-
公开(公告)号：CN112158792A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202011001239.2
申请日：2020-09-22
Applicant: 浙江大学
Inventor： 车录锋
Abstract: 本发明涉及传感器芯片封装领域，尤其涉及一种适用于MEMS加速度传感器芯片的低应力封装结构，包括MEMS传感器芯片和管壳，传感器芯片底部两端设有金属层区域，管壳腔体底部两端也设有对应的金属层区域；传感器芯片底部一端金属层与管壳腔体底部一端金属层粘接，芯片底部另一端金属层与管壳腔体底部另一端金属层仅接触但不粘接；为阻止粘接材料高温封装时溢向另一侧金属层区域，在传感器芯片底部两侧金属层之间，靠近其中一侧设有凹槽；MEMS传感器芯片仅底部一端与管壳封装为一体，另一端呈自由状态，且芯片与管壳侧壁留有一定的间隙，保证了高温封装时，芯片材料有一定裕度的膨胀空间，从而将传感器的封装应力降低到最小。
-
公开(公告)号：CN111175891B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201911400480.X
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种连续式电场辅助离子迁移制作光波导的方法。放置隧道式高温炉，隧道式高温炉内有传送带和坩埚，坩埚放置在传送带上运输，隧道式高温炉设置有正电极滑轨和负电极滑轨，正电极滑轨和负电极滑轨的其中一端经各自的导线分别连接到外部直流电源的正负极两端，坩埚内设置电极并和正电极滑轨和负电极滑轨连接；传送带的驱动结构作用下，传送带将坩埚从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉的出口端。本发明提高了光波导芯片的一致性，使芯片合格率控制更方便，减少了固定资产投资，提高了光波导芯片的生产效率，降低了单位芯片的能耗。
-
公开(公告)号：CN111045149B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201911405536.0
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种连续式制作玻璃基离子交换掩埋光波导的方法。放置隧道式高温炉，隧道式高温炉内设有传送带和坩埚，传送带上悬挂有石英花篮，石英花篮沿传送带运输，隧道式高温炉设置有正电极滑轨，正电极滑轨其中一端经导线连接到外部直流电源的正极，坩埚内设置负电极并和外部直流电源的负极连接，石英花篮内设置正电极并和正电极滑轨连接；传送带的驱动结构作用下，传送带将石英花篮从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉，经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉的出口端。本发明提高了光波导芯片的一致性，使芯片合格率控制更方便，减少了固定资产投资，提高了光波导芯片的生产效率，降低了单位芯片的能耗。
-
公开(公告)号：CN111239894A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010083821.1
申请日：2020-02-07
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法。放置隧道式高温炉，炉内有传送带和坩埚；坩埚内有熔盐，且熔盐内部设置通过导线接地的负电极；玻璃基片和石英管组成的底部密闭腔置于石英花篮中，腔内有熔盐，石英花篮悬挂于传送带上且玻璃基片浸入坩埚内的熔盐中；底部密闭腔中设置正电极，正电极与石英花篮相对位置固定，且通过电极引线搭上正电极滑竿，并可沿正电极滑竿滑动；正电极滑竿由通过绝缘性滑轨接头连接的多段正电极滑轨组成，多段正电极滑轨分别连接不同的直流电源正极。本发明可提高光波导芯片质量、提高生产效率、降低能耗的基础上，还可以减小掩埋式光波导制作过程中直流电场产生的焦耳热效应带来的不利影响。
-
公开(公告)号：CN109655965A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201910036066.9
申请日：2019-01-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种真零级集成光波导型全波片。包括一段双折射光波导和两段锥形光波导，输入光波导经双折射光波导和输出光波导连接，且在在所述输入光波导与所述双折射光波导之间、所述双折射光波导与所述输出光波导之间均经锥形光波导连接；所述的输入光波导和输出光波导中，准TE模的有效折射率等于准TM模的有效折射率；所述的双折射波导和两段锥形光波导中，准TE模的有效折射率与准TM模的有效折射率均存在差异。本发明所公开的真零级集成光波导型全波片可以实现输入的两个相互垂直偏振方向上的线偏振光产生360度相移，而保持光的偏振状态不变。而且，这种器件具有结构简单，高精度和性能可靠的重要特点。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118226079A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410361297.8
