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公开(公告)号：CN107431475B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201680013881.8
申请日：2016-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供能够降低在连接电极彼此的连接线与电极之间产生的寄生电容的影响的谐振器。具备：矩形的振动部，其进行轮廓振动；保持部，其保持该振动部；第一保持单元，其具有在保持部与第一长边之间，沿着振动部大致平行地设置的第一臂、连接该第一臂与振动部的多个第二臂、以及连接第一臂与保持部的第三臂，并连接该振动部与保持部；第一连接线，其设置在第一臂上；第一端子，其设置于保持部；至少三个以上的电极，它们设置在振动部上；以及多个第一引出线，它们设置在多个第二臂上，将三个以上的电极中的第一以及第二电极与第一连接线连接，多个第一引出线与第一连接线连接，第一连接线与第一端子电连接，从第一端子向第一以及第二电极施加同相位的电场。
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公开(公告)号：CN107408934B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201680014116.8
申请日：2016-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17
Abstract: 本发明提供减小保持单元中的共振电阻的谐振器。具备：振动部，其具有第一电极、第二电极以及形成在该第一电极与第二电极之间的压电膜；保持部，其设置为包围振动部；一对保持单元，它们连接振动部与保持部且相互对置地设置；以及引出电极，其从保持部连续地形成到保持单元，第一电极或者第二电极连续地形成到保持单元，并在保持单元上与引出电极连接，引出电极的单位面积的电阻值比连续地形成到保持单元的第一电极或者第二电极的单位面积的电阻值小。
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公开(公告)号：CN106797208B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201680003178.9
申请日：2016-01-08
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种与以往相比进一步提高了谐振器特性的谐振器。谐振器具有支承框、以及沿规定的方向相互平行地延伸的第一边以及第二边，并且具备沿着规定的方向进行轮廓振动的矩形的振动部、以及分别连接振动部的第一边和支承框、第二边和支承框的两对支承部。振动部具有在规定的方向上并列配置且各振动区域相对于相邻的其它振动区域以相反相位进行振动的至少四个振动区域、以及形成于振动区域的每一个的电极膜。电极膜的规定的方向上的中心线从形成有该电极膜的振动区域的规定的方向上的中心线偏移。
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公开(公告)号：CN105556840B
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201480051082.0
申请日：2014-09-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供振动装置及其制造方法，能够抑制由于温度变化而产生的共振频率的偏差。振动装置(1)具备：支承部(2)；与上述支承部(2)连接，且具有作为简并半导体的n型Si层(11)的振动臂(3a、3b、3c)；以及被设置为使上述振动臂(3a、3b、3c)激振的电极(16、17)，以与上述n型Si层(11)的下表面接触的方式设置含有杂质的硅氧化膜(12、13)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107431475A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680013881.8
申请日：2016-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供能够降低在连接电极彼此的连接线与电极之间产生的寄生电容的影响的谐振器。具备：矩形的振动部，其进行轮廓振动；保持部，其保持该振动部；第一保持单元，其具有在保持部与第一长边之间，沿着振动部大致平行地设置的第一臂、连接该第一臂与振动部的多个第二臂、以及连接第一臂与保持部的第三臂，并连接该振动部与保持部；第一连接线，其设置在第一臂上；第一端子，其设置于保持部；至少三个以上的电极，它们设置在振动部上；以及多个第一引出线，它们设置在多个第二臂上，将三个以上的电极中的第一以及第二电极与第一连接线连接，多个第一引出线与第一连接线连接，第一连接线与第一端子电连接，从第一端子向第一以及第二电极施加同相位的电场。
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公开(公告)号：CN106797208A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201680003178.9
申请日：2016-01-08
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种与以往相比进一步提高了谐振器特性的谐振器。谐振器具有支承框、以及沿规定的方向相互平行地延伸的第一边以及第二边，并且具备沿着规定的方向进行轮廓振动的矩形的振动部、以及分别连接振动部的第一边和支承框、第二边和支承框的两对支承部。振动部具有在规定的方向上并列配置且各振动区域相对于相邻的其它振动区域以相反相位进行振动的至少四个振动区域、以及形成于振动区域的每一个的电极膜。电极膜的规定的方向上的中心线从形成有该电极膜的振动区域的规定的方向上的中心线偏移。
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公开(公告)号：CN105379115A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480026919.6
申请日：2014-05-01
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/21
Abstract: 本发明提供一种不导致k2Q的降低地增大静电电容，并可降低谐振电阻的振动装置。振动装置(1)的在Y方向上延伸的2N根(N是2以上的整数)音叉臂(3)～(6)在X方向上并排，在设置有2N根音叉臂(3)～(6)的区域中，相对于通过X方向中心且在Y方向上延伸的虚拟线A，一侧的N根音叉臂(3)、(4)的弯曲振动的相位与另一侧的N根音叉臂(6)、(5)的弯曲振动的相位对称。
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公开(公告)号：CN102668147B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201080053282.1
申请日：2010-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/083 , H01L41/187 , H02N2/00
CPC classification number: H01L41/083 , G02B7/06 , G02B7/08 , H02N2/002 , H02N2/025
Abstract: 本发明公开一种小型的机电转换元件以及具备该机电转换元件的执行机构。机电转换元件(20)具备伸缩构件(22)和驱动构件(23)。伸缩构件(22)通过施加电压而伸缩。伸缩构件(22)具有与伸缩方向平行的侧面。驱动构件(23)设置在伸缩构件(22)的侧面。驱动构件(23)伴随伸缩构件(22)的伸缩而位移。
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公开(公告)号：CN101931339B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201010206764.8
申请日：2010-06-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H02N2/00 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种小型且具有大变位量的压电致动器。致动器主体(10)具有：柱状的压电体(20)；平衡锤(40)，其与压电体(20)的第一端面(20a)接合，密度高于压电体(20)且具有导电性。第一导电层(31)在第一侧面(20c、40c)上形成。第二导电层(32)在第二侧面(20d、40d)上形成。通过相对于第一端面(20a)平行地形成有从第一导电层(31)的表面直到致动器主体(10)内部的第一槽(35)，将第一导电层(31)分割为：与第一内部电极(21)连接但不和平衡锤(40)连接的部分(31a)；与平衡锤(40)连接但不和第一内部电极(21)连接的部分(31b)。
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