公开(公告)号：CN101208641B

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN200680023200.2

申请日：2006-06-22

Applicant: 株式会社富士金 ,  国立大学法人东北大学 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  斋藤雅仁 ,  日野昭一 ,  岛津强 ,  三浦和幸 ,  西野功二 ,  永濑正明 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  广濑隆 ,  筱原努 ,  池田信一 ,  今井智一 ,  吉田俊英 ,  田中久士

IPC: G05D7/00 ,  G01F1/42 ,  G01F1/00 ,  G01F7/00

CPC classification number: G05D7/0641 ,  G01F1/363 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6847 ,  G01F5/005 ,  G01F7/005 ,  G05D7/0635 ,  G05D7/0647 ,  G05D23/1927 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/776 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/86734 ,  Y10T137/86815 ,  Y10T137/87265 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/8741 ,  Y10T137/87499 ,  Y10T137/87684

Abstract: 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1-P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。

公开(公告)号：CN101484859A

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200780025188.3

申请日：2007-06-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  松本笃咨

IPC: G05D7/06 ,  G01F3/22 ,  G01F1/00

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/36 ,  G01F15/005 ,  G01F15/022

Abstract: 在以往的压力式流量控制装置中，因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作，所以是不良状况。因此，在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中，将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。

公开(公告)号：CN110178002B

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN201780080827.X

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F23/22 ,  B01J4/00 ,  C23C16/448 ,  G05D9/12 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种液面计(20)，具备：测温电阻体(R11)；位于其上方的温度测定体(R12)；检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27)；以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式，确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28)；使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22)；以及检测液面的位置的液面检测部(29)，液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上，从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此，能够高精度地检测液面的位置，而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。

公开(公告)号：CN110431508A

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201880018971.5

申请日：2018-03-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 杉田胜幸 ,  平田薰 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  泷本昌彦 ,  今井嵩浩 ,  小川慎也

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，具备：节流部；设置于节流部的上游侧的控制阀；检测节流部与控制阀之间的压力的上游压力传感器；以及与控制阀以及上游压力传感器连接的运算处理电路，压力式流量控制装置以如下方式构成：基于上游压力传感器的输出来进行控制阀的控制，由此进行流量控制，运算处理电路以如下方式构成：在为了使流过节流部的流体的流量降低而进行将控制阀关闭的动作时，通过反馈控制来进行将控制阀关闭的动作，反馈控制是将比气体从节流部流出时的压力下降特性数据还平缓的指数函数作为目标值。

公开(公告)号：CN110114601A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201780080823.1

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 土肥亮介 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  川田幸司 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: F16K31/02 ,  F16K37/00 ,  G05D7/06

Abstract: 一种压电元件驱动式阀，具备：设置于流路的阀座及离接于阀座的阀体；以及压电元件，所述压电元件驱动式阀被构成为：通过所述压电元件的伸长而移动所述阀体；所述压电元件驱动式阀具备对压电元件的伸长量进行检测的检测机构，检测机构包括应变传感器，阀体的移动量基于应变传感器的输出而检测。

公开(公告)号：CN107532298A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680007156.X

申请日：2016-04-11

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  永濑正明 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  平尾圭志

IPC: C23C16/448 ,  B01J4/00 ,  B01J7/02 ,  C23C16/52 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。

公开(公告)号：CN106687728A

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201580039826.1

申请日：2015-08-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平田薰 ,  杉田胜幸 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: F16K31/02 ,  F16K7/14 ,  H01L41/053 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09

Abstract: 本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时，不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1)，其具备：主体(7)，该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(7c)；阀体(8)，其与主体(7)的阀座(7c)抵接分离而开闭流体通路(7a)；和，压电致动器(16)，其利用压电元件的伸长而开闭驱动所述阀体(8)，其中，通过能够引出配线的隔离物(17)，将至少两个压电致动器(16)配设在一条直线上。

公开(公告)号：CN105556411A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201480049537.5

申请日：2014-11-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 广濑隆 ,  吉田俊英 ,  松本笃谘 ,  平田薰 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  杉田胜幸

IPC: G05D7/06 ,  F16K27/00

Abstract: 本发明提供一种可谋求流量切换时的下降响应时间缩短、可提高下降响应特性的压力式流量控制装置。本发明的压力式流量控制装置具备：主体(5)，设置有连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，固定于主体(5)且开闭流体通路(4)；流孔(OL)，插入设置于压力控制用控制阀(CV)的下游侧的流体通路(4)；压力传感器(P1)，固定于主体(5)且检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第一通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)的压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第二通路部(4c)，与第一通路部(4a)分离且连接压力检测室(4b)与流孔(OL)。

公开(公告)号：CN104246642A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380021682.8

申请日：2013-04-01

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 西野功二 ,  土肥亮介 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0641 ,  G05D7/0664 ,  Y10T137/87772

Abstract: 本发明的半导体制造装置的气体分流供给装置具备：控制阀（3），构成与处理气体入口（11）连接的压力式流量控制部（1a）；气体供给主管（8），与控制阀（3）的下游侧连通；多个分支管路（9a、9n），在气体供给主管（8）的下游侧以并列状连接；分支管路开闭阀（10a、10n），夹设于各分支管路（9a、9n）；节流孔（6a、6n），设置于分支管路开闭阀（10a、10n）的下游侧；温度传感器（4），设置在上述控制阀（3）与节流孔（6a、6n）之间的处理气体通路附近；压力传感器（5），设置在上述控制阀（3）与节流孔（6a、6n）之间的处理气体通路；分流气体出口（11a、11n），设置在上述节流孔（6a、6n）的出口侧；以及由压力式流量运算控制部（7a）构成的运算控制部（7），所述压力式流量运算控制部（7a）被输入来自上述压力传感器（5）的压力信号以及来自温度传感器（4）的温度信号，运算在上述节流孔（6a、6n）中流通的处理气体的总流量（Q），并且将控制信号（Pd）向阀驱动部（3a）输出，所述控制信号（Pd）使上述控制阀（3）向运算出的流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作；由压力式流量控制部（1a）进行流量控制。

公开(公告)号：CN102057340B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN200980121364.2

申请日：2009-04-06

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平田薰 ,  杉田胜幸 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  池田信一

IPC: G05D16/20

CPC classification number: G05D7/0635 ,  Y10T137/7761

Abstract: 在变更流量调整器的输出流量或变更流通的气体种类时，其输出侧的流量不产生过冲。本发明是一种向流量调整器供给的气体供给压力的自动压力调整器(20)，由压电元件驱动型压力调整阀(15)、控制压检测器(14)以及控制器(16)构成上述自动压力调整器(20)，该控制压检测器设在压力调整阀(15)的输出侧，该控制器被输入控制压检测器(14)的检测值(P2)和控制压的设定值(Pst)，利用比例控制方式而向压力调整阀(15)的压电元件驱动部供给控制信号，进行阀的开度调整，并且，通过使积分动作无效，将控制器的所述比例控制方式作为控制压产生残留偏差的控制。