公开(公告)号：CN104949666A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510130881.3

申请日：2015-03-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  中川啓史 ,  山口啓一 ,  松尾敦司 ,  市川史生

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5649

CPC classification number: G01L1/162 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5621 ,  G01L1/106 ,  H01L41/094 ,  G01C19/5642 ,  G01C19/5649

Abstract: 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。

公开(公告)号：CN104579225A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410584193.X

申请日：2014-10-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中川啓史 ,  西泽竜太

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/19

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03B5/32 ,  H03H3/0076 ,  H03H9/0542 ,  H03L1/028

Abstract: 本发明提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件、振子能够对由温度变化引起的频率特性等特性的劣化进行抑制，振荡器、电子设备以及移动体具有较高的可靠性。本发明的振动元件的特征在于，具有驱动模式和在与该驱动模式下的振动方向正交的方向上进行振动的第一检测模式以及第二检测模式，在将横轴设为气氛温度并将纵轴设为频率的变化时的、各个模式下的表示由温度的变化引起的频率的变化的频率温度特性曲线中，将驱动模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Ta[℃]，将第一检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tb[℃]，并将第二检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tc[℃]时，Ta低于Tb及Tc，或者，Ta高于Tb及Tc。

公开(公告)号：CN103575261A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310308770.8

申请日：2013-07-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山口啓一 ,  小仓诚一郎 ,  菊池尊行 ,  西泽竜太 ,  大泽征司

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P9/04 ,  Y10T29/49 ,  Y10T74/12

Abstract: 本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

公开(公告)号：CN102098022A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010583309.X

申请日：2010-12-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太

IPC: H03H9/21 ,  G01C19/56

CPC classification number: H03H9/19 ,  G01C19/5628 ,  H03H9/215

Abstract: 本发明提供降低了振动损失，在用作角速度传感器时检测灵敏度高的振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。振动片(10)具有：基部(20)；从基部延伸的多个振动臂(40、50)，具有彼此相对的第1主面(11)和第2主面(12)、以及连接第1主面和第2主面且彼此相对的侧面(41、51)和侧面(42、52)，至少振动臂(40)的侧面(41)具有从第1主面侧起设置的第1阶梯部(43)和从第2主面侧起设置的第2阶梯部(44)，振动片具有：检测电极(71)，设于振动臂(40)的侧面(42)；检测电极(72)，设于第1阶梯部的与检测电极相对的位置；检测电极(73)，设于第2阶梯部的与检测电极相对的位置。

公开(公告)号：CN101162237A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200710152427.3

申请日：2007-10-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  田中雅子

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/09 ,  G01P15/10

Abstract: 本发明提供一种小型且灵敏度高的加速度传感器。加速度传感器(1)是由固定在基座上的基部(20)和从基部延伸出来并以预定的谐振频率在平面方向上弯曲振动的梁状的振动臂(21)构成的振动体(10)，其中，振动臂具有：在宽度方向的中央部被在与振动方向垂直且开设于长度方向上的贯通开口(22)剖分的振动臂部(23、24)；具有与连接被剖分的振动臂部的前端部的基部同等或者更大质量的附加质量部(25)；以及设置在振动臂部上的励磁电极(31～34)，振动臂由基部与附加质量部以伪双端固定结构支撑，该加速度传感器检测当被施加加速度时的由附加质量部的惯性效果带来的振动体的谐振频率变化。