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公开(公告)号：CN117144308A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311170369.2
申请日：2023-09-12
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明公开了一种DS连轧制备钽靶坯的方法，包括如下步骤：S1、对钽铸锭进行热锻，锻造过程中进行中间退火，形成长方形钽板；S2、对长方形钽板进行DS连轧，形成钽靶坯坯料；S3、对钽靶坯坯料进行板带校平，然后进行真空热处理。本发明制备的钽靶坯在厚度方向上无织构梯度问题，组织分布更加均匀，晶粒取向随机分布，结合热处理工艺，晶粒尺寸均匀并且更加细小，相比于同步轧制晶粒细化30%以上；简化多道工序，并且代替人工旋转靶坯轧制，大幅提高生产效率，适用于大规模批量生产，靶坯直径不受铸锭直径限制，可制备出更大直径的靶坯；溅射性能稳定，大幅提高钽薄膜厚度均匀性，可广泛用于电子器件、半导体行业等镀膜领域。
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公开(公告)号：CN116595819A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310393253.9
申请日：2023-04-13
Applicant: 燕山大学
IPC: G06F30/23 , G06F30/17 , G06F17/13 , G06F17/12 , G06F119/14 , G06F111/10 , G06F113/24
Abstract: 本发明涉及一种考虑非均匀应力分布的DS轧制薄板力学参数计算方法，属于塑性成形技术领域，特征是根据实际DS轧制过程中塑性变形区变形特点，将更符合实际情况的倾斜变形区模型，垂直侧剪切应力及非均匀应力的分布情况加入到力能参数计算模型当中；结合变形区组成状态、边界条件、初始条件，采用二分法和四阶龙格‑库塔算法优化确定准确的上下轧辊接触弧中性点，可得轧制应力、平均剪切应力沿DS轧制变形区接触弧分布规律图，用于分析各力学参数随板带尺寸及轧制工艺参数变化规律，进而精确求解多道次DS轧制的轧制力及轧制力矩，为DS轧制工艺设计和轧机结构设计提供可靠的理论依据。
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公开(公告)号：CN116460147A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310072045.9
申请日：2023-01-30
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明提供了一种DS轧制板材的控形控性工艺方法，在粗轧DS轧制工艺中保持恒定错位轧制剪切角，并利用X射线、硬度仪、轧机弹跳模型进行板厚控制，利用工作辊弯辊和支撑辊交叉进行粗轧DS轧制中的轧制力稳定控制，精轧DS轧制工艺利用设定模型精确调节错位轧制剪切角，安装凸度仪和板形仪并利用工作辊交叉和工作辊弯辊改善板材凸度和平直度。本发明利用DS轧制技术实现了精确控制轧制剪切力，大幅提升了板材轧制强度和硬度，利用退火工艺适当软化板材，增加了板材韧性，全流程的DS轧制技术对板材整体性能的大幅提升，同时实现了轧后板材板形板厚控制，实现了DS轧制控形控性一体化。
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公开(公告)号：CN115980109A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211449268.4
申请日：2022-11-18
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N23/2206 , G01N23/2251 , G01N23/203
Abstract: 本发明提供了一种芯片用高纯钽溅射性能测定方法，包括：获取待分析钽靶样本；在钽靶样本上打若干个标记点；获取钽靶样本的SEM像；根据标记点确定位置，在位置进行取样，得到样品，去除样品表面应力层；将样品放入扫描电镜中，根据标记点找到SEM像中的区域，扫描EBSD图并做出相应的反极图；根据EBSD图及反极图确定样品的微观结构；基于微观结构，结合微观结构对溅射速度的影响分析结果确定溅射性能，其中，微观结构对溅射速度的影响分析结果，采用一块溅射后的钽靶，应用SEM、EBSD等技术分析晶粒尺寸和晶向与溅射速率之间的关系得到。本发明能够得到更准确、更精细的溅射性能测定结果，有利于提高靶材性能，提高芯片制造加工工艺。
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公开(公告)号：CN114932147B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202210556901.3
申请日：2022-05-20
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明涉及一种DS轧机成套设备及其板形控制的轧制工艺，包括DS轧机、参数调节装置、混联式平衡装置、换辊装置和八辊式转盘车；DS轧机压下量由侧推辊推动工作辊沿支撑辊轴线圆周转动和上支撑辊竖直压下共同参与调节，辊系交叉角由转动杆、偏移液压缸和侧推辊共同参与调节；DS轧机通过调节辊速比和工作辊偏移实现DS蛇形轧制、DS同步轧制、DS交叉轧制和DS蛇形交叉协同轧制；混联式平衡装置，可抑制轧机工作振动；八辊式转盘车，可实现DS轧机八个轧辊快速同时更换，缩短撤辊时间；利用DS轧机轧制板材时，采用DS蛇形轧制、DS同步轧制、DS交叉轧制和DS蛇形交叉协同轧制相结合的轧制工艺，能保持轧后板形良好和提高轧制渗透性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115537672A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202210845612.5
