半导体装置的制造方法及双面粘合片

    公开(公告)号:CN110476241B

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN201880022512.4

    申请日:2018-03-29

    Abstract: 本发明提供具有下述工序(1)~(4)的半导体装置的制造方法、以及该制造方法所使用的双面粘合片,所述半导体装置的制造方法是使用双面粘合片制造半导体装置的方法,所述双面粘合片依次具有第1粘合剂层、包含膨胀性粒子且为非粘合性的基材、以及第2粘合剂层。工序(1):将硬质支撑体粘贴于第2粘合剂层的粘合表面的工序。工序(2):将半导体芯片放置于第1粘合剂层的粘合表面的一部分的工序。工序(3):用密封材料包覆所述半导体芯片、以及第1粘合剂层的粘合表面中所述半导体芯片的周边部,使该密封材料固化,得到所述半导体芯片被固化密封材料密封而成的固化密封体的工序。工序(4):使所述膨胀性粒子膨胀,从所述固化密封体剥离所述双面粘合片的工序。本发明可以抑制扇出型的封装的制造工序中半导体芯片发生位置偏移,生产性优异,得到的半导体装置的再布线层形成面的平坦性优异。

    半导体装置的制造方法及粘合片

    公开(公告)号:CN110462816A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201880022421.0

    申请日:2018-03-29

    Abstract: 本发明提供具有下述工序(1)~(4)的半导体装置的制造方法、以及该制造方法所使用的粘合片,所述半导体装置的制造方法是使用粘合片制造半导体装置的方法,所述粘合片具有粘合剂层、以及包含膨胀性粒子且为非粘合性的基材。工序(1):将形成有开口部的框构件粘贴于粘合剂层的粘合表面的工序;工序(2):将半导体芯片放置于在所述框构件的所述开口部露出的所述粘合剂层的粘合表面的一部分的工序;工序(3):用密封材料包覆所述半导体芯片、所述框构件、以及所述粘合剂层的粘合表面中所述半导体芯片的周边部,使该密封材料固化,得到所述半导体芯片被固化密封材料密封而成的固化密封体的工序;工序(4):使所述膨胀性粒子膨胀,从所述固化密封体剥离所述粘合片的工序。本发明可以抑制扇出型封装的制造工序中半导体芯片发生位置偏移,生产性优异,得到的半导体装置的再布线层形成面的平坦性优异。

    半导体装置的制造方法
    37.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111295738B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN201880070728.8

    申请日:2018-11-07

    Abstract: 本发明涉及一种半导体装置的制造方法,其是使用膨胀性的粘合片(A)的半导体装置的制造方法,所述粘合片(A)具有基材(Y1)及粘合剂层(X1)、且任意层中包含膨胀性粒子,该方法依次具有下述工序(1)~(3)。工序(1):将被加工物粘贴于粘合片(A)的粘合剂层(X1)之后,将该被加工物进行切割,在粘合剂层(X1)上得到经过了单片化的多个芯片的工序;工序(2):使用具有基材(Y2)及粘合剂层(X2)的粘合片(B),将粘合片(B)的粘合剂层(X2)粘贴于所述多个芯片的与和粘合剂层(X1)相接触的面相反侧的面的工序;工序(3):使所述膨胀性粒子膨胀,将粘贴于粘合片(B)的所述多个芯片与粘合片(A)分离的工序。

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