-
公开(公告)号：CN113410386B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202110674069.2
申请日：2021-06-17
Abstract: 一种制备具有M/M‑TCNQ肖特基结的纳米线的方法，涉及一种纳米线制备方法。在硅基底上浇注PDMS，固化后的PDMS加工模具孔洞，沉积一层M膜，模具孔洞内浇注树脂，固化剥离后用树脂包埋得到切片用样品进行纳米切片，转移至氧化硅基底上，采用光刻工艺将M纳米线两端涂覆光刻胶保护，暴露出中间部分，置于TCNQ乙腈溶液中充分反应得到M/M‑TCNQ/M纳米线，去除两端光刻胶后再将中间部分涂覆光刻胶保护，沉积一层惰性金属膜用作引出电极，剥离中间部分光刻胶及惰性金属膜，最后进行纳米线的表征。能够高效可控地将M/M‑TCNQ肖特基结构集成于一根纳米线中，制备方法简单、加工效率高、可重复性好。
-
公开(公告)号：CN113466208A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110790762.6
申请日：2021-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种利用结构化探针制备拉曼基底的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用FIB技术加工金刚石探针针尖，使金刚石探针修饰为具有豁口的结构化金刚石探针；步骤二、将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统上，以恒定法向载荷压入样品表面，通过运动平台控制加工轨迹，使结构化探针在标准进给量下多次刻划，加工出纳米结构阵列。本发明采用结构化探针制备基底，一次刻划后能够加工出两路纳米沟槽，相比于单针尖探针，采用结构化探针制备基底的方法效率更高。本发明中探针是利用现有探针加工而成，相比于原有探针具有更小的加工尺寸，在给定载荷下能够加工出更小的纳米结构，且相邻结构间隙更小，拉曼增强效果更好。
-
公开(公告)号：CN113410386A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110674069.2
申请日：2021-06-17
Abstract: 一种制备具有M/M‑TCNQ肖特基结的纳米线的方法，涉及一种纳米线制备方法。在硅基底上浇注PDMS，固化后的PDMS加工模具孔洞，沉积一层M膜，模具孔洞内浇注树脂，固化剥离后用树脂包埋得到切片用样品进行纳米切片，转移至氧化硅基底上，采用光刻工艺将M纳米线两端涂覆光刻胶保护，暴露出中间部分，置于TCNQ乙腈溶液中充分反应得到M/M‑TCNQ/M纳米线，去除两端光刻胶后再将中间部分涂覆光刻胶保护，沉积一层惰性金属膜用作引出电极，剥离中间部分光刻胶及惰性金属膜，最后进行纳米线的表征。能够高效可控地将M/M‑TCNQ肖特基结构集成于一根纳米线中，制备方法简单、加工效率高、可重复性好。
-
公开(公告)号：CN113406166A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110672098.5
申请日：2021-06-17
IPC: G01N27/30 , G01N27/416 , G01B7/02
Abstract: 一种基于振动模式的电化学检测装置，涉及一种电化学检测装置。滑槽固定座上竖向滑动安装有滑块并且设有紧固螺栓能够紧固定位，压电促动器竖向固定在滑块上，电容固定器固定在压电促动器底部，调距环与电容固定器下端旋接配合，电容式位移传感器插装在电容固定器内部，锁紧螺钉能够锁紧定位，激振压电陶瓷环固定在调距环底部，柔性铰链夹装固定在上固定环与下固定环之间，边缘固定导电片并连接外接导线，上固定环固定在激振压电陶瓷环底部，定位螺钉安装螺母接头与柔性铰链紧固定位，纳米电极探针固定在螺母接头底部。探针逼近样品表面更加精准安全，并且电容式位移传感器与探针的间距调节方便，保证最佳使用性能。
-
公开(公告)号：CN110747433B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201911046706.0
申请日：2019-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，本发明属于金属薄膜领域。水咀座后端与支撑管一端可拆卸连接，多个永磁铁套装在支撑管上且与支撑管间隙配合，每个隔离圈均由两个半圆环体组成，每两个半圆环体扣合设置在支撑管上，每两个半圆环体设置在支撑管外壁上并扣合且互相连接，多个隔离圈和多个永磁铁依次交替设置，异形靶材中部设有空腔，异形靶材的外形为柱状，异形靶材套装在多个隔离圈及多个永磁铁外侧，水咀座后端与异形靶材前端可拆卸连接，异形靶材后端与端盖可拆卸连接。本发明的异形靶的多个溅射面与多个反射镜对应一一对应，镀制的薄膜均匀性可以保证，异形靶与多面共体反射镜之间无需运动，缩小了薄膜沉积设备内腔的体积。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107589104B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201710672624.1
