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公开(公告)号：CN103299712B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201280004717.2
申请日：2012-01-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/5036 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L27/3276 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L2227/323
Abstract: 一种TFT基板（10），利用蒸镀装置（50）在TFT基板（10）上形成蒸镀层，蒸镀装置（50）具有：具备射出口（86）的蒸镀源（85）；和具备从射出口（86）射出的蒸镀颗粒通过的开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒通过开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀层，TFT基板（10）具有二维地排列有多个像素的像素区域（AG），与各像素电连接的多条配线（14）的端子汇集到蒸镀层的形成区域外。
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公开(公告)号：CN103430625B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201280012948.8
申请日：2012-03-09
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀装置(1)通过蒸镀处理在被成膜基板(40)上形成规定图案的发光层(47)，蒸镀装置(1)包括：喷嘴(13)，其形成有在进行蒸镀处理时向被成膜基板(40)射出形成发光层(47)的蒸镀颗粒(17)的多个射出口(16)；和多个限制板(20)，该多个限制板(20)配置于喷嘴(13)与被成膜基板(40)之间，对从多个射出口(16)射出的蒸镀颗粒(17)相对于被成膜基板(40)的入射角进行限制，喷嘴(13)包括：在配置被成膜基板(40)的一侧的面具有开口部(14c)的容器形状的喷嘴主体(14b)；和多个块体(15)，该多个块体(15)覆盖开口部(14c)，相互分离，且分别形成有多个射出口(16)。由此，形成高精细的蒸镀膜图案。
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公开(公告)号：CN103476962B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201280015939.4
申请日：2012-03-23
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02104 , B65D85/70 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/541 , H01L51/001
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置包括：喷嘴部（110），其具有将气态的蒸镀颗粒向外部射出的射出口（111）；加热板单元（100），其内置于上述喷嘴部（110），具有通过使蒸镀颗粒附着而在表面保持蒸镀材料的多个加热板（101）；和加热装置（160），其将保持在上述加热板（101）的表面的蒸镀材料加热至使该蒸镀材料成为气态的温度以上的温度。
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公开(公告)号：CN103380227B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201280009041.6
申请日：2012-03-08
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542 , C23C14/562 , H01L51/0008
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置(501)具备喷嘴部(170)，该喷嘴部(170)与对蒸镀材料(114)、(124)进行加热而产生气体状的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部(110)、(120)连接，并具有将在上述蒸镀颗粒产生部(110)、(120)产生的蒸镀颗粒射出到外部的射出(171)。上述蒸镀颗粒产生部(120)的蒸镀材料容纳量，比上述蒸镀颗粒产生部(110)的蒸镀材料容纳量小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103476962A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201280015939.4
申请日：2012-03-23
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02104 , B65D85/70 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/541 , H01L51/001
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置包括：喷嘴部（110），其具有将气态的蒸镀颗粒向外部射出的射出口（111）；加热板单元（100），其内置于上述喷嘴部（110），具有通过使蒸镀颗粒附着而在表面保持蒸镀材料的多个加热板（101）；和加热装置（160），其将保持在上述加热板（101）的表面的蒸镀材料加热至使该蒸镀材料成为气态的温度以上的温度。
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公开(公告)号：CN103380227A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201280009041.6
申请日：2012-03-08
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542 , C23C14/562 , H01L51/0008
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置(501)具备喷嘴部(170)，该喷嘴部(170)与对蒸镀材料(114)、(124)进行加热而产生气体状的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部(110)、(120)连接，并具有将在上述蒸镀颗粒产生部(110)、(120)产生的蒸镀颗粒射出到外部的射出(171)。上述蒸镀颗粒产生部(120)的蒸镀材料容纳量，比上述蒸镀颗粒产生部(110)的蒸镀材料容纳量小。
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公开(公告)号：CN103283306A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201180062835.4
申请日：2011-12-20
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02104 , C23C14/042 , C23C16/042 , H01L27/3211 , H01L33/005 , H01L51/0011 , H01L51/524 , H01L51/56 , H01L2251/566 , H05B33/04 , H05B33/10
Abstract: 在基板（3）中的形成蒸镀膜的面，以在包含显示区域（R1）的、密封树脂（11）呈框状形成的密封区域内具有开口部的方式形成光致抗蚀剂（13），接着形成具有条状的图案的发光层（8R、8G、8B），接着以剥离液除去光致抗蚀剂（13），从而形成被高精细地图案形成的发光层（8R、8G、8B）。
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公开(公告)号：CN103270189A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201180061824.4
申请日：2011-12-19
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C16/45578 , C23C14/24 , C23C14/243 , H01L21/02263 , H01L51/001 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 本发明的蒸镀装置（50）是对被成膜基板（60）进行成膜的蒸镀装置，其具备：具有射出蒸镀颗粒的射出口（81）的蒸镀源（80）；向蒸镀源（80）供给蒸镀颗粒的蒸镀源坩埚（82）；通过使蒸镀源（80）旋转来使蒸镀颗粒的射出量的分布发生变化的旋转电动机（86）。
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公开(公告)号：CN103237916A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201180057574.7
申请日：2011-11-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L31/18 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C14/542 , H01L51/001 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 防镀板（3）和挡板（4）的至少一部分由多个小片（3a、3b、4a、4b）连结而成，在各个小片（3a、3b、4a、4b）设置有能够将小片彼此连结和解除连结的连结部。
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