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公开(公告)号：CN105865670B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201610064430.9
申请日：2016-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明提供力检测装置以及机器人。为了提供轻型并且具有优异的检测精度的力检测装置以及机器人，本发明的力检测装置具有：第一部件；第二部件，其与上述第一部件结合；以及压电元件，其与上述第二部件结合，构成上述第一部件的材料与构成上述第二部件的材料不同。另外，优选第一部件呈板状，上述压电元件以及上述第二部件配置于上述第一部件的端部，在上述第一部件的中央部形成有贯通孔。
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公开(公告)号：CN103994845B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201410053005.0
申请日：2014-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供小型且降低了输出漂移的力检测装置、使用了该力检测装置的机械手以及移动体。力检测装置（1a）具备根据接受的外力来输出电荷Q的电荷输出元件（10a）；具有第一开关元件（23）和第一电容器（22），且将电荷Q转换为电压V并输出上述电压的转换输出电路（20）；具有第二开关元件（33）和第二电容器（32），并输出补偿用信号Voff的补偿用信号输出电路（30）；以及基于从转换输出电路（20）输出的电压V和从补偿用信号输出电路（30）输出的补偿用信号Voff，来检测外力的外力检测电路（40a）。第二电容器（32）的静电容量比第一电容器（22）的静电容量小。
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公开(公告)号：CN109211442A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810695785.7
申请日：2018-06-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
Abstract: 本发明提供能够适当地检测力的力检测装置以及机器人。一种力检测装置，其特征在于，具备：第一部件；第二部件；以及压电传感器器件，由上述第一部件与上述第二部件夹持，并根据外力而输出电荷，在上述外力的规定的轴方向的分量的能检测范围为第一范围时，在上述第一范围内检测上述外力，在上述能检测范围为与上述第一范围不同的第二范围时，在上述第二范围内检测上述外力。另外，优选地，上述压电传感器器件具备配置于上述第一部件的传感器元件，上述传感器元件具备第一压电体层和配置于上述第一压电体层的一侧的第二压电体层，上述第一压电体层以及上述第二压电体层分别根据沿第一方向施加的外力而输出电荷。
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公开(公告)号：CN109211441A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810688391.9
申请日：2018-06-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种力检测装置及机器人，能够实现力检测装置的外力检测的高精度化。所述力检测装置具备：第一部件；第二部件，与第一部件对置地配置；传感器器件，配置于第一部件与第二部件之间，并具备力检测元件，力检测元件具有对应于外力输出信号的至少一个压电元件；以及多个施压部件，在从第一部件与第二部件重叠的方向观察的俯视观察下，设置于传感器器件的外周部，对传感器器件施压，第一部件具有：第一部分，与传感器器件接触；以及第二部分，在俯视下位于第一部分的外周部，并包括调整第一部分对传感器器件的接触压力的调整部，调整部在施压部件的施压方向上的长度比第一部分在施压方向上的长度短。
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公开(公告)号：CN104236757B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201410090038.2
申请日：2014-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/009 , Y10S901/46 , Y10T74/20335
Abstract: 本发明提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件，在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔，在上述第一基板设置有第一凸部，其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外，从相对于上述第一基板而垂直的方向观察，上述元件配置于上述第一凸部内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103175637B
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201210558596.8
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J9/1633 , G01L1/16 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于上述封装；以及盖体，其对上述封装进行密封，在上述盖体具备可挠部，在深度方向上俯视观察上述封装时，该可挠部包围上述传感器元件的周围并且具有可挠性。
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公开(公告)号：CN104596677A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410583858.5
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：层叠体，其具备：X型切割水晶板的第1基板；Y型切割水晶板的第2基板；以及Y型切割水晶板的第3基板，由第1基板、第2基板以及第3基板沿层叠方向层叠而成，当从层叠方向俯视观察时，第2基板的x轴与第3基板的x轴交叉，第2基板的z轴与第3基板的z轴交叉，具备与层叠方向平行的侧面；侧面电极，其设置于层叠体的侧面；以及连接电极，其配置于侧面电极与外部电极之间，并将侧面电极与外部电极电连接，层叠体具备设置于第1基板的单面的内部电极，内部电极与连接电极之间的分离距离为200μm以上。
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公开(公告)号：CN103308221A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310072538.9
申请日：2013-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , G01L5/167 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器模块、力检测装置以及机器人。传感器模块具备：第一部件，其具有：供具备电极的压电体元件配置的第一凹部；与第一部件接合的第二部件；与第二部件接触的第一板；与第一部件接触的第二板；以及紧固第一板以及第二板的紧固部，第一板形成有朝向第二部件突出的第一凸部，第一部件的第一凹部的内部高度比压电体元件高，压电体元件与第二部件接触。
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公开(公告)号：CN111745683B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010219180.8
申请日：2020-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
Abstract: 本发明提供一种能够充分地确保第三臂的可搬重量的水平多关节机器人。所述水平多关节机器人的特征在于，具备：基座；第一臂，与所述基座连接，并绕第一轴转动；第二臂，与所述第一臂连接，并绕与所述第一轴平行的第二轴转动；第三臂，与所述第二臂连接，并绕与所述第一轴平行的第三轴转动且沿所述第三轴移动；支承部，设于所述第二臂，并支承所述第三臂；以及力检测部，设于所述第二臂与所述支承部之间，并检测施加于所述第三臂的力。
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公开(公告)号：CN115213925A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210403404.X
申请日：2022-04-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供具有优异的检测精度的力检测装置及机器人系统。力检测装置具有第一力传感器和第二力传感器、第一惯性传感器以及第二惯性传感器，所述第一力传感器和所述第二力传感器具备具有力检测轴的力检测元件，所述第一惯性传感器配置在所述第一力传感器的附近，所述第一惯性传感器的惯性检测轴沿着所述第一力传感器的所述力检测轴，所述第二惯性传感器配置在所述第二力传感器的附近，所述第二惯性传感器的惯性检测轴沿着所述第二力传感器的所述力检测轴。
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