镜外周的压电陶瓷，支架上设有与平面腔镜同光轴、用于供光线进出的通光孔；两所述平面腔镜相对的腔面上分别对应的镀有多个金属电极构成多对电容传感器，根据各电容传感器的电容值得到两腔面之间的间隙值，根据各电容传感器的电容值控制两腔面的平行度及两腔面之间的腔长。本发明通过在两个平面腔镜上镀金属膜构成多个平行平板电容器对，利用这些电容器的电容值，可以实时地测量平行平板之间的微小夹角以及各部分的间隙数值，以便对平行度和法布里珀罗腔长(输出波长)进行控制。

公开(公告)号：CN206248914U

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201621280284.5

申请日：2016-11-21

Applicant: 苏州大学

Inventor： 蔡志坚 ,  陆逸凡 ,  吴建宏

IPC: G02B26/00

Abstract: 本实用新型涉及一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，包括两相对设置的支架、分别设置在两支架上且相对的平面腔镜、多个连接两支架且均匀分布在两平面腔镜外周的压电陶瓷，支架上设有与平面腔镜同光轴、用于供光线进出的通光孔；两所述平面腔镜相对的腔面上分别对应的镀有多个金属电极构成多对电容传感器，根据各电容传感器的电容值得到两腔面之间的间隙值，根据各电容传感器的电容值控制两腔面的平行度及两腔面之间的腔长。本实用新型通过在两个平面腔镜上镀金属膜构成多个平行平板电容器对，利用这些电容器的电容值，可以实时地测量平行平板之间的微小夹角以及各部分的间隙数值，以便对平行度和法布里珀罗腔长(输出波长)进行控制。