三自由度一体化粘滑式直线定位装置

    公开(公告)号:CN102506785B

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:CN201110286383.X

    申请日:2011-09-23

    Abstract: 三自由度一体化粘滑式直线定位装置,它涉及一种定位装置,以解决现有定位装置存在的体积大、装配误差大和定位精度低的问题。它包括承载板和与驱动单元相配合的盖套,盖套固接在承载板的板面上,所述的驱动单元包括第一压块、第二压块、弹性驱动座、压电陶瓷驱动器、导向柱、触足、位移板、预紧压板和多个滚珠,压电陶瓷驱动器的上端面与弹性驱动座的上弹性板的下端面连接,压电陶瓷驱动器的下端面与触足的上端面连接,触足的下端面与位移板的上端面连接,预紧压板的下端面与弹性驱动座的下弹性板的上端面连接,位移板的长度方向的两端设置在弹性驱动座的方形空腔的外部且分别与基台可拆卸连接。本发明用于物体的定位。

    一种粘滑式旋转定位装置

    公开(公告)号:CN103011069B

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201210539659.5

    申请日:2012-12-13

    Abstract: 一种粘滑式旋转定位装置,本发明涉及一种旋转定位装置,具体涉及一种粘滑式旋转定位装置,本发明为了解决目前旋转定位装置不能应用在超低温、超真空、高电场或高磁场等工作场所,且现有技术中的旋转定位装置体积大,定位误差大的问题,所述装置包括旋转单元、驱动单元和底座,旋转单元包括第一旋转半圆台和第二旋转半圆台,驱动单元包括驱动弹性台和驱动转板,底座包括基台和压电陶瓷驱动器,驱动弹性台上端面加工有多组柔性铰链,驱动弹性台底端面设有叉形结构,叉形结构的底部设有驱动转板,旋转单元设置在驱动弹性台顶部,驱动弹性台设置在基台上,压电陶瓷驱动器设置在基台内,本发明用于微纳操作试验研究中。

    基于MEMS的二维压阻式微力传感器

    公开(公告)号:CN103033296A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210589604.5

    申请日:2012-12-31

    Abstract: 基于MEMS的二维压阻式微力传感器,它涉及一种微力传感器。该传感器解决目前一维微力传感器无法同时检测操作工具与基底之间接触力及操作工具与操作对象之间作用力的问题。检测直梁侧壁的两端各设一个第一压阻,二个半折叠梁沿外伸梁的中心轴线对称设置且第一直梁的另一端与外伸梁连接,外伸梁的一端与检测直梁中部的侧壁连接且二者垂直设置,外伸梁的另一端作为自由端穿过第一直梁、第一通孔和第二通孔设在固定支架的外部,检测直梁、外伸梁和二个半折叠梁连接制成一体,外伸梁沿其长度方向开有应力方孔,外伸梁上表面设有两个第二压阻,每个第二压阻位于应力方孔的孔壁与外伸梁的外侧壁之间。本发明用于微纳米操作。

    一种粘滑式旋转定位装置

    公开(公告)号:CN103011069A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210539659.5

    申请日:2012-12-13

    Abstract: 本发明涉及一种旋转定位装置,具体涉及一种粘滑式旋转定位装置,本发明为了解决目前旋转定位装置不能应用在超低温、超真空、高电场或高磁场等工作场所,且现有技术中的旋转定位装置体积大,定位误差大的问题,所述装置包括旋转单元、驱动单元和底座,旋转单元包括第一旋转半圆台和第二旋转半圆台,驱动单元包括驱动弹性台和驱动转板,底座包括基台和压电陶瓷驱动器,驱动弹性台上端面加工有多组柔性铰链,驱动弹性台底端面设有叉形结构,叉形结构的底部设有驱动转板,旋转单元设置在驱动弹性台顶部,驱动弹性台设置在基台上,压电陶瓷驱动器设置在基台内,本发明用于微纳操作试验研究中。

    基于MEMS的二维压阻式微力传感器

    公开(公告)号:CN103033296B

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201210589604.5

    申请日:2012-12-31

    Abstract: 基于MEMS的二维压阻式微力传感器,它涉及一种微力传感器。该传感器解决目前一维微力传感器无法同时检测操作工具与基底之间接触力及操作工具与操作对象之间作用力的问题。检测直梁侧壁的两端各设一个第一压阻,二个半折叠梁沿外伸梁的中心轴线对称设置且第一直梁的另一端与外伸梁连接,外伸梁的一端与检测直梁中部的侧壁连接且二者垂直设置,外伸梁的另一端作为自由端穿过第一直梁、第一通孔和第二通孔设在固定支架的外部,检测直梁、外伸梁和二个半折叠梁连接制成一体,外伸梁沿其长度方向开有应力方孔,外伸梁上表面设有两个第二压阻,每个第二压阻位于应力方孔的孔壁与外伸梁的外侧壁之间。本发明用于微纳米操作。

    三自由度一体化粘滑式直线定位装置

    公开(公告)号:CN102506785A

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN201110286383.X

    申请日:2011-09-23

    Abstract: 三自由度一体化粘滑式直线定位装置,它涉及一种定位装置,以解决现有定位装置存在的体积大、装配误差大和定位精度低的问题。它包括承载板和与驱动单元相配合的盖套,盖套固接在承载板的板面上,所述的驱动单元包括第一压块、第二压块、弹性驱动座、压电陶瓷驱动器、导向柱、触足、位移板、预紧压板和多个滚珠,压电陶瓷驱动器的上端面与弹性驱动座的上弹性板的下端面连接,压电陶瓷驱动器的下端面与触足的上端面连接,触足的下端面与位移板的上端面连接,预紧压板的下端面与弹性驱动座的下弹性板的上端面连接,位移板的长度方向的两端设置在弹性驱动座的方形空腔的外部且分别与基台可拆卸连接。本发明用于物体的定位。

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