申请日：2017-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种基于力调制微刻划/微压痕过程制备拉曼增强基底上阵列微纳米结构的实验装置及方法，所述所述实验装置包括XY向精密移动控制器、Z向精密移动台控制器、纳米精度工作台、力传感器、金刚石探针、样品、宏动精密工作台，所述金刚石探针由纳米精度工作台经过力传感器带动进行Z向的运动；金刚石探针与样品之间的力信号由Z向精密移动台控制器上下移动控制；样品由XY向精密移动控制器经过宏动精密工作台带动在X‑Y平面内做二维运动。本发明加工过程中探针连续进行微刻划、压痕过程，同时带动样件的工作台作二维平动，实现高效、大范围的周期性阵列微纳结构的加工；加工过程中探针的垂直载荷实时改变，实现复杂的微纳结构的加工。
-
公开(公告)号：CN105347299A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510877456.0
申请日：2014-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，X方向定位工作台的滑块进行X方向运动，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上，Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置，实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题，且方法简单，装置及加工实现成本相对较低。
-
公开(公告)号：CN104140076B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201410385534.0
申请日：2014-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了1、一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：一、被加工样品固定在手动二维调整台的上部，对精密主轴进行调心，并确定AFM探针与精密主轴回转中心的相对位置关系；二、确定AFM探针的刻划方向，对AFM针尖施加加工载荷，移动二维高精度定位平台进行刻划图案的第一条线；三、将施加到AFM探针上的载荷设置为零，旋转精密主轴配合移动二维高精度定位平台使得第一条线的终点与针尖位置重合，并且沿着相同方向刻划时第二条线与第一条线的角度偏差与所需加工结构图案一致，根据第二条线的长度进行刻划；该方法获得了加工结构深度、加工质量一致性好的优势。
-
公开(公告)号：CN104140076A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201410385534.0
申请日：2014-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法。所述装置包括AFM、手动二维调整台、精密主轴及二维高精度定位平台，其中：手动调整二维台的底部与精密主轴的上端连接，精密主轴的下端与二维高精度定位平台连接，二维高精度定位平台固连在AFM的样品台上。本发明利用原子力显微镜AFM的加工的优势，并且改善了由于AFM探针几何形状不完全对称对加工结果有所影响的问题，实现了AFM探针同方向加工刻划的方法。本发明加工方法简单，无需复杂的加工系统，操作简单，并且可以得到精度达到纳米量级的微纳米结构。本发明实现了AFM探针同方向纳米刻划加工，该方法获得了加工结构深度、加工质量一致性好的优势。
-
公开(公告)号：CN113406166B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202110672098.5
申请日：2021-06-17
IPC: G01N27/30 , G01N27/416 , G01B7/02
Abstract: 一种基于振动模式的电化学检测装置，涉及一种电化学检测装置。滑槽固定座上竖向滑动安装有滑块并且设有紧固螺栓能够紧固定位，压电促动器竖向固定在滑块上，电容固定器固定在压电促动器底部，调距环与电容固定器下端旋接配合，电容式位移传感器插装在电容固定器内部，锁紧螺钉能够锁紧定位，激振压电陶瓷环固定在调距环底部，柔性铰链夹装固定在上固定环与下固定环之间，边缘固定导电片并连接外接导线，上固定环固定在激振压电陶瓷环底部，定位螺钉安装螺母接头与柔性铰链紧固定位，纳米电极探针固定在螺母接头底部。探针逼近样品表面更加精准安全，并且电容式位移传感器与探针的间距调节方便，保证最佳使用性能。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
50
records
(took 0.03 seconds)