申请日：2022-07-19
Applicant: 燕山大学
Abstract: 一种屈服强度大于1000 MPa的低成本奥氏体钢及其温轧工艺，属于金属材料及其制造技术领域，所述奥氏体钢的化学成分按重量百分比包括：Mn 31.7‑32.2%，C 0.58‑0.69%，余量为Fe及其他不可避免的杂质。所述温轧工艺包括如下步骤：1）高锰奥氏体钢熔炼，2）一次锻造，3）二次锻造，4）温轧板坯。借助对奥氏体钢成分和制备工艺进行改进，使得其成分和制备工艺变得更为简单，且制备的奥氏体钢屈服强度大于1000 MPa。
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公开(公告)号：CN113695402B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202111033088.3
申请日：2021-09-03
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明涉及一种利用蛇形轧制制备板材的成套设备及其工艺方法，包括蛇形轧机、参数调节装置、换辊装置和四辊式横移车；蛇形轧机工作辊之间错位量由工作辊沿支撑辊轴线圆周转动调节，蛇形轧机压下量由工作辊沿支撑辊轴线圆周转动和上支撑辊竖直压下共同参与调节，支撑辊连接电机带动工作辊转动，蛇形轧机通过调节辊速比和工作辊错位量既能实现蛇形轧制，也能进行同步轧制；四辊式横移车，可实现蛇形轧机四个轧辊的快速同时更换，缩短撤辊时间；利用蛇形轧机进行粗轧或者精轧时，采用蛇形轧制、反向蛇形轧制、同步轧制相结合的工艺方法，既能提高轧制渗透性，又能改善蛇形轧制后的板形问题，使蛇形轧制工艺应用到工业生产中。
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公开(公告)号：CN113695402A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111033088.3
申请日：2021-09-03
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明涉及一种利用蛇形轧制制备板材的成套设备及其工艺方法，包括蛇形轧机、参数调节装置、换辊装置和四辊式横移车；蛇形轧机工作辊之间错位量由工作辊沿支撑辊轴线圆周转动调节，蛇形轧机压下量由工作辊沿支撑辊轴线圆周转动和上支撑辊竖直压下共同参与调节，支撑辊连接电机带动工作辊转动，蛇形轧机通过调节辊速比和工作辊错位量既能实现蛇形轧制，也能进行同步轧制；四辊式横移车，可实现蛇形轧机四个轧辊的快速同时更换，缩短撤辊时间；利用蛇形轧机进行粗轧或者精轧时，采用蛇形轧制、反向蛇形轧制、同步轧制相结合的工艺方法，既能提高轧制渗透性，又能改善蛇形轧制后的板形问题，使蛇形轧制工艺应用到工业生产中。
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公开(公告)号：CN110983194B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201911356888.1
申请日：2019-12-25
Applicant: 燕山大学
Abstract: 一种超级韧性钢铁材料及其制造方法，属于钢铁材料及其加工制备领域，具体涉及一种低温条件使用的超级韧性钢铁材料及其制造方法。钢铁材料包括以下重量百分比的化学元素：0.10~0.15%C，29.5~31.5%Mn，其余为Fe和不可避免的杂质。制造方法包括以下步骤：A1、氩气保护熔炼，电渣重熔处理；A2、热轧或热锻；A3、经900℃~1100℃退火1小时，淬火；A4、冷轧，冷轧板经700℃~1200℃退火1小时，退火后进行淬火。钢材组成元素简单，不含贵金属；平均晶粒尺寸小于30微米，具有完全面心立方结构，无磁性。低温条件下性能尤其突出，低温冲击功超过目前已知所有金属材料。
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公开(公告)号：CN108531818B
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201810515136.4
申请日：2018-05-25
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明提供一种具有复合层状结构的单相高锰钢材料及其制备工艺，属于钢铁材料及其加工制备领域，采用的技术方案是：制备工艺包括以下步骤：（一）高锰钢熔炼；（二）锻造毛板：将所得钢锭在800℃~1200℃下锻造成15‑25mm厚度的毛板；（三）冷轧薄板：将毛板经冷轧为1‑3mm的冷轧薄板，控制冷轧变形量90%以上；（四）退火成型：冷轧薄板以550℃~600℃退火10min以上，即得具有复合层状结构的单相高锰钢材料。有益效果在于：首次在单相高锰钢中实现了复合层状结构设计，具有再结晶层和纳米晶层复合层状结构；该材料具有较大的约束效应强化；工艺简单，适于大规模化生产，加工技术简单，容易实现。
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