一种厚膜材料及其使用的铁电(Ba,Sr)TiO3微晶玻璃陶瓷

    公开(公告)号:CN1880253B

    公开(公告)日:2010-11-03

    申请号:CN200510026843.X

    申请日:2005-06-16

    Applicant: 同济大学

    Inventor: 翟继卫 姚熹

    Abstract: 本发明属于电子材料与器件技术领域,具体为一种采用化学方法制备的铁电微晶玻璃陶瓷及用这种铁电微晶玻璃陶瓷制备的厚膜材料。本发明所说的不含杂相的BST铁电(Ba,Sr)TiO3微晶玻璃陶瓷,主晶相的组成为(Ba0.65Sr0.35)TiO3,玻璃相的组成为BaO-SiO2-B2O3。一种铁电厚膜材料,包括衬底、粘结剂和铁电玻璃陶瓷,所述的铁电玻璃陶瓷为本发明所说的不含杂相的铁电(Ba,Sr)TiO3微晶玻璃陶瓷。本发明采用溶胶-凝胶工艺制备了BaO-SiO2-B2O3玻璃掺入的铁电玻璃陶瓷材料,使陶瓷的烧结温度大大降低,所制备的玻璃陶瓷不含杂相,且介电常数与纯的(Ba,Sr)TiO3相比有很大的降低。

    一种新型热释电红外探测器及其使用的复合薄膜探测元

    公开(公告)号:CN100505355C

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200610024920.2

    申请日:2006-03-21

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种结合化学方法和物理方法制备的复合薄膜热释电红外探测器的探测元技术领域。本发明所述的热释电红外探测器的探测元是以单晶硅或其与二氧化硅的复合体为衬底,多孔二氧化硅薄膜为热绝缘层,致密二氧化硅薄膜为过渡层,Pt为底电极,镍酸镧LNO薄膜为下吸收层和缓冲层,钛酸铅PT铁电薄膜为热释电材料,Au为上电极,镍酸镧LNO薄膜为上吸收层。本发明中的热释电红外探测器可以较多的吸收红外辐射,具有较小的热损失,从而红外能量能够最大程度的被热释电薄膜利用,而且镍酸镧LNO缓冲层提高了钛酸铅PT的电学性能,使得探测器具有优异的性能。另外,用溶胶-凝胶法合成薄膜微区组分均匀性高,工艺过程温度低,易于大面积成膜,不需要真空设备,成本低,而且与硅集成工艺兼容。

    一种铋掺杂钛酸锶薄膜电容器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106935398B

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201710182490.5

    申请日:2017-03-24

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明属于功能材料技术领域,涉及一种铋掺杂钛酸锶电容器及其制备方法,用醋酸锶、硝酸铋、四异丙醇钛、醋酸、乙二醇甲醚、乙酰丙酮、聚乙烯吡咯烷酮(pvp)和乙二醇作原料,按Sr1‑1.5xBixTiO3配制成溶胶,经陈化、甩膜和热处理制备出均匀的电介质膜,再在介质膜上镀上一层电极,制备出铋掺杂钛酸锶薄膜电容器。与现有技术相比,采用本配方的电容材料,具有较低的漏电流密度和介电损耗以及较大的耐压性能,从而满足铋掺杂钛酸锶薄膜的电容器应用。

    一种高储能密度固态薄膜电容器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107068399B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201710134119.1

    申请日:2017-03-08

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种高储能密度固态薄膜电容器及其制备方法,该电容器包括衬底基片(1)、下部电极(2)、活性硅钛复合掺杂氧化铝薄膜(3)、上部电极(4),所述的下部电极(2)涂覆在衬底基片(1)表面上,所述的活性硅钛复合掺杂氧化铝薄膜(3)设置在上部电极(4)和下部电极(2)之间。与现有技术相比,本发明具有结构和制备工艺简单,储能密度高,而且采用的是固态薄膜作为电介质,内部不存在电解液,因而使用安全可靠等优点。

    一种具有自修复功能的固态薄膜电容器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107026018B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201710135137.1

    申请日:2017-03-08

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种具有自修复功能的固态薄膜电容器及其制备方法,该电容器包括衬底基片(1)、下部电极(2)、活性玻璃掺杂氧化铝薄膜(3)、上部电极(4),所述的下部电极(2)涂覆在衬底基片(1)表面上,所述的活性玻璃掺杂氧化铝薄膜(3)设置在上部电极(4)和下部电极(2)之间。与现有技术相比,本发明具有结构和制备工艺简单,介电性能好,能够实现自修复,储能密度高,而且采用的是固态薄膜作为电介质,内部不存在电解液,因而使用安全可靠等优点。

    一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试分析系统

    公开(公告)号:CN104678211B

    公开(公告)日:2017-11-07

    申请号:CN201410855728.2

    申请日:2014-12-30

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试分析系统,包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和综合分析处理装置,其中:所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针、数字源表和测试控制模块,所述测试探针设置在样品装夹座上,所述测试探针、数字源表和测试控制模块依次连接;所述显微图像实时采集装置包括相连接的数据码光学显微模块和图像采集模块,所述数据码光学显微模块设置在样品装夹座上;所述综合分析处理装置分别连接测试控制模块、图像采集模块。与现有技术相比,本发明具有易于操作,耗费时间少,直观性好等优点,能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。

    一种高储能密度固态薄膜电容器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107068399A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710134119.1

    申请日:2017-03-08

    Applicant: 同济大学

    CPC classification number: H01G4/10 H01G4/33

    Abstract: 本发明涉及一种高储能密度固态薄膜电容器及其制备方法,该电容器包括衬底基片(1)、下部电极(2)、活性硅钛复合掺杂氧化铝薄膜(3)、上部电极(4),所述的下部电极(2)涂覆在衬底基片(1)表面上,所述的活性硅钛复合掺杂氧化铝薄膜(3)设置在上部电极(4)和下部电极(2)之间。与现有技术相比,本发明具有结构和制备工艺简单,储能密度高,而且采用的是固态薄膜作为电介质,内部不存在电解液,因而使用安全可靠等优点。

    低居里点的高介电电场双向可调的PZT基反铁电陶瓷材料及其制备

    公开(公告)号:CN102643090B

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201110348574.4

    申请日:2011-11-07

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种低居里点TC的高介电电场双向可调PZT基反铁电陶瓷材料及其制备,属于电子材料与器件技术领域。本发明的具有介电电场双向可调性的PZT基反铁电陶瓷材料的化学通式为(Pb0.99-x-yBaxLay)(Zr0.51Sn0.39Ti0.10)O3,其中,0<x≤0.20,0<y≤0.06。本发明的介电双向可调的PZT基反铁电陶瓷材料在较低居里点TC附近,在一定的偏压下,具有高的介电常数,低的介电损耗,并且随偏压的增大先增大后减小,具有双向介电可调特性,同时呈现很高的热释电系数及热释电电流,可广泛用于微电子、计算机、电容器、传感器和航空航天技术等领域。

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