公开(公告)号：CN217060554U

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202123220495.3

申请日：2021-12-21

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 徐小川 ,  姚韦名 ,  陈佳欣 ,  黄正权 ,  姚勇 ,  孙云旭 ,  何枫

IPC: G02B5/18

Abstract: 本实用新型公开一种新型光栅结构，包括基底和安装在基底上的光栅层，所述光栅层包括一个条形波导以及多个在条形波导两侧对称设置的子光栅，所述子光栅为矩形结构，同侧子光栅周期性排列，所述子光栅和条形波导的厚度相同。本实用新型提供的新型光栅结构可以有效抑制光栅的侧向发射，抑制双光斑，进而减小光栅之间的串扰。

公开(公告)号：CN217716442U

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202220027385.0

申请日：2022-01-06

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 徐小川 ,  余淋 ,  李杰文 ,  李婉欣 ,  李瑞 ,  姚勇 ,  孙云旭 ,  何枫

IPC: G01D5/353

Abstract: 本实用新型提供了一种基于选择性模式调控的双模干涉传感器，包括双模波导（2），所述双模波导（2）上表面中间位置或上表面两侧位置设置有覆盖层（3），通过改变所述覆盖层（3）的宽度，能提高双模波导检测的灵敏度。本实用新型的有益效果是：本实用新型的双模干涉传感器保留了双模波导传感器单通道的简单结构、紧凑易于集成、适用于多路复用等优点，同时增大双模波导中两种模式的光程差变化实现灵敏度的提高。

公开(公告)号：CN212964621U

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN202021517728.9

申请日：2020-07-28

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 徐小川 ,  李婉欣 ,  陈佳欣 ,  孙云旭

IPC: G01N21/41 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型提供了一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器，其包括含有谐振腔的微环波导和直波导耦合构成，所述微环波导为周期小于光波长的亚波长光栅微环结构，所述直波导为周期小于光波长的亚波长光栅波导结构。本实用新型技术方案的亚波长光栅微环传感器，具有高灵敏度、高通量、以及低噪声的特性，折射率灵敏度超过500 nm/RIU，表面灵敏度可达1 nm/nm，并且可通过对称性缺失形成自参考测量，实现单分子检测。同时，该传感器的制作工艺与半导体器件工艺可以兼容，因而可在芯片上集成多个传感器，从而实现高通量、低成本的检测。