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公开(公告)号：CN106662486A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580041372.1
申请日：2015-07-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 第一反射部件(10)在透过第二反射部件(20)的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(11)反射，使该光中透过第一反射面(11)的光在第二反射面(12)反射，使这些反射光成分向相反方向射出。第二反射部件(20)在从第一反射部件(10)射出的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(21)反射，使该光中透过第一反射面(21)的光在第二反射面(22)反射，使这些反射光成分射出。利用在第一反射部件(10)的第一反射面(11)和第二反射部件(20)的第二反射面(22)反射的光(L12)与在第一反射部件(10)的第二反射面(12)和第二反射部件(20)的第一反射面(21)反射的光(L21)，在屏(30)上形成干涉条纹。由此，能够实现即使光的可干涉距离短时也能够更高灵敏度地评价该光的准直的装置和方法。
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公开(公告)号：CN106463374A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580028164.8
申请日：2015-03-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/301 , B23K26/064 , B23K26/067 , B23K26/53
Abstract: 激光加工装置(300)具备射出激光(L)的激光光源(202)、将激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(204)、以及以激光(L)至少被分支为第1加工光以及第2加工光并且第1加工光被聚光于第1聚光点且第2加工光被聚光于第2聚光点的方式对激光(L)进行调制的反射型空间光调制器(203)。若将加工对象物(1)的表面(3)上的第1加工光的半径设为(W1)，将该表面(3)上的第2加工光的半径设为(W2)，将在从与该表面(3)垂直的方向观察的情况下的第1聚光点和第2聚光点的距离设为(D)，则反射型空间光调制器(203)以满足D＞W1+W2的方式调制激光(L)。
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公开(公告)号：CN206622751U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201720102005.4
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/04
Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，其能够使用激光的波长相互不同的多个激光光源。激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、安装于装置框架(210)且支撑加工对象物(1)的支撑台(230)、相对于装置框架(210)可装卸的激光输出部(300)、安装于装置框架(210)的激光聚光部(400)。激光输出部(300)具有射出激光的激光振荡器和调整激光的输出的λ/2波长板单元及偏振光板单元。激光聚光部(400)具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、使激光相对于加工对象物(1)进行聚光的聚光透镜单元、构成反射型空间光调制器的反射面和聚光透镜单元的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜。
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公开(公告)号：CN206622750U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201720101990.7
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064
Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，能抑制装置的大型化，同时使聚光光学系统侧的结构相对于加工对象物移动。激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、安装于装置框架且支撑加工对象物(1)的支撑台(230)、安装于装置框架的激光输出部(300)、以相对于激光输出部(300)能够移动的方式安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有射出激光的激光振荡器。激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、使激光相对于加工对象物(1)聚光的聚光透镜单元、构成反射型空间光调制器的反射面(410a)和聚光透镜单元的入射光瞳面构成处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN206614138U
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201720101985.6
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064
Abstract: 本实用新型提供一种激光输出装置，其相对于激光加工装置可以容易地进行装卸。激光输出装置(300)具备：射出激光L的激光振荡器(310)、调整激光L的输出的λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)、将激光L向外部射出的反射镜单元(360)、具有配置激光振荡器(310)、λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)以及反射镜单元(360)的主面(301a)的安装基座(301)。从激光振荡器(310)到达反射镜单元(360)的激光L的光路以沿着与主面(301a)平行的平面的方式设定。反射镜单元(360)具有用于调整激光L的光轴的反射镜(362、363)，沿着与该平面交叉的方向将激光L向外部射出。
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公开(公告)号：CN206598016U
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201720101992.6
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/046
Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，其可以将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像。该装置具备：支撑台；激光振荡器；反射型空间光调制器(410)；聚光透镜单元(430)；一对透镜(422、423)，其构成空间光调制器(410)的反射面和聚光透镜单元(430)的入射光瞳面(430a)处于成像关系的两侧远心光学系统；二向色镜(403)。从空间光调制器(410)到达反射镜(403)的激光L的光路以沿着规定的平面的方式设定。从反射镜(403)到达聚光透镜单元(430)的激光L的光路以沿着与该平面交叉的方向的方式设定。空间光调制器(410)将激光L沿着该平面以锐角反射。
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公开(公告)号：CN207606395U
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201721290849.2
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064
Abstract: 本实用新型提供一种激光输出装置，其相对于激光加工装置可以容易地进行装卸。激光输出装置(300)具备：射出激光L的激光振荡器(310)、调整激光L的输出的λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)、将激光L向外部射出的反射镜单元(360)、具有配置激光振荡器(310)、λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)以及反射镜单元(360)的主面(301a)的安装基座(301)。从激光振荡器(310)到达反射镜单元(360)的激光L的光路以沿着与主面(301a)平行的平面的方式设定。反射镜单元(360)具有用于调整激光L的光轴的反射镜(362、363)，沿着与该平面交叉的方向将激光L向外部射出。
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公开(公告)号：CN207071747U
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201720324632.2
申请日：2017-03-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/046 , B23K26/70
CPC classification number: B23K26/00 , B23K26/064
Abstract: 本实用新型提供可对应多个波长带的激光加工装置。激光加工装置(200)具备根据相位图案调制且反射从激光振荡器(310)输出的激光(L)的反射型空间光调制器(410)和将来自反射型空间光调制器(410)的激光(L)向加工对象物(1)聚光的聚光透镜单元(430)。反射型空间光调制器(410)具有激光(L)入射的表面(218a)、将从表面(218a)入射的激光(L)向表面(218a)反射的表面(214a)、配置于表面(218a)和表面(214a)之间且显示相位图案并调制激光(L)的液晶层(216)。在表面(214a)上形成有在相互不连续的多个波长带具有高反射率区域的电介质多层膜(反射膜(215))。
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公开(公告)号：CN206598017U
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201720102004.X
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，其能够将反射型空间光调制器的反射面上的激光的图像容易且高精度地向聚光光学系统的入射光瞳面传像。激光加工装置具备：支撑加工对象物的支撑台、射出激光(L)的激光振荡器、调制并反射激光(L)的反射型空间光调制器(410)、使激光(L)相对于加工对象物进行聚光的聚光透镜单元(430)、构成反射型空间光调制器(410)的反射面和聚光透镜单元(430)的入射光瞳面(430a)处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜(422、423)。通过一对透镜(422、423)的激光(L)的光路为一直线。两侧远心光学系统的倍率M满足0.5＜M＜1或1＜M＜2。
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