申请日：2024-03-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提出了一种MEMS谐振式加速度计，包括外边框、检测质量块、双端音叉谐振器和微型杠杆，外边框可限制检测质量块的位移；检测质量块通过固定锚点和双折叠支撑梁固定在外边框所在平面内；双端音叉谐振器通过耦合梁和固定锚点固定在外边框所在平面内，双端音叉谐振器由驱动信号激励，处于谐振状态；当有沿Y轴方向加速度输入，检测质量块受惯性力作用，在Y轴方向产生位移，惯性力传递至微型杠杆，经杠杆力放大后输入至双端音叉谐振器的振梁上，双端音叉谐振器将惯性力作用在沿振梁轴方向，形成轴向力，导致振梁的等效刚度发生变化，从而改变振梁的谐振频率；通过固定梳齿上的感应电极输出与加速度相关的频率信号，完成加速度的检测。
-
公开(公告)号：CN116256890A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211738957.7
申请日：2022-12-31
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种垂直梳齿驱动的三维MEMS微镜，该微镜结构，包括表面有一层金属薄膜的微镜、与微镜相连的折叠梁、与折叠梁相连的扭转梁、与扭转梁相连的四个垂直梳齿驱动器；驱动器包括中间轴、两个支撑梁、一组垂直梳齿组和另一组垂直梳齿组，两组垂直梳齿组的梳齿排列方式不同。本发明在实现微镜双轴扭转驱动的基础上，还实现了平面外的垂直方向的上下运动；同时，该结构还可以降低驱动电压、增大驱动角度，有效提高驱动效率，并实现高速驱动；本发明通过将两片硅晶圆键合实现了该三维MEMS微镜结构，同时利用自对准技术实现了高精度的垂直梳齿结构，提高了三维MEMS微镜的性能。
-
公开(公告)号：CN109655965B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201910036066.9
申请日：2019-01-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种真零级集成光波导型全波片。包括一段双折射光波导和两段锥形光波导，输入光波导经双折射光波导和输出光波导连接，且在在所述输入光波导与所述双折射光波导之间、所述双折射光波导与所述输出光波导之间均经锥形光波导连接；所述的输入光波导和输出光波导中，准TE模的有效折射率等于准TM模的有效折射率；所述的双折射波导和两段锥形光波导中，准TE模的有效折射率与准TM模的有效折射率均存在差异。本发明所公开的真零级集成光波导型全波片可以实现输入的两个相互垂直偏振方向上的线偏振光产生360度相移，而保持光的偏振状态不变。而且，这种器件具有结构简单，高精度和性能可靠的重要特点。
-
公开(公告)号：CN111239898A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010083632.4
申请日：2020-02-09
Applicant: 浙江大学深圳研究院
Abstract: 本发明公开了一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法，包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋条形离子掺杂区(8)；第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子扩散。这种方法的特征在于：将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区(8)的玻璃基片(1)竖直放置在水平有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片(1)内沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向的温度梯度，使玻璃基片(1)中沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，增大玻璃基片(1)表面以下的掩埋条形离子掺杂区(8)在贴近有槽热板(5)一端的横截面尺寸，将掩埋条形离子掺杂区(8)变成掩埋锥形离子掺杂区(9)。这种掩埋锥形离子掺杂区(9)的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。
-
公开(公告)号：CN118605009A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410291013.2
申请日：2024-03-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸大转角电磁驱动的二维MEMS微镜，该二维MEMS微镜结构，包括表面有一层钛金薄膜的微反射镜、与微反射镜相连的直梁、与直梁相连的内框、与内框相连的折叠梁、与折叠梁相连的外框、分布在内框上的铜线圈；本发明实现了单组线圈驱动双轴旋转；本发明利用惠斯通电桥的原理设计了两组压敏电阻放置在直梁和折叠梁的根部作为角度反馈器；本发明利用电镀铜技术实现了高密度的铜线圈结构；本发明在SOI硅晶圆上实现该二维MEMS微镜结构，同时，该结构可以在低电流下实现大角度偏转，提高了驱动效率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
60
records
(took 0.018 seconds)
