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公开(公告)号：CN103267481B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201310203134.9
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种保偏光纤偏振轴的检测装置及应用该装置对保偏光纤偏振轴方位进行检测的方法，本发明涉及一种保偏光纤偏振轴的检测装置，本发明为解决目前采用激光反射干涉法检测偏振轴方位时需要人工观察干涉条纹的变化情况，存在检测效率低、精度低的问题。直线电动位移平台的下端固接在工作平台的上端面上，显微镜支架固接在直线电动位移平台上，紧固板套装在直角显微镜的外壁上，直角显微镜通过紧固板固定在显微镜固定架的侧壁上，CMOS相机安装在直角显微镜上，光纤夹具安装在光纤夹具连接板上，显微视觉检测单元和卤素光源固定架相对放置，两个光纤旋转单元相对放置，两个相对平行设置的光纤夹具将保偏光纤固定。本发明用于保偏光纤偏振轴的检测。
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公开(公告)号：CN104290056B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201410482168.0
申请日：2014-09-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25B11/00
Abstract: 一种单针式微米级对象拾放装置及方法，它涉及一种微米级对象柔顺拾取和释放的装置及方法，以解决传统机械夹持和真空吸附产生的局部高应力，导致微米接对象拾取任务失败的问题，它包括二号三轴电动平移台、隔振台、一号三轴电动位移平台、三号三轴电动平移台、自紧式夹头、探针、螺旋测微头、热敏电阻元件、毛细管和毛细管夹具；一号三轴电动平移台包括第二连接板、探针驱动电机、第一连接板、测微头夹具和第一连接座；二号三轴电动平移台包括一号显微镜和一号显微镜夹具和第二连接座；三号三轴电动平移台包括二号显微镜、二号显微镜夹具和第三连接座。本发明用于微米级对象的柔顺拾取、转移和释放操作。
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公开(公告)号：CN104821741A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510278507.8
申请日：2015-05-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大载荷、高精度、跨尺度压电旋转驱动器及该驱动器的驱动方法，涉及精密仪器设备技术领域。本发明是为了解决现有的驱动器承载能力小、分辨率低且寿命短的问题。本发明所述的一种大载荷、高精度、跨尺度压电旋转驱动器，利用箝位弧面与箝位斜面之间的自锁实现稳定箝位，可以将压电叠堆由逆压电效应产生的绝大部分作用力转化为驱动器的有效驱动力，具有较大的承载能力；各对箝位面之间受磨损影响小，不会因为磨损而造成箝位作用力的下降甚至驱动器失效，使用寿命长；换能效率高，分辨率高，行程大，可被广泛应用于各类精密超精密加工与运动、材料试件纳米力学性能检测、微机电系统、机器人等高尖端的科学技术领域。
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公开(公告)号：CN103235390B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201310164685.9
申请日：2013-05-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种用于保偏光纤对轴的调心装置，本发明涉及一种用于保偏光纤对轴的调心装置，本发明为解决现有的基于侧向成像法检测保偏光纤的偏振轴过程中，需要旋转光纤使光纤位于显微镜的视觉内，不利于对轴机构的安装和制造、且光纤的中心轴和电动平台的旋转轴不同轴，导致检测结果误差大的问题。横向电动位移平台固接在平台的上端面上，纵向电动位移平台通过第一转接板安装在横向电动位移平台上，垂直电动位移平台的一端通过第二转接板安装在纵向电动位移平台上，第三转接板安装在垂直电动位移平台的另一端上，二维精密手动位移平台的一端固接在连接块上，二维精密手动位移平台的另一端固接有位移平台连接板。本发明用于保偏光纤对轴中的调心。
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公开(公告)号：CN103193201B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201310115828.7
申请日：2013-04-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种柔顺转移微米级颗粒的装置及方法，属于微米级颗粒转移领域。本发明为解决现有的采用机械夹持或真空吸附方式对微米级颗粒进行转移的过程中，颗粒粘附于操作工具上，以及夹持或吸附时产生的局部高应力造成操作器件或颗粒损伤的问题。装置包括一号三轴位移平台、一号显微镜、支撑架、压电陶瓷管、第一连接件、二号三轴位移平台和毛细管，压电陶瓷管套在毛细管上且二者之间粘接，毛细管设置在支撑架的一端，支撑架的另一端固定在一号三轴位移平台的移动台上，支撑架的两端之间具有间隔，所述一号显微镜通过第一连接件固定在二号三轴位移平台的移动台上，一号显微镜的物镜对准毛细管的下端。本发明用于微米级颗粒的转移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103252792A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310198648.X
申请日：2013-05-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具，它涉及一种真空吸附微操作工具。本发明的目的要解决现有真空吸附微操作工具存在由于粘着力不能脱落和精确放置微操作对象，及正压释放时会出现“吹飞”现象的问题。一种具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具由连接底座、压电陶瓷管、连接套件、外螺纹杆和微吸头组成。在拾取操作时，先将外部气路管通过快插头与连接底座连接，经由连接底座、压电陶瓷管、连接套件和外螺纹杆流到微吸头；操作微吸头靠近待操作对象实现拾取。优点：结构简单、拾取稳定、定位精度高、可靠性高和通用性强。本发明所述的具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具主要用于真空吸附微操作。
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公开(公告)号：CN103235390A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310164685.9
申请日：2013-05-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种用于保偏光纤对轴的调心装置，本发明涉及一种用于保偏光纤对轴的调心装置，本发明为解决现有的基于侧向成像法检测保偏光纤的偏振轴过程中，需要旋转光纤使光纤位于显微镜的视觉内，不利于对轴机构的安装和制造、且光纤的中心轴和电动平台的旋转轴不同轴，导致检测结果误差大的问题。横向电动位移平台固接在平台的上端面上，纵向电动位移平台通过第一转接板安装在横向电动位移平台上，垂直电动位移平台的一端通过第二转接板安装在纵向电动位移平台上，第三转接板安装在垂直电动位移平台的另一端上，二维精密手动位移平台的一端固接在连接块上，二维精密手动位移平台的另一端固接有位移平台连接板。本发明用于保偏光纤对轴中的调心。
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公开(公告)号：CN102623375A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210068623.3
申请日：2012-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , F16H37/02 , F16H25/22
CPC classification number: F16H25/20 , F16H25/2204 , F16H2025/2053 , F16H2025/2096
Abstract: 一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置，Z轴驱动装置组件与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内，上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。
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公开(公告)号：CN102506785A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110286383.X
申请日：2011-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 三自由度一体化粘滑式直线定位装置，它涉及一种定位装置，以解决现有定位装置存在的体积大、装配误差大和定位精度低的问题。它包括承载板和与驱动单元相配合的盖套，盖套固接在承载板的板面上，所述的驱动单元包括第一压块、第二压块、弹性驱动座、压电陶瓷驱动器、导向柱、触足、位移板、预紧压板和多个滚珠，压电陶瓷驱动器的上端面与弹性驱动座的上弹性板的下端面连接，压电陶瓷驱动器的下端面与触足的上端面连接，触足的下端面与位移板的上端面连接，预紧压板的下端面与弹性驱动座的下弹性板的上端面连接，位移板的长度方向的两端设置在弹性驱动座的方形空腔的外部且分别与基台可拆卸连接。本发明用于物体的定位。
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