公开(公告)号：CN106435483A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201611137869.6

申请日：2016-12-12

Applicant: 福州大学

Inventor： 叶芸 ,  郭太良 ,  严群 ,  张永爱 ,  吕珊红 ,  徐中炜

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/042 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明涉及一种高精度OLED器件的制备装置及制备方法。包括蒸发源阵列、基板、传动装置以及配合蒸发源阵列的掩膜板；所述蒸发源阵列由若干个蒸发源排列而成，蒸发源中的材料垂直向上蒸发至基板上，通过传动装置带动基板或蒸发源阵列的移动，完成基板的蒸镀，进而形成OLED器件。本发明加大了基板与掩膜板的距离，减小掩膜板对蒸镀的影响；减小蒸发源与基板的距离，使得蒸发材料更少地扩散在蒸发环境里，节约了蒸发材料；另外，还减小蒸发源间距，减小掩膜板孔隙间距，实现点对点的蒸发，增加单位面积内子像素的个数，实现了高精度OLED器件的制备。